சுத்தமான அறையின் முக்கிய பகுப்பாய்வு

அறிமுகம்

சுத்தமான அறை என்பது மாசு கட்டுப்பாட்டின் அடிப்படையாகும். சுத்தமான அறை இல்லாமல், மாசு உணர்திறன் கொண்ட பாகங்களை பெருமளவில் உற்பத்தி செய்ய முடியாது. FED-STD-2 இல், சுத்தமான அறை என்பது காற்று வடிகட்டுதல், விநியோகம், உகப்பாக்கம், கட்டுமானப் பொருட்கள் மற்றும் உபகரணங்களைக் கொண்ட ஒரு அறையாக வரையறுக்கப்படுகிறது, இதில் குறிப்பிட்ட வழக்கமான இயக்க நடைமுறைகள் காற்றில் உள்ள துகள்களின் செறிவைக் கட்டுப்படுத்தப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன, இதனால் பொருத்தமான துகள் தூய்மை நிலை அடையப்படும்.

சுத்தமான அறையில் நல்ல தூய்மை விளைவை அடைய, நியாயமான காற்றுச்சீரமைப்பி சுத்திகரிப்பு நடவடிக்கைகளை எடுப்பதில் கவனம் செலுத்துவது மட்டுமல்லாமல், செயல்முறை, கட்டுமானம் மற்றும் பிற சிறப்புகள் தொடர்புடைய நடவடிக்கைகளை எடுக்க வேண்டும்: நியாயமான வடிவமைப்பு மட்டுமல்ல, விவரக்குறிப்புகளுக்கு ஏற்ப கவனமாக கட்டுமானம் மற்றும் நிறுவல், அத்துடன் சுத்தமான அறையின் சரியான பயன்பாடு மற்றும் அறிவியல் பராமரிப்பு மற்றும் மேலாண்மை. சுத்தமான அறையில் நல்ல விளைவை அடைய, பல உள்நாட்டு மற்றும் வெளிநாட்டு இலக்கியங்கள் வெவ்வேறு கண்ணோட்டங்களில் விளக்கப்பட்டுள்ளன. உண்மையில், வெவ்வேறு சிறப்புகளுக்கு இடையில் சிறந்த ஒருங்கிணைப்பை அடைவது கடினம், மேலும் வடிவமைப்பாளர்கள் கட்டுமானம் மற்றும் நிறுவலின் தரம் மற்றும் பயன்பாடு மற்றும் மேலாண்மை, குறிப்பாக பிந்தையதைப் புரிந்துகொள்வது கடினம். சுத்தமான அறை சுத்திகரிப்பு நடவடிக்கைகளைப் பொறுத்தவரை, பல வடிவமைப்பாளர்கள் அல்லது கட்டுமானக் கட்சிகள் கூட பெரும்பாலும் அவற்றின் தேவையான நிலைமைகளுக்கு போதுமான கவனம் செலுத்துவதில்லை, இதன் விளைவாக திருப்தியற்ற தூய்மை விளைவு ஏற்படுகிறது. சுத்தமான அறை சுத்திகரிப்பு நடவடிக்கைகளில் தூய்மைத் தேவைகளை அடைவதற்குத் தேவையான நான்கு நிபந்தனைகளை இந்தக் கட்டுரை சுருக்கமாகப் விவாதிக்கிறது.

1. காற்று விநியோக தூய்மை

காற்று விநியோக தூய்மை தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்வதை உறுதி செய்வதற்கு, சுத்திகரிப்பு அமைப்பின் இறுதி வடிகட்டியின் செயல்திறன் மற்றும் நிறுவல் முக்கியமானது.

வடிகட்டி தேர்வு

சுத்திகரிப்பு அமைப்பின் இறுதி வடிகட்டி பொதுவாக ஒரு ஹெப்பா வடிகட்டி அல்லது ஒரு சப்-ஹெப்பா வடிகட்டியை ஏற்றுக்கொள்கிறது. எனது நாட்டின் தரநிலைகளின்படி, ஹெப்பா வடிகட்டிகளின் செயல்திறன் நான்கு தரங்களாகப் பிரிக்கப்பட்டுள்ளது: வகுப்பு A ≥99.9%, வகுப்பு B ≥99.9%, வகுப்பு C ≥99.999%, வகுப்பு D (துகள்களுக்கு ≥0.1μm) ≥99.999% (அல்ட்ரா-ஹெப்பா வடிகட்டிகள் என்றும் அழைக்கப்படுகிறது); துணை-ஹெப்பா வடிகட்டிகள் (துகள்களுக்கு ≥0.5μm) 95~99.9% ஆகும். அதிக செயல்திறன், வடிகட்டி விலை அதிகம். எனவே, ஒரு வடிகட்டியைத் தேர்ந்தெடுக்கும்போது, ​​காற்று விநியோக தூய்மைத் தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்வது மட்டுமல்லாமல், பொருளாதார பகுத்தறிவையும் கருத்தில் கொள்ள வேண்டும்.

தூய்மைத் தேவைகளின் கண்ணோட்டத்தில், குறைந்த அளவிலான சுத்தமான அறைகளுக்கு குறைந்த செயல்திறன் வடிப்பான்களையும், உயர் மட்ட சுத்தமான அறைகளுக்கு உயர் செயல்திறன் வடிப்பான்களையும் பயன்படுத்துவதே கொள்கை. பொதுவாகச் சொன்னால்: 1 மில்லியன் நிலைக்கு உயர் மற்றும் நடுத்தர செயல்திறன் வடிப்பான்களைப் பயன்படுத்தலாம்; 10,000 ஆம் வகுப்புக்குக் கீழே உள்ள நிலைகளுக்கு துணை-ஹெபா அல்லது வகுப்பு A ஹெபா வடிப்பான்களைப் பயன்படுத்தலாம்; 10,000 முதல் 100 ஆம் வகுப்பு வரை வகுப்பு B வடிப்பான்களைப் பயன்படுத்தலாம்; மற்றும் 100 முதல் 1 வரை வகுப்பு C வடிப்பான்களைப் பயன்படுத்தலாம். ஒவ்வொரு தூய்மை நிலைக்கும் தேர்வு செய்ய இரண்டு வகையான வடிப்பான்கள் இருப்பதாகத் தெரிகிறது. உயர் செயல்திறன் அல்லது குறைந்த செயல்திறன் வடிப்பான்களைத் தேர்ந்தெடுப்பது என்பது குறிப்பிட்ட சூழ்நிலையைப் பொறுத்தது: சுற்றுச்சூழல் மாசுபாடு தீவிரமாக இருக்கும்போது, ​​அல்லது உட்புற வெளியேற்ற விகிதம் பெரியதாக இருக்கும்போது, ​​அல்லது சுத்தமான அறை குறிப்பாக முக்கியமானது மற்றும் பெரிய பாதுகாப்பு காரணி தேவைப்படும்போது, ​​இந்த அல்லது இந்த நிகழ்வுகளில் ஏதேனும் ஒன்றில், உயர் வகுப்பு வடிகட்டியைத் தேர்ந்தெடுக்க வேண்டும்; இல்லையெனில், குறைந்த செயல்திறன் வடிப்பானைத் தேர்ந்தெடுக்கலாம். 0.1μm துகள்களின் கட்டுப்பாடு தேவைப்படும் சுத்தமான அறைகளுக்கு, கட்டுப்படுத்தப்பட்ட துகள் செறிவு எதுவாக இருந்தாலும் வகுப்பு D வடிகட்டிகள் தேர்ந்தெடுக்கப்பட வேண்டும். மேலே உள்ளவை வடிகட்டியின் கண்ணோட்டத்தில் மட்டுமே. உண்மையில், ஒரு நல்ல வடிகட்டியைத் தேர்வுசெய்ய, நீங்கள் சுத்தமான அறை, வடிகட்டி மற்றும் சுத்திகரிப்பு அமைப்பின் பண்புகளையும் முழுமையாகக் கருத்தில் கொள்ள வேண்டும்.

வடிகட்டி நிறுவல்

காற்று விநியோகத்தின் தூய்மையை உறுதி செய்ய, தகுதிவாய்ந்த வடிகட்டிகள் மட்டும் இருந்தால் போதாது, ஆனால் இவற்றையும் உறுதி செய்ய வேண்டும்: a. போக்குவரத்து மற்றும் நிறுவலின் போது வடிகட்டி சேதமடையக்கூடாது; b. நிறுவல் இறுக்கமாக உள்ளது. முதல் புள்ளியை அடைய, கட்டுமான மற்றும் நிறுவல் பணியாளர்கள் நன்கு பயிற்சி பெற்றிருக்க வேண்டும், சுத்திகரிப்பு அமைப்புகளை நிறுவுவது பற்றிய அறிவு மற்றும் திறமையான நிறுவல் திறன்கள் இரண்டையும் கொண்டிருக்க வேண்டும். இல்லையெனில், வடிகட்டி சேதமடையாமல் இருப்பதை உறுதி செய்வது கடினமாக இருக்கும். இது சம்பந்தமாக ஆழமான படிப்பினைகள் உள்ளன. இரண்டாவதாக, நிறுவல் இறுக்கத்தின் சிக்கல் முக்கியமாக நிறுவல் கட்டமைப்பின் தரத்தைப் பொறுத்தது. வடிவமைப்பு கையேடு பொதுவாக பரிந்துரைக்கிறது: ஒரு வடிகட்டிக்கு, ஒரு திறந்த வகை நிறுவல் பயன்படுத்தப்படுகிறது, இதனால் கசிவு ஏற்பட்டாலும், அது அறைக்குள் கசிந்துவிடாது; முடிக்கப்பட்ட ஹெபா ஏர் அவுட்லெட்டைப் பயன்படுத்தி, இறுக்கத்தை உறுதி செய்வதும் எளிதானது. பல வடிகட்டிகளின் காற்றிற்கு, ஜெல் சீல் மற்றும் எதிர்மறை அழுத்த சீலிங் ஆகியவை சமீபத்திய ஆண்டுகளில் பெரும்பாலும் பயன்படுத்தப்படுகின்றன.

திரவ தொட்டி இணைப்பு இறுக்கமாகவும், ஒட்டுமொத்த சட்டகம் ஒரே கிடைமட்ட தளத்தில் இருப்பதையும் ஜெல் சீல் உறுதி செய்ய வேண்டும். எதிர்மறை அழுத்த சீலிங் என்பது வடிகட்டி மற்றும் நிலையான அழுத்த பெட்டி மற்றும் சட்டகத்திற்கு இடையிலான இணைப்பின் வெளிப்புற சுற்றளவை எதிர்மறை அழுத்த நிலையில் வைப்பதாகும். திறந்த வகை நிறுவலைப் போலவே, கசிவு இருந்தாலும், அது அறைக்குள் கசியாது. உண்மையில், நிறுவல் சட்டகம் தட்டையாகவும், வடிகட்டி முனை முகம் நிறுவல் சட்டத்துடன் சீரான தொடர்பில் இருக்கும் வரை, எந்தவொரு நிறுவல் வகையிலும் வடிகட்டி நிறுவல் இறுக்கத் தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்ய எளிதாக இருக்க வேண்டும்.

2. காற்றோட்ட அமைப்பு

ஒரு சுத்தமான அறையின் காற்றோட்ட அமைப்பு, பொதுவான குளிரூட்டப்பட்ட அறையிலிருந்து வேறுபட்டது. இதற்கு முதலில் இயக்கப் பகுதிக்கு சுத்தமான காற்று வழங்கப்பட வேண்டும். பதப்படுத்தப்பட்ட பொருட்களுக்கு மாசுபாட்டைக் கட்டுப்படுத்துவதும் குறைப்பதும் இதன் செயல்பாடு. இந்த நோக்கத்திற்காக, காற்றோட்ட அமைப்பை வடிவமைக்கும்போது பின்வரும் கொள்கைகளைக் கருத்தில் கொள்ள வேண்டும்: வேலைப் பகுதிக்கு வெளியே இருந்து மாசுபாட்டை வேலைப் பகுதிக்குள் கொண்டு வருவதைத் தவிர்க்க சுழல் மின்னோட்டங்களைக் குறைத்தல்; பணிப் பகுதியை தூசி மாசுபடுத்தும் வாய்ப்பைக் குறைக்க இரண்டாம் நிலை தூசி பறப்பதைத் தடுக்க முயற்சிக்கவும்; வேலைப் பகுதியில் காற்றோட்டம் முடிந்தவரை சீராக இருக்க வேண்டும், மேலும் அதன் காற்றின் வேகம் செயல்முறை மற்றும் சுகாதாரத் தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்ய வேண்டும். காற்று திரும்பும் காற்று வெளியீட்டிற்கு பாயும் போது, ​​காற்றில் உள்ள தூசி திறம்பட அகற்றப்பட வேண்டும். வெவ்வேறு தூய்மைத் தேவைகளுக்கு ஏற்ப வெவ்வேறு காற்று விநியோகம் மற்றும் திரும்பும் முறைகளைத் தேர்வு செய்யவும்.

வெவ்வேறு காற்றோட்ட அமைப்புகள் அவற்றின் சொந்த பண்புகள் மற்றும் நோக்கங்களைக் கொண்டுள்ளன:

(1). செங்குத்து ஒருதிசை ஓட்டம்

சீரான கீழ்நோக்கிய காற்றோட்டத்தைப் பெறுதல், செயல்முறை உபகரணங்களின் ஏற்பாட்டை எளிதாக்குதல், வலுவான சுய-சுத்திகரிப்பு திறன் மற்றும் தனிப்பட்ட சுத்திகரிப்பு வசதிகள் போன்ற பொதுவான வசதிகளை எளிமைப்படுத்துதல் ஆகியவற்றின் பொதுவான நன்மைகளுக்கு கூடுதலாக, நான்கு காற்று விநியோக முறைகளும் அவற்றின் சொந்த நன்மைகள் மற்றும் தீமைகளைக் கொண்டுள்ளன: முழு-மூடப்பட்ட ஹெபா வடிகட்டிகள் குறைந்த எதிர்ப்பு மற்றும் நீண்ட வடிகட்டி மாற்று சுழற்சியின் நன்மைகளைக் கொண்டுள்ளன, ஆனால் உச்சவரம்பு அமைப்பு சிக்கலானது மற்றும் செலவு அதிகமாக உள்ளது; பக்கவாட்டு-மூடப்பட்ட ஹெபா வடிகட்டி மேல் விநியோகம் மற்றும் முழு-துளை தட்டு மேல் விநியோகத்தின் நன்மைகள் மற்றும் தீமைகள் முழு-மூடப்பட்ட ஹெபா வடிகட்டி மேல் விநியோகத்திற்கு நேர்மாறானவை. அவற்றில், முழு-துளை தட்டு மேல் விநியோகம் அமைப்பு தொடர்ந்து இயங்காதபோது துளை தட்டின் உள் மேற்பரப்பில் தூசியைக் குவிப்பது எளிது, மேலும் மோசமான பராமரிப்பு தூய்மையில் சில தாக்கத்தை ஏற்படுத்துகிறது; அடர்த்தியான டிஃப்பியூசர் மேல் விநியோகத்திற்கு ஒரு கலவை அடுக்கு தேவைப்படுகிறது, எனவே இது 4 மீட்டருக்கு மேல் உயரமான சுத்தமான அறைகளுக்கு மட்டுமே பொருத்தமானது, மேலும் அதன் பண்புகள் முழு-துளை தட்டு மேல் விநியோகத்தைப் போலவே இருக்கும்; இருபுறமும் கிரில்ஸ் மற்றும் எதிர் சுவர்களின் அடிப்பகுதியில் சமமாக அமைக்கப்பட்ட திரும்பும் காற்று வெளியேற்றங்களைக் கொண்ட தட்டுக்கான திரும்பும் காற்று முறை, இருபுறமும் 6 மீட்டருக்கும் குறைவான நிகர இடைவெளி கொண்ட சுத்தமான அறைகளுக்கு மட்டுமே பொருத்தமானது; ஒற்றை பக்க சுவரின் அடிப்பகுதியில் அமைக்கப்பட்ட திரும்பும் காற்று வெளியேற்றங்கள் சுவர்களுக்கு இடையில் ஒரு சிறிய தூரம் (≤ <2~3 மீ போன்றவை) கொண்ட சுத்தமான அறைகளுக்கு மட்டுமே பொருத்தமானவை.

(2). கிடைமட்ட ஒற்றைத் திசை ஓட்டம்

முதல் வேலைப் பகுதி மட்டுமே 100 என்ற தூய்மை நிலையை அடைய முடியும். காற்று மறுபுறம் பாயும் போது, ​​தூசி செறிவு படிப்படியாக அதிகரிக்கிறது. எனவே, ஒரே அறையில் ஒரே செயல்முறைக்கு வெவ்வேறு தூய்மைத் தேவைகளைக் கொண்ட சுத்தமான அறைகளுக்கு மட்டுமே இது பொருத்தமானது. காற்று விநியோக சுவரில் ஹெபா வடிகட்டிகளின் உள்ளூர் விநியோகம் ஹெபா வடிகட்டிகளின் பயன்பாட்டைக் குறைத்து ஆரம்ப முதலீட்டைச் சேமிக்கும், ஆனால் உள்ளூர் பகுதிகளில் சுழல்கள் உள்ளன.

(3). கொந்தளிப்பான காற்றோட்டம்

மேலே குறிப்பிடப்பட்டதைப் போலவே, துளைத் தகடுகளின் மேல் விநியோகம் மற்றும் அடர்த்தியான டிஃப்பியூசர்களின் மேல் விநியோகத்தின் பண்புகள் ஒரே மாதிரியானவை: பக்கவாட்டு விநியோகத்தின் நன்மைகள் குழாய்களை ஏற்பாடு செய்வது எளிது, தொழில்நுட்ப இடை அடுக்கு தேவையில்லை, குறைந்த விலை மற்றும் பழைய தொழிற்சாலைகளின் புதுப்பிப்புக்கு உகந்தது. குறைபாடுகள் என்னவென்றால், வேலை செய்யும் பகுதியில் காற்றின் வேகம் அதிகமாக உள்ளது, மேலும் கீழ்க்காற்றில் உள்ள தூசி செறிவு மேல்காற்றில் உள்ளதை விட அதிகமாக உள்ளது; ஹெப்பா வடிகட்டி விற்பனை நிலையங்களின் மேல் விநியோகம் எளிய அமைப்பின் நன்மைகளைக் கொண்டுள்ளது, ஹெப்பா வடிகட்டியின் பின்னால் குழாய்கள் இல்லை, மற்றும் சுத்தமான காற்றோட்டம் நேரடியாக வேலை செய்யும் பகுதிக்கு வழங்கப்படுகிறது, ஆனால் சுத்தமான காற்றோட்டம் மெதுவாக பரவுகிறது மற்றும் வேலை செய்யும் பகுதியில் காற்றோட்டம் மிகவும் சீரானது; இருப்பினும், பல காற்று விற்பனை நிலையங்கள் சமமாக அமைக்கப்பட்டிருக்கும்போது அல்லது டிஃப்பியூசர்களுடன் கூடிய ஹெப்பா வடிகட்டி காற்று விற்பனை நிலையங்கள் பயன்படுத்தப்படும்போது, ​​வேலை செய்யும் பகுதியில் உள்ள காற்றோட்டத்தையும் மேலும் சீரானதாக மாற்ற முடியும்; ஆனால் அமைப்பு தொடர்ந்து இயங்காதபோது, ​​டிஃப்பியூசர் தூசி குவிவதற்கு வாய்ப்புள்ளது.

மேலே உள்ள விவாதம் அனைத்தும் ஒரு சிறந்த நிலையில் உள்ளது மற்றும் தொடர்புடைய தேசிய விவரக்குறிப்புகள், தரநிலைகள் அல்லது வடிவமைப்பு கையேடுகளால் பரிந்துரைக்கப்படுகிறது. உண்மையான திட்டங்களில், புறநிலை நிலைமைகள் அல்லது வடிவமைப்பாளரின் அகநிலை காரணங்களால் காற்றோட்ட அமைப்பு சரியாக வடிவமைக்கப்படவில்லை. பொதுவானவை பின்வருமாறு: செங்குத்து ஒரு திசை ஓட்டம் அருகிலுள்ள இரண்டு சுவர்களின் கீழ் பகுதியிலிருந்து திரும்பும் காற்றை ஏற்றுக்கொள்கிறது, உள்ளூர் வகுப்பு 100 மேல் விநியோகத்தையும் மேல் திரும்புதலையும் ஏற்றுக்கொள்கிறது (அதாவது, உள்ளூர் காற்று வெளியீட்டின் கீழ் தொங்கும் திரை சேர்க்கப்படவில்லை), மற்றும் கொந்தளிப்பான சுத்தமான அறைகள் ஹெபா வடிகட்டி காற்று வெளியீட்டின் மேல் விநியோகம் மற்றும் மேல் திரும்புதல் அல்லது ஒற்றை-பக்க கீழ் திரும்புதல் (சுவர்களுக்கு இடையில் பெரிய இடைவெளி) போன்றவற்றை ஏற்றுக்கொள்கின்றன. இந்த காற்றோட்ட அமைப்பு முறைகள் அளவிடப்பட்டுள்ளன, மேலும் அவற்றின் பெரும்பாலான தூய்மை வடிவமைப்பு தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்யவில்லை. காலியான அல்லது நிலையான ஏற்றுக்கொள்ளலுக்கான தற்போதைய விவரக்குறிப்புகள் காரணமாக, இந்த சுத்தமான அறைகளில் சில வெற்று அல்லது நிலையான நிலைகளில் வடிவமைக்கப்பட்ட தூய்மை நிலையை அரிதாகவே அடைகின்றன, ஆனால் மாசு எதிர்ப்பு குறுக்கீடு திறன் மிகவும் குறைவாக உள்ளது, மேலும் சுத்தமான அறை வேலை செய்யும் நிலைக்கு நுழைந்தவுடன், அது தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்யாது.

உள்ளூர் பகுதியில் பணிபுரியும் பகுதியின் உயரத்திற்கு திரைச்சீலைகள் தொங்கவிடப்படுவதன் மூலம் சரியான காற்றோட்ட அமைப்பை அமைக்க வேண்டும், மேலும் 100,000 வகுப்பு மேல் விநியோகத்தையும் மேல் திரும்புதலையும் ஏற்றுக்கொள்ளக்கூடாது. கூடுதலாக, பெரும்பாலான தொழிற்சாலைகள் தற்போது டிஃப்பியூசர்களுடன் கூடிய உயர்-திறன் காற்று வெளியேற்றங்களை உற்பத்தி செய்கின்றன, மேலும் அவற்றின் டிஃப்பியூசர்கள் அலங்கார துளை தகடுகள் மட்டுமே மற்றும் காற்றோட்டத்தை பரப்பும் பங்கை வகிக்காது. வடிவமைப்பாளர்கள் மற்றும் பயனர்கள் இதில் சிறப்பு கவனம் செலுத்த வேண்டும்.

3. காற்று விநியோக அளவு அல்லது காற்று வேகம்

உட்புற மாசுபட்ட காற்றை நீர்த்துப்போகச் செய்து அகற்றுவதற்கு போதுமான காற்றோட்ட அளவு உள்ளது. வெவ்வேறு தூய்மைத் தேவைகளுக்கு ஏற்ப, சுத்தமான அறையின் நிகர உயரம் அதிகமாக இருக்கும்போது, ​​காற்றோட்ட அதிர்வெண்ணை சரியான முறையில் அதிகரிக்க வேண்டும். அவற்றில், 1 மில்லியன்-நிலை சுத்தமான அறையின் காற்றோட்ட அளவு உயர்-செயல்திறன் சுத்திகரிப்பு அமைப்பின் படி கருதப்படுகிறது, மீதமுள்ளவை உயர்-செயல்திறன் சுத்திகரிப்பு அமைப்பின் படி கருதப்படுகின்றன; 100,000 வகுப்பு சுத்தமான அறையின் ஹெபா வடிகட்டிகள் இயந்திர அறையில் குவிந்திருக்கும் போது அல்லது அமைப்பின் முடிவில் துணை-ஹெபா வடிகட்டிகள் பயன்படுத்தப்படும் போது, ​​காற்றோட்ட அதிர்வெண்ணை 10-20% பொருத்தமாக அதிகரிக்கலாம்.

மேலே உள்ள பரிந்துரைக்கப்பட்ட காற்றோட்ட அளவு மதிப்புகளுக்கு, ஆசிரியர் நம்புகிறார்: ஒற்றை திசை ஓட்டம் சுத்தமான அறையின் அறைப் பகுதி வழியாக காற்றின் வேகம் குறைவாக உள்ளது, மேலும் கொந்தளிப்பான சுத்தமான அறை போதுமான பாதுகாப்பு காரணியுடன் பரிந்துரைக்கப்பட்ட மதிப்பைக் கொண்டுள்ளது. செங்குத்து ஒற்றை திசை ஓட்டம் ≥ 0.25m/s, கிடைமட்ட ஒற்றை திசை ஓட்டம் ≥ 0.35m/s. வெற்று அல்லது நிலையான நிலைகளில் சோதிக்கப்படும் போது தூய்மைத் தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்ய முடியும் என்றாலும், மாசு எதிர்ப்புத் திறன் மோசமாக உள்ளது. அறை வேலை செய்யும் நிலைக்கு நுழைந்தவுடன், தூய்மை தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்யாமல் போகலாம். இந்த வகையான உதாரணம் ஒரு தனிமைப்படுத்தப்பட்ட வழக்கு அல்ல. அதே நேரத்தில், என் நாட்டின் வென்டிலேட்டர் தொடரில் சுத்திகரிப்பு அமைப்புகளுக்கு ஏற்ற மின்விசிறிகள் எதுவும் இல்லை. பொதுவாக, வடிவமைப்பாளர்கள் பெரும்பாலும் அமைப்பின் காற்று எதிர்ப்பின் துல்லியமான கணக்கீடுகளைச் செய்வதில்லை, அல்லது தேர்ந்தெடுக்கப்பட்ட விசிறி சிறப்பியல்பு வளைவில் மிகவும் சாதகமான வேலைப் புள்ளியில் உள்ளதா என்பதைக் கவனிப்பதில்லை, இதன் விளைவாக அமைப்பு செயல்பாட்டுக்கு வந்த சிறிது நேரத்திலேயே காற்றின் அளவு அல்லது காற்றின் வேகம் வடிவமைப்பு மதிப்பை அடையத் தவறிவிடும். அமெரிக்க கூட்டாட்சி தரநிலை (FS209A~B), சுத்தமான அறை குறுக்குவெட்டு வழியாக ஒரு திசையில் சுத்தமான அறையின் காற்றோட்ட வேகம் பொதுவாக 90 அடி/நிமிடம் (0.45 மீ/வி) இல் பராமரிக்கப்படும் என்றும், முழு அறையிலும் எந்த குறுக்கீடும் இல்லாத நிலையில் வேகம் சீரான தன்மை இல்லாதது ±20% க்குள் இருக்கும் என்றும் விதித்தது. காற்றோட்ட வேகத்தில் ஏதேனும் குறிப்பிடத்தக்க குறைவு, வேலை செய்யும் நிலைகளுக்கு இடையில் சுய-சுத்தப்படுத்தும் நேரம் மற்றும் மாசுபாட்டின் சாத்தியத்தை அதிகரிக்கும் (அக்டோபர் 1987 இல் FS209C அறிவிக்கப்பட்ட பிறகு, தூசி செறிவு தவிர மற்ற அனைத்து அளவுரு குறிகாட்டிகளுக்கும் எந்த விதிமுறைகளும் உருவாக்கப்படவில்லை).

இந்தக் காரணத்திற்காக, ஒரு திசை ஓட்ட வேகத்தின் தற்போதைய உள்நாட்டு வடிவமைப்பு மதிப்பை சரியான முறையில் அதிகரிப்பது பொருத்தமானது என்று ஆசிரியர் நம்புகிறார். எங்கள் அலகு உண்மையான திட்டங்களில் இதைச் செய்துள்ளது, மேலும் விளைவு ஒப்பீட்டளவில் நல்லது. கொந்தளிப்பான சுத்தமான அறை ஒப்பீட்டளவில் போதுமான பாதுகாப்பு காரணியுடன் பரிந்துரைக்கப்பட்ட மதிப்பைக் கொண்டுள்ளது, ஆனால் பல வடிவமைப்பாளர்கள் இன்னும் உறுதியளிக்கப்படவில்லை. குறிப்பிட்ட வடிவமைப்புகளை உருவாக்கும் போது, ​​அவை வகுப்பு 100,000 சுத்தமான அறையின் காற்றோட்ட அளவை மணிக்கு 20-25 மடங்கு, வகுப்பு 10,000 சுத்தமான அறையை மணிக்கு 30-40 மடங்கு மற்றும் வகுப்பு 1000 சுத்தமான அறையை மணிக்கு 60-70 மடங்கு என அதிகரிக்கின்றன. இது உபகரணத் திறன் மற்றும் ஆரம்ப முதலீட்டை அதிகரிப்பது மட்டுமல்லாமல், எதிர்கால பராமரிப்பு மற்றும் மேலாண்மை செலவுகளையும் அதிகரிக்கிறது. உண்மையில், அவ்வாறு செய்ய வேண்டிய அவசியமில்லை. எனது நாட்டின் காற்று சுத்தம் செய்யும் தொழில்நுட்ப நடவடிக்கைகளைத் தொகுக்கும்போது, ​​சீனாவில் வகுப்பு 100 க்கும் மேற்பட்ட சுத்தமான அறைகள் ஆராயப்பட்டு அளவிடப்பட்டன. பல சுத்தமான அறைகள் மாறும் நிலைமைகளின் கீழ் சோதிக்கப்பட்டன. வகுப்பு 100,000 சுத்தமான அறைகளின் காற்றோட்ட அளவுகள் ≥10 மடங்கு/மணி, வகுப்பு 10,000 சுத்தமான அறைகள் ≥20 மடங்கு/மணி, மற்றும் வகுப்பு 1000 சுத்தமான அறைகளின் காற்றோட்ட அளவுகள் ≥50 மடங்கு/மணி தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்ய முடியும் என்று முடிவுகள் காட்டுகின்றன. அமெரிக்க கூட்டாட்சி தரநிலை (FS2O9A~B) பின்வருமாறு கூறுகிறது: ஒரு திசையில்லா சுத்தமான அறைகள் (வகுப்பு 100,000, வகுப்பு 10,000), அறை உயரம் 8~12 அடி (2.44~3.66 மீ), பொதுவாக முழு அறையும் ஒவ்வொரு 3 நிமிடங்களுக்கும் ஒரு முறையாவது (அதாவது 20 மடங்கு/மணி) காற்றோட்டம் செய்யப்பட வேண்டும் என்று கருதுகிறது. எனவே, வடிவமைப்பு விவரக்குறிப்பு ஒரு பெரிய உபரி குணகத்தை கணக்கில் எடுத்துக்கொண்டது, மேலும் வடிவமைப்பாளர் காற்றோட்ட அளவின் பரிந்துரைக்கப்பட்ட மதிப்பின் படி பாதுகாப்பாக தேர்வு செய்யலாம்.

4. நிலையான அழுத்த வேறுபாடு

சுத்தமான அறையில் ஒரு குறிப்பிட்ட நேர்மறை அழுத்தத்தை பராமரிப்பது, வடிவமைக்கப்பட்ட தூய்மை அளவைப் பராமரிக்க சுத்தமான அறை மாசுபடாமல் அல்லது குறைவாக மாசுபடாமல் இருப்பதை உறுதி செய்வதற்கான அத்தியாவசிய நிபந்தனைகளில் ஒன்றாகும். எதிர்மறை அழுத்த சுத்தமான அறைகளுக்கு கூட, ஒரு குறிப்பிட்ட நேர்மறை அழுத்தத்தைப் பராமரிக்க, அதன் அளவை விடக் குறைவாக இல்லாத தூய்மை அளவைக் கொண்ட அருகிலுள்ள அறைகள் அல்லது அறைகள் இருக்க வேண்டும், இதனால் எதிர்மறை அழுத்த சுத்தமான அறையின் தூய்மையைப் பராமரிக்க முடியும்.

சுத்தமான அறையின் நேர்மறை அழுத்த மதிப்பு என்பது, அனைத்து கதவுகளும் ஜன்னல்களும் மூடப்பட்டிருக்கும் போது, ​​உட்புற நிலையான அழுத்தம் வெளிப்புற நிலையான அழுத்தத்தை விட அதிகமாக இருக்கும்போது ஏற்படும் மதிப்பைக் குறிக்கிறது. சுத்திகரிப்பு அமைப்பின் காற்று விநியோக அளவு திரும்பும் காற்று அளவு மற்றும் வெளியேற்றும் காற்றின் அளவை விட அதிகமாக இருக்கும் முறையால் இது அடையப்படுகிறது. சுத்தமான அறையின் நேர்மறை அழுத்த மதிப்பை உறுதி செய்வதற்காக, வழங்கல், திரும்பும் மற்றும் வெளியேற்றும் விசிறிகள் முன்னுரிமையாக ஒன்றோடொன்று பூட்டப்பட்டிருக்கும். அமைப்பு இயக்கப்படும் போது, ​​முதலில் விநியோக விசிறி தொடங்கப்படும், பின்னர் திரும்பும் மற்றும் வெளியேற்றும் விசிறிகள் தொடங்கப்படும்; அமைப்பு அணைக்கப்படும் போது, ​​முதலில் வெளியேற்றும் விசிறி அணைக்கப்படும், பின்னர் அமைப்பு இயக்கப்படும் மற்றும் அணைக்கப்படும் போது சுத்தமான அறை மாசுபடுவதைத் தடுக்க திரும்பும் மற்றும் விநியோக விசிறிகள் அணைக்கப்படும்.

சுத்தமான அறையின் நேர்மறை அழுத்தத்தை பராமரிக்க தேவையான காற்றின் அளவு முக்கியமாக பராமரிப்பு கட்டமைப்பின் காற்று புகாத தன்மையால் தீர்மானிக்கப்படுகிறது. எனது நாட்டில் சுத்தமான அறை கட்டுமானத்தின் ஆரம்ப நாட்களில், உறை கட்டமைப்பின் மோசமான காற்று புகாத தன்மை காரணமாக, ≥5Pa நேர்மறை அழுத்தத்தை பராமரிக்க 2 முதல் 6 மடங்கு/மணிக்கு காற்று வழங்கல் தேவைப்பட்டது; தற்போது, ​​பராமரிப்பு கட்டமைப்பின் காற்று புகாத தன்மை பெரிதும் மேம்படுத்தப்பட்டுள்ளது, மேலும் அதே நேர்மறை அழுத்தத்தை பராமரிக்க 1 முதல் 2 மடங்கு/மணிக்கு காற்று வழங்கல் மட்டுமே தேவைப்படுகிறது; மேலும் ≥10Pa பராமரிக்க 2 முதல் 3 மடங்கு/மணிக்கு காற்று வழங்கல் மட்டுமே தேவைப்படுகிறது.

என் நாட்டின் வடிவமைப்பு விவரக்குறிப்புகள் [6] வெவ்வேறு தரங்களைக் கொண்ட சுத்தமான அறைகளுக்கும், சுத்தமான பகுதிகளுக்கும் சுத்தம் செய்யப்படாத பகுதிகளுக்கும் இடையிலான நிலையான அழுத்த வேறுபாடு 0.5 மிமீ H2O (~5Pa) க்கும் குறையாமல் இருக்க வேண்டும் என்றும், சுத்தமான பகுதிக்கும் வெளிப்புறங்களுக்கும் இடையிலான நிலையான அழுத்த வேறுபாடு 1.0 மிமீ H2O (~10Pa) க்கும் குறையாமல் இருக்க வேண்டும் என்றும் விதிக்கிறது. மூன்று காரணங்களுக்காக இந்த மதிப்பு மிகக் குறைவாக இருப்பதாக ஆசிரியர் நம்புகிறார்:

(1) நேர்மறை அழுத்தம் என்பது கதவுகள் மற்றும் ஜன்னல்களுக்கு இடையிலான இடைவெளிகள் வழியாக உட்புற காற்று மாசுபாட்டை அடக்குவதற்கு அல்லது கதவுகள் மற்றும் ஜன்னல்களை சிறிது நேரம் திறக்கும்போது அறைக்குள் ஊடுருவும் மாசுபாடுகளைக் குறைப்பதற்கு ஒரு சுத்தமான அறையின் திறனைக் குறிக்கிறது. நேர்மறை அழுத்தத்தின் அளவு மாசுபாட்டை அடக்கும் திறனின் வலிமையைக் குறிக்கிறது. நிச்சயமாக, நேர்மறை அழுத்தம் பெரியதாக இருந்தால், சிறந்தது (இது பின்னர் விவாதிக்கப்படும்).

(2) நேர்மறை அழுத்தத்திற்குத் தேவையான காற்றின் அளவு குறைவாக உள்ளது. 5Pa நேர்மறை அழுத்தத்திற்கும் 10Pa நேர்மறை அழுத்தத்திற்கும் தேவையான காற்றின் அளவு சுமார் 1 முறை/மணி நேரம் மட்டுமே வேறுபடுகிறது. ஏன் அதைச் செய்யக்கூடாது? வெளிப்படையாக, நேர்மறை அழுத்தத்தின் குறைந்த வரம்பை 10Pa ஆக எடுத்துக்கொள்வது நல்லது.

(3) அமெரிக்க ஃபெடரல் தரநிலை (FS209A~B) அனைத்து நுழைவாயில்களும் வெளியேறும் வழிகளும் மூடப்பட்டிருக்கும் போது, ​​சுத்தமான அறைக்கும் அருகிலுள்ள குறைந்த தூய்மைப் பகுதிக்கும் இடையிலான குறைந்தபட்ச நேர்மறை அழுத்த வேறுபாடு 0.05 அங்குல நீர் நிரல் (12.5Pa) என்று விதிக்கிறது. இந்த மதிப்பு பல நாடுகளால் ஏற்றுக்கொள்ளப்பட்டுள்ளது. ஆனால் சுத்தமான அறையின் நேர்மறை அழுத்த மதிப்பு அதிகமாக இல்லை, சிறந்தது. 30 ஆண்டுகளுக்கும் மேலாக எங்கள் அலகின் உண்மையான பொறியியல் சோதனைகளின்படி, நேர்மறை அழுத்த மதிப்பு ≥ 30Pa ஆக இருக்கும்போது, ​​கதவைத் திறப்பது கடினம். நீங்கள் கதவை கவனக்குறைவாக மூடினால், அது ஒரு சத்தத்தை எழுப்பும்! அது மக்களை பயமுறுத்தும். நேர்மறை அழுத்த மதிப்பு ≥ 50~70Pa ஆக இருக்கும்போது, ​​கதவுகளுக்கும் ஜன்னல்களுக்கும் இடையிலான இடைவெளிகள் ஒரு விசில் சத்தத்தை எழுப்பும், மேலும் பலவீனமானவர்கள் அல்லது சில பொருத்தமற்ற அறிகுறிகளைக் கொண்டவர்கள் சங்கடமாக உணருவார்கள். இருப்பினும், உள்நாட்டிலும் வெளிநாட்டிலும் உள்ள பல நாடுகளின் தொடர்புடைய விவரக்குறிப்புகள் அல்லது தரநிலைகள் நேர்மறை அழுத்தத்தின் மேல் வரம்பைக் குறிப்பிடவில்லை. இதன் விளைவாக, பல அலகுகள் மேல் வரம்பு எவ்வளவு இருந்தாலும், குறைந்த வரம்பின் தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்ய மட்டுமே முயல்கின்றன. ஆசிரியர் எதிர்கொள்ளும் உண்மையான சுத்தமான அறையில், நேர்மறை அழுத்த மதிப்பு 100Pa அல்லது அதற்கு மேற்பட்டதாக இருக்கும், இதன் விளைவாக மிகவும் மோசமான விளைவுகள் ஏற்படும். உண்மையில், நேர்மறை அழுத்தத்தை சரிசெய்வது கடினமான விஷயம் அல்ல. ஒரு குறிப்பிட்ட வரம்பிற்குள் அதைக் கட்டுப்படுத்துவது முற்றிலும் சாத்தியமாகும். கிழக்கு ஐரோப்பாவில் ஒரு குறிப்பிட்ட நாடு நேர்மறை அழுத்த மதிப்பை 1-3mm H20 (சுமார் 10~30Pa) என நிர்ணயிக்கிறது என்று அறிமுகப்படுத்தும் ஒரு ஆவணம் இருந்தது. இந்த வரம்பு மிகவும் பொருத்தமானது என்று ஆசிரியர் நம்புகிறார்.