எலக்ட்ரானிக் கிளீன் ரூம் முக்கியமாக குறைக்கடத்தி, திரவ படிக காட்சி, சர்க்யூட் போர்டு போன்றவற்றில் பயன்படுத்தப்படுகிறது. பொதுவாக, இது சுத்தமான உற்பத்தி பகுதி, சுத்தமான துணை பகுதி, நிர்வாக பகுதி மற்றும் உபகரணங்கள் பகுதி ஆகியவற்றை உள்ளடக்கியது. எலக்ட்ரானிக் கிளீன் அறையின் சுத்தமான நிலை மின்னணு தயாரிப்பு தரத்தில் நேரடி தாக்கத்தை ஏற்படுத்துகிறது. பொதுவாக காற்று வழங்கல் அமைப்பு மற்றும் FFU ஐ பல்வேறு வடிகட்டுதல் மற்றும் சுத்திகரிப்பு மூலம் அந்தந்த நிலையில் பயன்படுத்தவும், ஒவ்வொரு பகுதியும் குறிப்பிட்ட காற்றின் தூய்மையை அடைய முடியும் என்பதை உறுதிப்படுத்தவும் மற்றும் மூடப்பட்ட சூழலில் உட்புற நிலையான வெப்பநிலை மற்றும் ஈரப்பதத்தை பராமரிக்கவும்.
எங்களுடைய எலக்ட்ரானிக் கிளீன் ரூம் ஒன்றை உதாரணமாக எடுத்துக் கொள்ளுங்கள். (சீனா, 8000மீ2, ஐஎஸ்ஓ 5)
