தூய்மை அறை உபகரணங்கள் நிறுவுவதற்கான தேவைகள்

IS0 14644-5 தரநிலையின்படி, தூய்மை அறைகளில் நிலையான உபகரணங்களை நிறுவுவது, அந்த அறையின் வடிவமைப்பு மற்றும் செயல்பாட்டின் அடிப்படையில் அமைய வேண்டும். பின்வரும் விவரங்கள் கீழே அறிமுகப்படுத்தப்படும்.

1. உபகரண நிறுவல் முறை: உபகரண நிறுவல் காலத்தில் தூய்மை அறையை மூடி வைப்பதே சிறந்த முறையாகும். நிறுவல் காலத்திற்கு அருகில் தூய்மை அறை அசுத்தமடைவதைத் தடுப்பதற்காக, உபகரணத்தின் பார்வைக் கோணத்திற்கு ஏற்ற ஒரு கதவை அமைப்பது அல்லது புதிய உபகரணங்கள் கடந்து சென்று தூய்மை அறைக்குள் நுழைவதற்கு ஏதுவாகப் பலகையில் ஒரு வழியை ஒதுக்குவது அவசியம். மேலும், தூய்மை அறையானது அதன் தூய்மைத் தேவைகளையும், அதைத் தொடர்ந்து தேவைப்படும் பணிகளையும் தொடர்ந்து பூர்த்தி செய்வதை உறுதிசெய்யப் பாதுகாப்பு நடவடிக்கைகள் எடுக்கப்பட வேண்டும்.

2. ஒவ்வொரு நிறுவல் காலத்திலும் தூய்மை அறையில் வேலையை நிறுத்த முடியாவிட்டால், அல்லது அகற்றப்பட வேண்டிய கட்டமைப்புகள் இருந்தால், இயங்கிக்கொண்டிருக்கும் தூய்மை அறையானது வேலை செய்யும் பகுதியிலிருந்து திறம்படத் தனிமைப்படுத்தப்பட வேண்டும்: தற்காலிகத் தனிமைப்படுத்தும் சுவர்கள் அல்லது தடுப்புகளைப் பயன்படுத்தலாம். நிறுவல் பணிக்கு இடையூறு ஏற்படாத வகையில், உபகரணங்களைச் சுற்றிப் போதுமான இடம் இருக்க வேண்டும். சூழ்நிலைகள் அனுமதித்தால், சேவை வழிகள் அல்லது பிற முக்கியமற்ற பகுதிகள் வழியாகத் தனிமைப்படுத்தப்பட்ட பகுதிக்குச் செல்லலாம்: இது சாத்தியமில்லை என்றால், நிறுவல் பணியால் ஏற்படும் மாசுபாட்டின் தாக்கத்தைக் குறைப்பதற்கான நடவடிக்கைகள் எடுக்கப்பட வேண்டும். தனிமைப்படுத்தப்பட்ட பகுதியானது சம அழுத்தம் அல்லது எதிர்மறை அழுத்தத்தைப் பராமரிக்க வேண்டும். சுற்றியுள்ள தூய்மை அறைகளில் நேர்மறை அழுத்தம் ஏற்படுவதைத் தவிர்க்க, உயரமான கட்டிடப் பகுதியில் சுத்தமான காற்று விநியோகம் துண்டிக்கப்பட வேண்டும். தனிமைப்படுத்தப்பட்ட பகுதிக்கு அருகிலுள்ள தூய்மை அறை வழியாக மட்டுமே செல்ல முடியும் என்றால், காலணிகளில் உள்ள அழுக்கை அகற்ற ஒட்டும் பட்டைகள் பயன்படுத்தப்பட வேண்டும்.

3. உயரமான பகுதிக்குள் நுழைந்த பிறகு, சுத்தமான ஆடைகள் அசுத்தமாவதைத் தவிர்க்க, ஒருமுறை பயன்படுத்தும் பூட்ஸ் அல்லது ஓவர்ஷூக்கள் மற்றும் ஒற்றைப்பகுதி வேலை ஆடைகளைப் பயன்படுத்தலாம். தனிமைப்படுத்தப்பட்ட பகுதியை விட்டு வெளியேறும் முன், இந்த ஒருமுறை பயன்படுத்தும் பொருட்களை அகற்ற வேண்டும். உபகரணங்களை நிறுவும் செயல்பாட்டின் போது, ​​தனிமைப்படுத்தப்பட்ட பகுதியைச் சுற்றியுள்ள பகுதியைக் கண்காணிப்பதற்கான முறைகள் உருவாக்கப்பட வேண்டும். மேலும், அருகிலுள்ள சுத்தமான அறைக்குள் கசியக்கூடிய எந்தவொரு அசுத்தமும் கண்டறியப்படுவதை உறுதிசெய்ய, கண்காணிப்பின் கால இடைவெளியும் தீர்மானிக்கப்பட வேண்டும். தனிமைப்படுத்தும் நடவடிக்கைகள் அமைக்கப்பட்ட பிறகு, மின்சாரம், தண்ணீர், எரிவாயு, வெற்றிடம், அழுத்தப்பட்ட காற்று மற்றும் கழிவுநீர் குழாய்கள் போன்ற பல்வேறு தேவையான பொது சேவை வசதிகளை அமைக்கலாம். சுற்றியுள்ள சுத்தமான அறைக்குத் தற்செயலாகப் பரவுவதைத் தவிர்க்க, செயல்பாட்டினால் உருவாகும் புகை மற்றும் குப்பைகளை முடிந்தவரை கட்டுப்படுத்தித் தனிமைப்படுத்துவதில் கவனம் செலுத்த வேண்டும். இது தனிமைப்படுத்தும் தடையை அகற்றுவதற்கு முன், திறம்பட சுத்தம் செய்வதற்கும் வழிவகுக்க வேண்டும். பொது சேவை வசதிகள் பயன்பாட்டுத் தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்த பிறகு, பரிந்துரைக்கப்பட்ட துப்புரவு நடைமுறைகளின்படி முழு தனிமைப்படுத்தப்பட்ட பகுதியும் சுத்தம் செய்யப்பட்டு, கிருமி நீக்கம் செய்யப்பட வேண்டும். அனைத்து சுவர்கள், (நிலையான மற்றும் நகர்த்தக்கூடிய) உபகரணங்கள் மற்றும் தரைகள் உட்பட அனைத்து மேற்பரப்புகளும் வெற்றிடக் கருவி மூலம் சுத்தம் செய்யப்பட்டு, துடைக்கப்பட்டு, ஈரத்துணியால் துடைக்கப்பட வேண்டும். குறிப்பாக, உபகரணப் பாதுகாப்புகளுக்குப் பின்னால் உள்ள பகுதிகளையும், உபகரணங்களுக்குக் கீழேயுள்ள பகுதிகளையும் சுத்தம் செய்வதில் சிறப்பு கவனம் செலுத்தப்பட வேண்டும்.

4. தூய்மை அறை மற்றும் நிறுவப்பட்ட உபகரணங்களின் உண்மையான நிலைமைகளின் அடிப்படையில் உபகரண செயல்திறனின் ஒரு பூர்வாங்க சோதனையை நடத்தலாம், ஆனால் அதைத் தொடர்ந்த ஏற்புச் சோதனையானது, தூய்மையான சூழல் நிலைமைகள் முழுமையாகப் பூர்த்தி செய்யப்பட்ட பின்னரே நடத்தப்பட வேண்டும். நிறுவல் தளத்தில் உள்ள நிலைமைகளைப் பொறுத்து, நீங்கள் தனிமைப்படுத்தும் சுவரைக் கவனமாகக் கழற்றத் தொடங்கலாம்; சுத்தமான காற்று விநியோகம் நிறுத்தப்பட்டிருந்தால், அதை மீண்டும் இயக்கவும்; தூய்மை அறையின் இயல்பான செயல்பாட்டில் ஏற்படும் குறுக்கீட்டைக் குறைக்கும் வகையில், இந்தப் பணிக்கட்டத்திற்கான நேரம் கவனமாகத் தேர்ந்தெடுக்கப்பட வேண்டும். இந்த நேரத்தில், காற்றில் உள்ள துகள்களின் செறிவு குறிப்பிடப்பட்ட தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்கிறதா என்பதை அளவிடுவது அவசியமாகலாம்.

5. உபகரணத்தின் உட்புறம் மற்றும் முக்கிய செயல்முறை அறைகளை சுத்தம் செய்தல் மற்றும் தயார் செய்தல் ஆகியவை சாதாரண சுத்தமான அறை நிலைமைகளின் கீழ் மேற்கொள்ளப்பட வேண்டும். அனைத்து உள் அறைகளும், பொருளுடன் தொடர்பு கொள்ளும் அல்லது பொருள் போக்குவரத்தில் ஈடுபடும் அனைத்து மேற்பரப்புகளும் தேவையான அளவு தூய்மைக்குத் துடைக்கப்பட வேண்டும். உபகரணத்தை சுத்தம் செய்யும் வரிசை மேலிருந்து கீழாக இருக்க வேண்டும். துகள்கள் சிதறினால், புவியீர்ப்பு விசையின் காரணமாக பெரிய துகள்கள் உபகரணத்தின் அடிப்பகுதிக்கோ அல்லது தரைக்கோ விழுந்துவிடும். உபகரணத்தின் வெளிப்புற மேற்பரப்பை மேலிருந்து கீழாக சுத்தம் செய்யவும். தேவைப்படும்போது, ​​பொருள் அல்லது உற்பத்தி செயல்முறை தேவைகள் முக்கியமானதாக இருக்கும் பகுதிகளில் மேற்பரப்பு துகள் கண்டறிதல் மேற்கொள்ளப்பட வேண்டும்.

6. உயர் தொழில்நுட்பத் தூய்மை அறைகளின் சிறப்பியல்புகள், குறிப்பாக அவற்றின் பெரிய பரப்பளவு, அதிக முதலீடு, அதிக உற்பத்தி மற்றும் மிகவும் கடுமையான தூய்மைத் தேவைகள் ஆகியவற்றைக் கருத்தில் கொண்டு, இவ்வகைத் தூய்மைத் தொழிற்சாலைகளில் உற்பத்திச் செயல்முறை உபகரணங்களை நிறுவுவது, சாதாரணத் தூய்மை அறைகளில் நிறுவுவதைப் போலவே உள்ளது. இதன் பொருட்டு, 2015-ஆம் ஆண்டில் வெளியிடப்பட்ட "தூய்மைத் தொழிற்சாலை கட்டுமானம் மற்றும் தர ஏற்புக்கான நெறிமுறை" என்ற தேசியத் தரநிலையானது, தூய்மைத் தொழிற்சாலைகளில் உற்பத்திச் செயல்முறை உபகரணங்களை நிறுவுவதற்கான சில விதிகளை வகுத்துள்ளது; அவை முக்கியமாகப் பின்வருவனவற்றை உள்ளடக்கியுள்ளன.

①. உற்பத்தி செயல்முறை உபகரணங்களை நிறுவும் செயல்பாட்டின் போது, ​​'காலி' ஏற்புக்கு உட்படுத்தப்பட்ட தூய்மை அறையில் மாசுபடுவதையோ அல்லது சேதம் ஏற்படுவதையோ தடுக்கும் பொருட்டு, உபகரணத்தை நிறுவும் செயல்பாட்டில் அதிகப்படியான அதிர்வோ அல்லது சாய்வோ இருக்கக்கூடாது, மேலும் உபகரணத்தின் மேற்பரப்புகள் பிரிக்கப்பட்டு மாசுபடக்கூடாது.

②. தூய்மை அறையில் உற்பத்தி செயல்முறை உபகரணங்களை ஒழுங்காகவும், குறைந்த அல்லது அதிக நேரம் உட்காராமலும் நிறுவுவதற்கும், தூய்மைப் பட்டறையில் தூய்மையான உற்பத்தி மேலாண்மை அமைப்பைப் பின்பற்றுவதற்கும், உற்பத்தி உபகரணங்களை நிறுவும் செயல்முறையானது, 'காலி நிலையில்' ஏற்றுக்கொள்ளப்பட்ட பல்வேறு 'முழுமையான பொருட்கள்' மற்றும் 'அரை முழுமையான பொருட்கள்' ஆகியவற்றின்படி பாதுகாக்கப்படுவதை உறுதிசெய்ய வேண்டும். மேலும், நிறுவும் செயல்பாட்டில் பயன்படுத்தப்பட வேண்டிய பொருட்கள், இயந்திரங்கள் போன்றவை, உற்பத்தி செய்யப்படும் பொருட்களுக்குத் தீங்கு விளைவிக்கும் மாசுபடுத்திகளை வெளியிடவோ அல்லது உருவாக்கவோ கூடாது (தூய்மை அறையின் இயல்பான செயல்பாட்டில் நீண்ட நேரம் இயங்குவது உட்பட). தூசியற்ற, துருப்பிடிக்காத, கிரீஸ் இல்லாத மற்றும் பயன்பாட்டின் போது தூசியை உருவாக்காத தூய்மையான பொருட்கள் பயன்படுத்தப்பட வேண்டும்.

③. தூய்மை அறையின் கட்டிட அலங்கார மேற்பரப்பானது, சுத்தமான, தூசியற்ற தகடுகள், படலங்கள் மற்றும் பிற பொருட்களைக் கொண்டு பாதுகாக்கப்பட வேண்டும்; உபகரணத்தின் பின்புலத் தகடு, வடிவமைப்பு அல்லது உபகரணத்தின் தொழில்நுட்ப ஆவணத் தேவைகளுக்கு ஏற்ப தயாரிக்கப்பட வேண்டும். தேவைகள் எதுவும் இல்லை என்றால், துருப்பிடிக்காத எஃகுத் தகடுகள் அல்லது நெகிழித் தகடுகளைப் பயன்படுத்த வேண்டும். தனித்த அடித்தளங்கள் மற்றும் தரை வலுவூட்டல்களுக்குப் பயன்படுத்தப்படும் கார்பன் எஃகுப் பட்டைகள், அரிப்புத் தடுப்புப் பூச்சுடன் பதப்படுத்தப்பட வேண்டும், மேலும் அதன் மேற்பரப்பு தட்டையாகவும் மென்மையாகவும் இருக்க வேண்டும்; நீர்க்கசிவைத் தடுப்பதற்கு மீள் தன்மை கொண்ட அடைப்புப் பொருட்கள் பயன்படுத்தப்பட வேண்டும்.

④. பொருட்களில் மூலப்பொருட்கள், வகைகள், உற்பத்தி தேதி, சேமிப்புக் காலம், தயாரிப்பு முறை வழிமுறைகள் மற்றும் தயாரிப்புத் தகுதிச் சான்றிதழ்கள் ஆகியவை குறிக்கப்பட்டிருக்க வேண்டும். சுத்தமான அறைகளில் பயன்படுத்தப்படும் இயந்திரங்கள் மற்றும் கருவிகளை, பயன்பாட்டிற்காகச் சுத்தமற்ற அறைகளுக்கு நகர்த்தக் கூடாது. சுத்தமான பகுதியில் பயன்படுத்தப்படும் இயந்திரங்கள் மற்றும் கருவிகளின் வெளிப்படும் பாகங்கள் தூசியை உருவாக்காமல் இருப்பதை உறுதி செய்ய வேண்டும் அல்லது தூசி சுற்றுச்சூழலை மாசுபடுத்தாமல் தடுக்க நடவடிக்கை எடுக்க வேண்டும். பொதுவாகப் பயன்படுத்தப்படும் இயந்திரங்கள் மற்றும் கருவிகள், சுத்தமான பகுதிக்கு நகர்த்தப்படுவதற்கு முன்பு காற்றுப் புகா அறையில் (airlock) சுத்தம் செய்யப்பட வேண்டும். அவை எண்ணெய், அழுக்கு, தூசி மற்றும் துரு இல்லாத தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்ய வேண்டும், மேலும் ஆய்வில் தேர்ச்சி பெற்று, "சுத்தமானது" அல்லது "சுத்தமான பகுதிக்கு மட்டும்" என்ற அறிவிப்புப் பலகையை வைத்த பின்னரே நகர்த்தப்பட வேண்டும்.

⑤. தூய்மை அறையில் உள்ள உற்பத்தி செயல்முறை உபகரணங்கள், உயர்த்தப்பட்ட தளங்கள் போன்ற "குறிப்பிட்ட தளங்களில்" நிறுவப்பட வேண்டும். உபகரணத்தின் அடித்தளம் பொதுவாக கீழ் தொழில்நுட்ப இடைத்தளத்திலோ அல்லது சிமென்ட் நுண்துளைத் தகட்டின் மீதோ அமைக்கப்பட வேண்டும்; அடித்தளத்தை நிறுவுவதற்காகப் பிரிக்கப்பட வேண்டிய தளத்தின் கட்டமைப்பை, கையடக்க மின்சார ரம்பத்தால் வெட்டிய பிறகு வலுப்படுத்த வேண்டும், மேலும் அதன் சுமை தாங்கும் திறன் அசல் சுமை தாங்கும் திறனை விடக் குறைவாக இருக்கக்கூடாது. எஃகு சட்டகக் கட்டமைப்பின் ஒரு சுயாதீனமான அடித்தளம் பயன்படுத்தப்படும்போது, ​​அது துத்தநாகம் பூசப்பட்ட பொருளால் அல்லது துருப்பிடிக்காத எஃகால் செய்யப்பட்டிருக்க வேண்டும், மேலும் வெளிப்படும் மேற்பரப்பு தட்டையாகவும் மென்மையாகவும் இருக்க வேண்டும்.

⑥. தூய்மை அறையில் உற்பத்தி செயல்முறை உபகரணங்களை நிறுவும் போது, ​​சுவர் பலகைகள், தொங்கு கூரைகள் மற்றும் உயர்த்தப்பட்ட தளங்களில் துளைகள் இட வேண்டியிருந்தால், துளையிடும் செயல்பாடுகள், பாதுகாக்கப்பட வேண்டிய சுவர் பலகைகள் மற்றும் தொங்கு கூரைப் பலகைகளின் மேற்பரப்புகளைப் பிரிக்கவோ அல்லது மாசுபடுத்தவோ கூடாது. உயர்த்தப்பட்ட தளத்தைத் துளையிட்ட பிறகு, சரியான நேரத்தில் அடித்தளத்தை அமைக்க முடியாத பட்சத்தில், பாதுகாப்புக் கைப்பிடிகள் மற்றும் அபாய எச்சரிக்கை பலகைகள் நிறுவப்பட வேண்டும்; உற்பத்தி உபகரணங்கள் நிறுவப்பட்ட பிறகு, துளையைச் சுற்றியுள்ள இடைவெளி அடைக்கப்பட வேண்டும், மேலும் உபகரணமும் அடைக்கும் பாகங்களும் நெகிழ்வான தொடர்பில் இருக்க வேண்டும், மற்றும் அடைக்கும் பாகத்திற்கும் சுவர் தகட்டிற்கும் இடையிலான இணைப்பு இறுக்கமாகவும் உறுதியாகவும் இருக்க வேண்டும்; பணி அறையின் ஒரு பக்கத்தில் உள்ள அடைக்கும் மேற்பரப்பு தட்டையாகவும் மென்மையாகவும் இருக்க வேண்டும்.