சுத்தமான அறை பொறியியல் தொழில்நுட்பத்தின் பகுப்பாய்வு

1. தூசி இல்லாத சுத்தமான அறையில் தூசி துகள்கள் அகற்றுதல்

சுத்தமான அறையின் முக்கிய செயல்பாடு என்னவென்றால், தயாரிப்புகள் (சிலிக்கான் சில்லுகள் போன்றவை) வெளிப்படும் வளிமண்டலத்தின் தூய்மை, வெப்பநிலை மற்றும் ஈரப்பதத்தைக் கட்டுப்படுத்துவதாகும், இதனால் தயாரிப்புகளை ஒரு நல்ல சூழல் இடத்தில் உற்பத்தி செய்து தயாரிக்க முடியும். இந்த இடத்தை சுத்தமான அறையாக அழைக்கிறோம். சர்வதேச நடைமுறையின்படி, தூய்மை நிலை முக்கியமாக ஒரு கன மீட்டர் காற்றின் துகள்களின் எண்ணிக்கையால் தீர்மானிக்கப்படுகிறது. வேறு வார்த்தைகளில் கூறுவதானால், தூசி இல்லாதது 100% தூசி இல்லாதது அல்ல, ஆனால் மிகச் சிறிய பிரிவில் கட்டுப்படுத்தப்படுகிறது. நிச்சயமாக, இந்த தரத்தில் தூசி தரத்தை பூர்த்தி செய்யும் துகள்கள் நாம் காணும் பொதுவான தூசியுடன் ஒப்பிடும்போது ஏற்கனவே மிகச் சிறியவை, ஆனால் ஆப்டிகல் கட்டமைப்புகளுக்கு, ஒரு சிறிய தூசி கூட மிகப் பெரிய எதிர்மறையான தாக்கத்தை ஏற்படுத்தும், எனவே தூசி இல்லாதது தவிர்க்க முடியாத தேவை ஆப்டிகல் கட்டமைப்பு தயாரிப்புகளின் உற்பத்தியில்.

ஒரு துகள் அளவைக் கொண்ட தூசி துகள்களின் எண்ணிக்கையை ஒரு கன மீட்டருக்கு 0.5 மைக்ரான் விட அதிகமாகவோ அல்லது சமமாகவோ 3520/கன மீட்டருக்கு குறைவாக கட்டுப்படுத்துவது சர்வதேச தூசி இல்லாத தரத்தின் வகுப்பு A ஐ எட்டும். சிப்-நிலை உற்பத்தி மற்றும் செயலாக்கத்தில் பயன்படுத்தப்படும் தூசி இல்லாத தரநிலை வகுப்பு A ஐ விட தூசிக்கு அதிக தேவைகளைக் கொண்டுள்ளது, மேலும் இது ஒரு உயர் தரமான சில சில்லுகளின் உற்பத்தியில் முக்கியமாக பயன்படுத்தப்படுகிறது. தூசி துகள்களின் எண்ணிக்கை கண்டிப்பாக ஒரு கன மீட்டருக்கு 35,200 ஆக கட்டுப்படுத்தப்படுகிறது, இது பொதுவாக சுத்தமான அறை துறையில் வகுப்பு B என அழைக்கப்படுகிறது.

2. மூன்று வகையான சுத்தமான அறை நிலைகள்

வெற்று சுத்தமான அறை: ஒரு சுத்தமான அறை வசதி கட்டப்பட்டு பயன்பாட்டுக்கு வரலாம். இது அனைத்து தொடர்புடைய சேவைகள் மற்றும் செயல்பாடுகளைக் கொண்டுள்ளது. இருப்பினும், இந்த வசதியில் ஆபரேட்டர்களால் இயக்கப்படும் உபகரணங்கள் எதுவும் இல்லை.

நிலையான சுத்தமான அறை: முழுமையான செயல்பாடுகள், சரியான அமைப்புகள் மற்றும் நிறுவல் கொண்ட ஒரு சுத்தமான அறை வசதி, இது அமைப்புகளுக்கு ஏற்ப பயன்படுத்தப்படலாம் அல்லது பயன்பாட்டில் உள்ளது, ஆனால் வசதியில் ஆபரேட்டர்கள் இல்லை.

டைனமிக் சுத்தமான அறை: சாதாரண பயன்பாட்டில் ஒரு சுத்தமான அறை, முழுமையான சேவை செயல்பாடுகள், உபகரணங்கள் மற்றும் பணியாளர்களுடன்; தேவைப்பட்டால், சாதாரண வேலையை மேற்கொள்ள முடியும்.

3. உருப்படிகளைக் கட்டுப்படுத்தவும்

(1). காற்றில் மிதக்கும் தூசி துகள்களை அகற்றலாம்.

(2). தூசி துகள்களின் தலைமுறையைத் தடுக்கலாம்.

(3). வெப்பநிலை மற்றும் ஈரப்பதத்தின் கட்டுப்பாடு.

(4). அழுத்தம் ஒழுங்குமுறை.

(5). தீங்கு விளைவிக்கும் வாயுக்களை நீக்குதல்.

(6). கட்டமைப்புகள் மற்றும் பெட்டிகளின் காற்று இறுக்கம்.

(7). நிலையான மின்சாரத்தைத் தடுப்பது.

(8). மின்காந்த குறுக்கீட்டைத் தடுப்பது.

(9). பாதுகாப்பு காரணிகளைக் கருத்தில் கொள்ளுங்கள்.

(10). ஆற்றல் சேமிப்பைக் கருத்தில் கொள்ளுங்கள்.

4. வகைப்பாடு

கொந்தளிப்பான ஓட்ட வகை

ஏர் கண்டிஷனிங் பெட்டியிலிருந்து காற்று குழாய் மற்றும் சுத்தமான அறையில் உள்ள காற்று வடிகட்டி (ஹெபா) வழியாக காற்று சுத்தமான அறைக்குள் நுழைகிறது, மேலும் பகிர்வு சுவர் பேனல்கள் அல்லது சுத்தமான அறையின் இருபுறமும் உயர்த்தப்பட்ட தளங்களிலிருந்து திரும்பும். காற்றோட்டம் ஒரு நேரியல் முறையில் நகராது, ஆனால் ஒழுங்கற்ற கொந்தளிப்பான அல்லது எடி நிலையை முன்வைக்கிறது. இந்த வகை வகுப்பு 1,000-100,000 சுத்தமான அறைக்கு ஏற்றது.

வரையறை: காற்றோட்டமான வேகத்தில் காற்றோட்டம் பாயும் மற்றும் இணையாக இல்லாத ஒரு சுத்தமான அறை, பின்னோக்கி அல்லது எடி மின்னோட்டத்துடன் சேர்ந்துள்ளது.

கொள்கை: கொந்தளிப்பான சுத்தமான அறைகள் உட்புறக் காற்றை தொடர்ந்து நீர்த்துப்போகச் செய்வதற்கும், தூய்மையை அடைய மாசுபட்ட காற்றை படிப்படியாக நீர்த்துப்போகச் செய்வதற்கும் காற்று விநியோக காற்றோட்டத்தை நம்பியுள்ளன (கொந்தளிப்பான சுத்தமான அறைகள் பொதுவாக 1,000 முதல் 300,000 வரை தூய்மை மட்டத்தில் வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளன).

அம்சங்கள்: கொந்தளிப்பான சுத்தமான அறைகள் தூய்மை மற்றும் தூய்மை நிலைகளை அடைய பல காற்றோட்டத்தை நம்பியுள்ளன. காற்றோட்டம் மாற்றங்களின் எண்ணிக்கை வரையறையில் சுத்திகரிப்பு அளவை தீர்மானிக்கிறது (அதிக காற்றோட்டம் மாறுகிறது, அதிக தூய்மை நிலை)

. 20 நிமிடங்களுக்கு மேல் (கணக்கீட்டிற்கு 15 நிமிடங்கள் பயன்படுத்தலாம்) வகுப்பு 10,000 30 நிமிடங்களுக்கு மேல் இருக்காது என்று எதிர்பார்க்கப்படுகிறது (கணக்கீட்டிற்கு 25 நிமிடங்கள் பயன்படுத்தலாம்) வகுப்பு 100,000 40 நிமிடங்களுக்கு மேல் இருக்காது என்று எதிர்பார்க்கப்படுகிறது (30 நிமிடங்கள் பயன்படுத்தலாம் கணக்கீடு)

. ) வகுப்பு 100,000: 14.4-19.2 மணிநேரம்/மணிநேரம் (தரநிலை: 15 முறை/மணிநேரம்)

நன்மைகள்: எளிய கட்டமைப்பு, குறைந்த கணினி கட்டுமான செலவு, சுத்தமான அறையை விரிவாக்குவது எளிது, சில சிறப்பு நோக்க இடங்களில், தூய்மையான அறை தரத்தை மேம்படுத்த தூசி இல்லாத சுத்தமான பெஞ்ச் பயன்படுத்தப்படலாம்.

குறைபாடுகள்: கொந்தளிப்பால் ஏற்படும் தூசி துகள்கள் உட்புற இடத்தில் மிதக்கின்றன மற்றும் வெளியேற்றுவது கடினம், இது செயல்முறை தயாரிப்புகளை எளிதில் மாசுபடுத்தும். கூடுதலாக, கணினி நிறுத்தப்பட்டு பின்னர் செயல்படுத்தப்பட்டால், தேவையான தூய்மையை அடைய பெரும்பாலும் நீண்ட நேரம் எடுக்கும்.

லேமினார் ஓட்டம்

லேமினார் ஓட்டம் காற்று ஒரு சீரான நேர் கோட்டில் நகர்கிறது. 100% கவரேஜ் வீதத்துடன் வடிகட்டி வழியாக காற்று அறைக்குள் நுழைகிறது மற்றும் இருபுறமும் உயர்த்தப்பட்ட தளம் அல்லது பகிர்வு பலகைகள் வழியாக திரும்பும். இந்த வகை அதிக சுத்தமான அறை தரங்களுடன் சுத்தமான அறை சூழல்களில் பயன்படுத்த ஏற்றது, பொதுவாக வகுப்பு 1 ~ 100. இரண்டு வகைகள் உள்ளன:

(1) கிடைமட்ட லேமினார் ஓட்டம்: கிடைமட்ட காற்று வடிகட்டியிலிருந்து ஒரு திசையில் வீசப்பட்டு எதிர் சுவரில் திரும்பும் காற்று அமைப்பால் திரும்பும். தூசி காற்று திசையுடன் வெளியில் வெளியேற்றப்படுகிறது. பொதுவாக, கீழ்நிலை பக்கத்தில் மாசுபாடு மிகவும் தீவிரமானது.

நன்மைகள்: எளிய கட்டமைப்பு, செயல்பாட்டிற்குப் பிறகு குறுகிய காலத்தில் நிலையானதாக மாறும்.

குறைபாடுகள்: கொந்தளிப்பான ஓட்டத்தை விட கட்டுமான செலவு அதிகமாக உள்ளது, மேலும் உட்புற இடத்தை விரிவாக்குவது எளிதல்ல.

. செயல்பாட்டின் போது அல்லது ஊழியர்களால் உருவாக்கப்படும் தூசி மற்ற வேலை பகுதிகளை பாதிக்காமல் விரைவாக வெளியில் வெளியேற்றப்படலாம்.

நன்மைகள்: நிர்வகிக்க எளிதானது, செயல்பாடு தொடங்கிய பின் குறுகிய காலத்திற்குள் நிலையான நிலையை அடைய முடியும், மேலும் இயக்க நிலை அல்லது ஆபரேட்டர்களால் எளிதில் பாதிக்கப்படாது.

குறைபாடுகள்: உயர் கட்டுமான செலவு, இடத்தை நெகிழ்வாகப் பயன்படுத்துவது கடினம், உச்சவரம்பு ஹேங்கர்கள் நிறைய இடத்தை ஆக்கிரமித்துள்ளன, மேலும் வடிப்பான்களை சரிசெய்யவும் மாற்றவும் தொந்தரவாக இருக்கும்.

கூட்டு வகை

கலப்பு வகை கொந்தளிப்பான ஓட்ட வகை மற்றும் லேமினார் ஓட்ட வகையை ஒன்றிணைப்பது அல்லது பயன்படுத்துவது, இது உள்ளூர் அல்ட்ரா-சுத்தமான காற்றை வழங்கும்.

.

இயந்திர பராமரிப்பின் போது வேலை மற்றும் தரத்தை பாதிப்பதைத் தவிர்ப்பதற்கு இந்த வகை ஆபரேட்டரின் பணி பகுதி தயாரிப்பு மற்றும் இயந்திர பராமரிப்பிலிருந்து தனிமைப்படுத்தப்பட வேண்டும்.

சுத்தமான சுரங்கங்களுக்கு வேறு இரண்டு நன்மைகள் உள்ளன: A. நெகிழ்வாக விரிவாக்க எளிதானது; பி. உபகரணங்கள் பராமரிப்பு பராமரிப்பு பகுதியில் எளிதாக செய்ய முடியும்.

. காற்று வழங்கல் நல்ல தூய்மையை அடைய முடியும், இது ஆற்றலைச் சேமிக்க முடியும் மற்றும் கையேடு உழைப்பு தேவையில்லாத தானியங்கி உற்பத்தி வரிகளுக்கு மிகவும் பொருத்தமானது. இது மருந்து, உணவு மற்றும் குறைக்கடத்தி தொழில்களுக்கு பொருந்தும்.

. சுத்தமான பணிப்பெண்கள், சுத்தமான கொட்டகைகள், முன்னரே தயாரிக்கப்பட்ட சுத்தமான அறைகள் மற்றும் சுத்தமான அலமாரிகள் இந்த வகையைச் சேர்ந்தவை.

சுத்தமான பெஞ்ச்: வகுப்பு 1 ~ 100.

சுத்தமான சாவடி: கொந்தளிப்பான சுத்தமான அறை இடத்தில் நிலையான எதிர்ப்பு வெளிப்படையான பிளாஸ்டிக் துணியால் சூழப்பட்ட ஒரு சிறிய இடம், சுயாதீனமான ஹெபா அல்லது யுஎல்பா மற்றும் ஏர் கண்டிஷனிங் அலகுகளைப் பயன்படுத்தி உயர் மட்ட சுத்தமான இடமாக மாறும், 10 ~ 1000 நிலை, சுமார் உயரம் 2.5 மீட்டர், மற்றும் சுமார் 10 மீ 2 அல்லது அதற்கும் குறைவான ஒரு கவரேஜ் பகுதி. இது நான்கு தூண்களைக் கொண்டுள்ளது மற்றும் நெகிழ்வான பயன்பாட்டிற்காக நகரக்கூடிய சக்கரங்களைக் கொண்டுள்ளது.

5. காற்றோட்ட ஓட்டம்

காற்றோட்டத்தின் முக்கியத்துவம்

ஒரு சுத்தமான அறையின் தூய்மை பெரும்பாலும் காற்றோட்டத்தால் பாதிக்கப்படுகிறது. வேறு வார்த்தைகளில் கூறுவதானால், மக்கள், இயந்திர பெட்டிகள், கட்டிட கட்டமைப்புகள் போன்றவற்றால் உருவாக்கப்படும் தூசியின் இயக்கம் மற்றும் பரவல் காற்றோட்டத்தால் கட்டுப்படுத்தப்படுகின்றன.

சுத்தமான அறை காற்றை வடிகட்ட HEPA மற்றும் ULPA ஐப் பயன்படுத்துகிறது, மேலும் அதன் தூசி சேகரிப்பு வீதம் 99.97 ~ 99.99995%வரை அதிகமாக உள்ளது, எனவே இந்த வடிகட்டியால் வடிகட்டப்பட்ட காற்று மிகவும் சுத்தமாக இருப்பதாகக் கூறலாம். இருப்பினும், மக்களுக்கு மேலதிகமாக, சுத்தமான அறையில் இயந்திரங்கள் போன்ற தூசி ஆதாரங்களும் உள்ளன. இந்த உருவாக்கப்பட்ட தூசுகள் பரவியதும், சுத்தமான இடத்தை பராமரிப்பது சாத்தியமில்லை, எனவே உருவாக்கப்பட்ட தூசியை வெளியில் விரைவாக வெளியேற்ற காற்றோட்டத்தைப் பயன்படுத்த வேண்டும்.

பாதிக்கும் காரணிகள்

ஒரு சுத்தமான அறையின் காற்றோட்டத்தை பாதிக்கும் பல காரணிகள் உள்ளன, அதாவது செயல்முறை உபகரணங்கள், பணியாளர்கள், சுத்தமான அறை சட்டசபை பொருட்கள், லைட்டிங் சாதனங்கள் போன்றவை. அதே நேரத்தில், உற்பத்தி கருவிகளுக்கு மேலே உள்ள காற்றோட்டத்தின் திசைதிருப்பல் புள்ளியும் எடுக்கப்பட வேண்டும் கருத்தில்.

ஒரு பொது இயக்க அட்டவணை அல்லது உற்பத்தி கருவிகளின் மேற்பரப்பில் உள்ள காற்றோட்ட திசைதிருப்பல் புள்ளி சுத்தமான அறை இடத்திற்கும் பகிர்வு வாரியத்திற்கும் இடையிலான தூரத்தின் 2/3 இல் அமைக்கப்பட வேண்டும். இந்த வழியில், ஆபரேட்டர் பணிபுரியும் போது, ​​காற்றோட்டம் செயல்முறைப் பகுதியின் உட்புறத்திலிருந்து இயக்கப் பகுதிக்கு பாயும் மற்றும் தூசியை எடுத்துச் செல்லலாம்; செயல்முறை பகுதிக்கு முன்னால் திசைதிருப்பல் புள்ளி கட்டமைக்கப்பட்டிருந்தால், அது முறையற்ற காற்றோட்டம் திசைதிருப்பலாக மாறும். இந்த நேரத்தில், பெரும்பாலான காற்றோட்டங்கள் செயல்முறை பகுதியின் பின்புறம் பாயும், மேலும் ஆபரேட்டரின் செயல்பாட்டால் ஏற்படும் தூசி உபகரணங்களின் பின்புறம் கொண்டு செல்லப்படும், மேலும் பணிப்பெண் மாசுபடுத்தப்படும், மேலும் மகசூல் தவிர்க்க முடியாமல் குறையும்.

சுத்தமான அறைகளில் வேலை அட்டவணைகள் போன்ற தடைகள் சந்திப்பில் எடி நீரோட்டங்களைக் கொண்டிருக்கும், மேலும் அவர்களுக்கு அருகிலுள்ள தூய்மை ஒப்பீட்டளவில் மோசமாக இருக்கும். பணி அட்டவணையில் திரும்பும் காற்று துளை துளையிடுவது எடி தற்போதைய நிகழ்வைக் குறைக்கும்; சட்டசபை பொருட்களின் தேர்வு பொருத்தமானதா மற்றும் உபகரணங்கள் தளவமைப்பு சரியானதா என்பதையும் காற்றோட்டம் எடி தற்போதைய நிகழ்வாக மாறுமா என்பதற்கான முக்கியமான காரணிகளும் உள்ளன.

6. சுத்தமான அறையின் கலவை

சுத்தமான அறையின் கலவை பின்வரும் அமைப்புகளால் ஆனது (அவற்றில் எதுவுமே கணினி மூலக்கூறுகளில் இன்றியமையாதவை அல்ல), இல்லையெனில் முழுமையான மற்றும் உயர்தர சுத்தமான அறையை உருவாக்க முடியாது:

(1) உச்சவரம்பு அமைப்பு: உச்சவரம்பு தடி, ஐ-பீம் அல்லது யு-பீம், உச்சவரம்பு கட்டம் அல்லது உச்சவரம்பு சட்டகம் உட்பட.

(2) ஏர் கண்டிஷனிங் சிஸ்டம்: ஏர் கேபின், வடிகட்டி அமைப்பு, காற்றாலை போன்றவை உட்பட.

(3) பகிர்வு சுவர்: ஜன்னல்கள் மற்றும் கதவுகள் உட்பட.

(4) தளம்: உயர்ந்த தளம் அல்லது நிலையான எதிர்ப்பு தளம் உட்பட.

(5) லைட்டிங் சாதனங்கள்: எல்.ஈ.டி சுத்திகரிப்பு தட்டையான விளக்கு.

சுத்தமான அறையின் முக்கிய அமைப்பு பொதுவாக எஃகு பார்கள் அல்லது எலும்பு சிமெண்டால் ஆனது, ஆனால் அது எந்த வகையான கட்டமைப்பாக இருந்தாலும், அது பின்வரும் நிபந்தனைகளை பூர்த்தி செய்ய வேண்டும்:

ப. வெப்பநிலை மாற்றங்கள் மற்றும் அதிர்வுகளால் எந்த விரிசலும் ஏற்படாது;

பி. தூசி துகள்களை உருவாக்குவது எளிதல்ல, துகள்கள் இணைப்பது கடினம்;

சி. குறைந்த ஹைக்ரோஸ்கோபிகிட்டி;

டி. சுத்தமான அறையில் ஈரப்பதம் நிலைமைகளை பராமரிக்க, வெப்ப காப்பு அதிகமாக இருக்க வேண்டும்;

7. பயன்பாட்டின் மூலம் வகைப்பாடு

தொழில்துறை சுத்தமான அறை

உயிரற்ற துகள்களின் கட்டுப்பாடு பொருள். இது முக்கியமாக வேலை செய்யும் பொருளுக்கு காற்று தூசி துகள்களின் மாசுபாட்டை கட்டுப்படுத்துகிறது, மேலும் உள்துறை பொதுவாக நேர்மறையான அழுத்த நிலையை பராமரிக்கிறது. இது துல்லியமான இயந்திரத் தொழில், மின்னணுவியல் தொழில் (குறைக்கடத்திகள், ஒருங்கிணைந்த சுற்றுகள் போன்றவை), விண்வெளித் தொழில், உயர் தூய்மை வேதியியல் தொழில், அணுசக்தி தொழில், ஆப்டிகல் மற்றும் காந்த தயாரிப்புத் தொழில் (குறுவட்டு, திரைப்படம், டேப் உற்பத்தி) எல்சிடி (திரவ படிகத்திற்கு ஏற்றது கண்ணாடி), கணினி வன் வட்டு, கணினி தலை உற்பத்தி மற்றும் பிற தொழில்கள்.

உயிரியல் சுத்தமான அறை

வேலை செய்யும் பொருளுக்கு உயிருள்ள துகள்கள் (பாக்டீரியா) மற்றும் உயிரற்ற துகள்கள் (தூசி) மாசுபடுவதை முக்கியமாக கட்டுப்படுத்துகிறது. அதை பிரிக்கலாம்;

ப. பொது உயிரியல் சுத்தமான அறை: முக்கியமாக நுண்ணுயிர் (பாக்டீரியா) பொருட்களின் மாசுபாட்டை கட்டுப்படுத்துகிறது. அதே நேரத்தில், அதன் உள் பொருட்கள் பல்வேறு கருத்தடை முகவர்களின் அரிப்பைத் தாங்க முடியும், மேலும் உள்துறை பொதுவாக நேர்மறையான அழுத்தத்திற்கு உத்தரவாதம் அளிக்கிறது. அடிப்படையில், உள் பொருட்கள் தொழில்துறை சுத்தமான அறையின் பல்வேறு கருத்தடை சிகிச்சையைத் தாங்க முடியும். எடுத்துக்காட்டுகள்: மருந்துத் தொழில், மருத்துவமனைகள் (இயக்க அறைகள், மலட்டு வார்டுகள்), உணவு, அழகுசாதனப் பொருட்கள், பான தயாரிப்பு உற்பத்தி, விலங்கு ஆய்வகங்கள், உடல் மற்றும் வேதியியல் சோதனை ஆய்வகங்கள், இரத்த நிலையங்கள் போன்றவை.

பி. உயிரியல் பாதுகாப்பு சுத்தமான அறை: முக்கியமாக வேலை செய்யும் பொருளின் உயிருள்ள துகள்களின் மாசுபாட்டை வெளி உலகத்திற்கும் மக்களுக்கும் கட்டுப்படுத்துகிறது. உள் அழுத்தத்தை வளிமண்டலத்துடன் எதிர்மறையாக பராமரிக்க வேண்டும். எடுத்துக்காட்டுகள்: பாக்டீரியாலஜி, உயிரியல், சுத்தமான ஆய்வகங்கள், உடல் பொறியியல் (மறுசீரமைப்பு மரபணுக்கள், தடுப்பூசி தயாரித்தல்)