மின்னணு தூய்மை அறை முக்கியமாக குறைக்கடத்தி, திரவ படிக காட்சி, மின்சுற்றுப் பலகை போன்றவற்றில் பயன்படுத்தப்படுகிறது. பொதுவாக, இது தூய்மையான உற்பத்திப் பகுதி, தூய்மையான துணைப் பகுதி, நிர்வாகப் பகுதி மற்றும் உபகரணப் பகுதி ஆகியவற்றை உள்ளடக்கியது. மின்னணு தூய்மை அறையின் தூய்மை நிலை, மின்னணுப் பொருட்களின் தரத்தில் மிகவும் நேரடித் தாக்கத்தை ஏற்படுத்துகிறது. பொதுவாக, ஒவ்வொரு பகுதியும் ஒரு குறிப்பிட்ட காற்றுத் தூய்மையை அடைவதையும், மூடப்பட்ட சூழலில் உள்ளக வெப்பநிலை மற்றும் ஒப்பு ஈரப்பதத்தை நிலையானதாகப் பராமரிப்பதையும் உறுதி செய்வதற்காக, அந்தந்த இடங்களில் காற்று விநியோக அமைப்பு மற்றும் FFU ஆகியவை பல்வேறு வடிகட்டுதல் மற்றும் சுத்திகரிப்பு மூலம் பயன்படுத்தப்படுகின்றன.
எங்களின் மின்னணு தூய்மை அறைகளில் ஒன்றை உதாரணமாக எடுத்துக்கொள்வோம். (சீனா, 8000 சதுர மீட்டர், ISO 5)
