தூய்மை அறையின் மையப் பகுப்பாய்வு

அறிமுகம்

மாசுக் கட்டுப்பாட்டிற்குத் தூய்மை அறையே அடிப்படையாகும். தூய்மை அறை இல்லாமல், மாசுபடுதலுக்கு எளிதில் உள்ளாகும் பாகங்களைப் பெருமளவில் உற்பத்தி செய்ய முடியாது. FED-STD-2-இல், தூய்மை அறை என்பது, காற்றில் பரவும் துகள்களின் செறிவைக் கட்டுப்படுத்தி, பொருத்தமான துகள் தூய்மை நிலையை அடைவதற்காக, குறிப்பிட்ட வழக்கமான இயக்க நடைமுறைகளைப் பயன்படுத்தும், காற்று வடிகட்டுதல், விநியோகம், உகப்பாக்கம், கட்டுமானப் பொருட்கள் மற்றும் உபகரணங்களைக் கொண்ட ஒரு அறையாக வரையறுக்கப்படுகிறது.

தூய்மை அறையில் நல்ல தூய்மை விளைவை அடைவதற்கு, நியாயமான குளிரூட்டல் சுத்திகரிப்பு நடவடிக்கைகளை மேற்கொள்வதில் மட்டும் கவனம் செலுத்தாமல், செயல்முறை, கட்டுமானம் மற்றும் பிற சிறப்புத் துறைகளும் அதற்கேற்ற நடவடிக்கைகளை எடுக்க வேண்டும்: நியாயமான வடிவமைப்பு மட்டுமல்லாமல், விவரக்குறிப்புகளுக்கு ஏற்ப கவனமான கட்டுமானம் மற்றும் நிறுவுதல், அத்துடன் தூய்மை அறையின் சரியான பயன்பாடு மற்றும் அறிவியல் பூர்வமான பராமரிப்பு மற்றும் மேலாண்மை ஆகியவையும் அவசியமாகும். தூய்மை அறையில் நல்ல விளைவை அடைவதற்காக, பல உள்நாட்டு மற்றும் வெளிநாட்டு இலக்கியங்கள் வெவ்வேறு கண்ணோட்டங்களில் விளக்கப்பட்டுள்ளன. உண்மையில், வெவ்வேறு சிறப்புத் துறைகளுக்கு இடையே சிறந்த ஒருங்கிணைப்பை அடைவது கடினம், மேலும் வடிவமைப்பாளர்களுக்கு கட்டுமானம் மற்றும் நிறுவலின் தரம், அத்துடன் பயன்பாடு மற்றும் மேலாண்மை, குறிப்பாகப் பிந்தையவற்றைப் புரிந்துகொள்வதும் கடினம். தூய்மை அறை சுத்திகரிப்பு நடவடிக்கைகளைப் பொறுத்தவரை, பல வடிவமைப்பாளர்கள், அல்லது கட்டுமானத் தரப்பினர் கூட, அவற்றின் அவசியமான நிபந்தனைகளுக்குப் போதுமான கவனம் செலுத்துவதில்லை, இதன் விளைவாக திருப்தியற்ற தூய்மை விளைவு ஏற்படுகிறது. இந்தக் கட்டுரை, தூய்மை அறை சுத்திகரிப்பு நடவடிக்கைகளில் தூய்மைத் தேவைகளை அடைவதற்கான நான்கு அவசியமான நிபந்தனைகளைச் சுருக்கமாக மட்டுமே விவாதிக்கிறது.

1. காற்று விநியோகத்தின் தூய்மை

காற்று விநியோகத்தின் தூய்மை தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்வதை உறுதிசெய்ய, சுத்திகரிப்பு அமைப்பின் இறுதி வடிகட்டியின் செயல்திறனும் நிறுவலுமே முக்கியமாகும்.

வடிகட்டி தேர்வு

சுத்திகரிப்பு அமைப்பின் இறுதி வடிகட்டியானது பொதுவாக ஹெப்பா வடிகட்டி அல்லது சப்-ஹெப்பா வடிகட்டியைப் பயன்படுத்துகிறது. என் நாட்டின் தரநிலைகளின்படி, ஹெப்பா வடிகட்டிகளின் செயல்திறன் நான்கு தரங்களாகப் பிரிக்கப்பட்டுள்ளது: தரம் A என்பது ≥99.9%, தரம் B என்பது ≥99.9%, தரம் C என்பது ≥99.999%, தரம் D என்பது (≥0.1μm துகள்களுக்கு) ≥99.999% (அல்ட்ரா-ஹெப்பா வடிகட்டிகள் என்றும் அழைக்கப்படுகிறது); சப்-ஹெப்பா வடிகட்டிகள் (≥0.5μm துகள்களுக்கு) 95~99.9% ஆகும். செயல்திறன் அதிகமாக இருந்தால், வடிகட்டியின் விலையும் அதிகமாக இருக்கும். எனவே, ஒரு வடிகட்டியைத் தேர்ந்தெடுக்கும்போது, ​​நாம் காற்று விநியோகத்தின் தூய்மைத் தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்வது மட்டுமல்லாமல், பொருளாதாரப் பகுத்தறிவையும் கருத்தில் கொள்ள வேண்டும்.

தூய்மைத் தேவைகளின் கண்ணோட்டத்தில், குறைந்த-நிலை சுத்தமான அறைகளுக்குக் குறைந்த செயல்திறன் கொண்ட வடிகட்டிகளையும், உயர்-நிலை சுத்தமான அறைகளுக்கு உயர் செயல்திறன் கொண்ட வடிகட்டிகளையும் பயன்படுத்துவதே கொள்கையாகும். பொதுவாகச் சொல்வதானால்: 1 மில்லியன் நிலைக்கு உயர் மற்றும் நடுத்தர செயல்திறன் கொண்ட வடிகட்டிகளைப் பயன்படுத்தலாம்; வகுப்பு 10,000-க்குக் குறைவான நிலைகளுக்கு சப்-ஹெப்பா அல்லது வகுப்பு A ஹெப்பா வடிகட்டிகளைப் பயன்படுத்தலாம்; வகுப்பு 10,000 முதல் 100 வரையிலான நிலைகளுக்கு வகுப்பு B வடிகட்டிகளைப் பயன்படுத்தலாம்; மற்றும் வகுப்பு 100 முதல் 1 வரையிலான நிலைகளுக்கு வகுப்பு C வடிகட்டிகளைப் பயன்படுத்தலாம். ஒவ்வொரு தூய்மை நிலைக்கும் தேர்ந்தெடுப்பதற்கு இரண்டு வகையான வடிகட்டிகள் இருப்பதாகத் தெரிகிறது. உயர் செயல்திறன் அல்லது குறைந்த செயல்திறன் கொண்ட வடிகட்டிகளைத் தேர்ந்தெடுப்பது குறிப்பிட்ட சூழ்நிலையைப் பொறுத்தது: சுற்றுச்சூழல் மாசுபாடு தீவிரமாக இருக்கும்போது, ​​அல்லது உள்ளக வெளியேற்ற விகிதம் அதிகமாக இருக்கும்போது, ​​அல்லது சுத்தமான அறை மிகவும் முக்கியமானதாக இருந்து, அதற்கு அதிக பாதுகாப்பு காரணி தேவைப்படும்போது, ​​இந்த அல்லது இவற்றில் ஏதேனும் ஒரு சூழ்நிலையில், உயர்-வகுப்பு வடிகட்டியைத் தேர்ந்தெடுக்க வேண்டும்; இல்லையெனில், குறைந்த செயல்திறன் கொண்ட வடிகட்டியைத் தேர்ந்தெடுக்கலாம். 0.1μm துகள்களைக் கட்டுப்படுத்த வேண்டிய தூய்மை அறைகளுக்கு, கட்டுப்படுத்தப்படும் துகள்களின் செறிவைப் பொருட்படுத்தாமல், வகுப்பு D வடிகட்டிகளே தேர்ந்தெடுக்கப்பட வேண்டும். மேலே கூறப்பட்டவை வடிகட்டியின் கண்ணோட்டத்தில் மட்டுமேயானவை. உண்மையில், ஒரு நல்ல வடிகட்டியைத் தேர்ந்தெடுக்க, தூய்மை அறை, வடிகட்டி மற்றும் சுத்திகரிப்பு அமைப்பு ஆகியவற்றின் பண்புகளையும் நீங்கள் முழுமையாகக் கருத்தில் கொள்ள வேண்டும்.

வடிகட்டி நிறுவல்

காற்று விநியோகத்தின் தூய்மையை உறுதி செய்ய, தகுதிவாய்ந்த வடிகட்டிகள் மட்டும் இருப்பது போதாது, பின்வருவனவற்றையும் உறுதி செய்ய வேண்டும்: அ. போக்குவரத்து மற்றும் நிறுவலின் போது வடிகட்டி சேதமடையாமல் இருப்பது; ஆ. நிறுவல் இறுக்கமாக இருப்பது. முதல் அம்சத்தை அடைய, கட்டுமானம் மற்றும் நிறுவல் பணியாளர்கள், சுத்திகரிப்பு அமைப்புகளை நிறுவுவதற்கான அறிவு மற்றும் திறமையான நிறுவல் திறன்கள் ஆகிய இரண்டையும் கொண்டு நன்கு பயிற்சி பெற்றிருக்க வேண்டும். இல்லையெனில், வடிகட்டி சேதமடையாமல் இருப்பதை உறுதி செய்வது கடினமாக இருக்கும். இது தொடர்பாக ஆழமான பாடங்கள் உள்ளன. இரண்டாவதாக, நிறுவல் இறுக்கம் தொடர்பான சிக்கல் முக்கியமாக நிறுவல் கட்டமைப்பின் தரத்தைப் பொறுத்தது. வடிவமைப்பு கையேடு பொதுவாகப் பரிந்துரைப்பது: ஒற்றை வடிகட்டிக்கு, திறந்த வகை நிறுவல் பயன்படுத்தப்படுகிறது, அதனால் கசிவு ஏற்பட்டாலும், அது அறைக்குள் கசியாது; முடிக்கப்பட்ட ஹெப்பா காற்று வெளியேற்றத்தைப் பயன்படுத்துவதன் மூலம், இறுக்கத்தை உறுதி செய்வதும் எளிதாகிறது. பல வடிகட்டிகள் கொண்ட காற்றுக்கு, சமீபத்திய ஆண்டுகளில் ஜெல் சீல் மற்றும் எதிர்மறை அழுத்த சீலிங் ஆகியவை அடிக்கடி பயன்படுத்தப்படுகின்றன.

ஜெல் சீல், திரவத் தொட்டியின் இணைப்பு இறுக்கமாக இருப்பதையும், ஒட்டுமொத்த சட்டகமும் ஒரே கிடைமட்டத் தளத்தில் இருப்பதையும் உறுதி செய்ய வேண்டும். எதிர்மறை அழுத்த சீலிங் என்பது, வடிகட்டிக்கும் நிலையான அழுத்தப் பெட்டிக்கும் சட்டகத்திற்கும் இடையிலான இணைப்பின் வெளிப்புறச் சுற்றளவை ஒரு எதிர்மறை அழுத்த நிலையில் வைப்பதாகும். திறந்த வகை நிறுவலைப் போலவே, கசிவு ஏற்பட்டாலும், அது அறைக்குள் கசியாது. உண்மையில், நிறுவல் சட்டகம் தட்டையாகவும், வடிகட்டியின் முனைப் பகுதி நிறுவல் சட்டகத்துடன் சீரான தொடர்பில் இருக்கும் வரையிலும், எந்தவொரு நிறுவல் வகையிலும் வடிகட்டியை நிறுவல் இறுக்கத் தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்ய வைப்பது எளிதாக இருக்கும்.

2. காற்றோட்ட அமைப்பு

ஒரு சுத்தமான அறையின் காற்றோட்ட அமைப்பு, ஒரு பொதுவான குளிரூட்டப்பட்ட அறையின் அமைப்பிலிருந்து வேறுபட்டது. மிகவும் சுத்தமான காற்று முதலில் செயல்படும் பகுதிக்கு வழங்கப்பட வேண்டும். பதப்படுத்தப்படும் பொருட்களுக்கு ஏற்படும் மாசுபாட்டைக் கட்டுப்படுத்துவதும் குறைப்பதும் இதன் பணியாகும். இந்த நோக்கத்திற்காக, காற்றோட்ட அமைப்பை வடிவமைக்கும்போது பின்வரும் கொள்கைகளைக் கருத்தில் கொள்ள வேண்டும்: வேலை செய்யும் பகுதிக்கு வெளியே இருந்து மாசுபாடு உள்ளே வருவதைத் தவிர்க்க, சுழல் நீரோட்டங்களைக் குறைத்தல்; தூசியானது வேலைப் பொருளை அசுத்தப்படுத்தும் வாய்ப்பைக் குறைக்க, இரண்டாம் நிலை தூசி பறப்பதைத் தடுக்க முயற்சித்தல்; வேலை செய்யும் பகுதியில் காற்றோட்டம் முடிந்தவரை சீராக இருக்க வேண்டும், மேலும் அதன் காற்றின் வேகம் செயல்முறை மற்றும் சுகாதாரத் தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்ய வேண்டும். காற்றோட்டம் திரும்பும் காற்று வெளியேறும் பகுதிக்குச் செல்லும்போது, ​​காற்றில் உள்ள தூசி திறம்பட அகற்றப்பட வேண்டும். வெவ்வேறு தூய்மைத் தேவைகளுக்கு ஏற்ப, வெவ்வேறு காற்று வழங்கும் மற்றும் திரும்பப் பெறும் முறைகளைத் தேர்ந்தெடுக்க வேண்டும்.

வெவ்வேறு காற்றோட்ட அமைப்புகள் தமக்கெனத் தனித்துவமான பண்புகளையும் செயல்பாட்டு வரம்புகளையும் கொண்டுள்ளன:

(1). செங்குத்து ஒரு திசை ஓட்டம்

சீரான கீழ்நோக்கிய காற்றோட்டத்தைப் பெறுதல், செயல்முறை உபகரணங்களை அமைப்பதை எளிதாக்குதல், வலுவான சுய-சுத்திகரிப்புத் திறன், மற்றும் தனிப்பட்ட சுத்திகரிப்பு வசதிகள் போன்ற பொதுவான வசதிகளை எளிதாக்குதல் போன்ற பொதுவான நன்மைகளுக்கு மேலதிகமாக, நான்கு காற்று விநியோக முறைகளுக்கும் அவற்றின் சொந்த நன்மைகள் மற்றும் தீமைகள் உள்ளன: முழுமையாக மூடப்பட்ட ஹெப்பா வடிகட்டிகள் குறைந்த எதிர்ப்பு மற்றும் நீண்ட வடிகட்டி மாற்று சுழற்சி போன்ற நன்மைகளைக் கொண்டுள்ளன, ஆனால் கூரை அமைப்பு சிக்கலானது மற்றும் செலவு அதிகம்; பக்கவாட்டில் மூடப்பட்ட ஹெப்பா வடிகட்டி மேல் விநியோகம் மற்றும் முழு-துளைத் தட்டு மேல் விநியோகம் ஆகியவற்றின் நன்மைகள் மற்றும் தீமைகள், முழுமையாக மூடப்பட்ட ஹெப்பா வடிகட்டி மேல் விநியோகத்தின் நன்மைகள் மற்றும் தீமைகளுக்கு நேர்மாறானவை. அவற்றுள், முழு-துளைத் தட்டு மேல் விநியோகத்தில், அமைப்பு தொடர்ச்சியாக இயங்காதபோது துளைத் தட்டின் உள் மேற்பரப்பில் தூசி எளிதில் குவியும், மேலும் முறையற்ற பராமரிப்பு தூய்மையில் சில பாதிப்புகளை ஏற்படுத்துகிறது; அடர்த்தியான டிஃப்யூசர் மேல் விநியோகத்திற்கு ஒரு கலவை அடுக்கு தேவைப்படுகிறது, எனவே இது 4 மீட்டருக்கு மேல் உள்ள உயரமான சுத்தமான அறைகளுக்கு மட்டுமே பொருத்தமானது, மேலும் அதன் பண்புகள் முழு-துளைத் தட்டு மேல் விநியோகத்தைப் போலவே உள்ளன; இருபுறமும் கிரில்கள் கொண்ட தகடு மற்றும் எதிர் சுவர்களின் அடிப்பகுதியில் சமமாக அமைக்கப்பட்ட ரிட்டர்ன் ஏர் அவுட்லெட்களைக் கொண்ட ரிட்டர்ன் ஏர் முறையானது, இருபுறமும் 6 மீட்டருக்கும் குறைவான நிகர இடைவெளியைக் கொண்ட சுத்தமான அறைகளுக்கு மட்டுமே பொருத்தமானது; ஒரு பக்கச் சுவரின் அடிப்பகுதியில் அமைக்கப்பட்ட ரிட்டர்ன் ஏர் அவுட்லெட்கள், சுவர்களுக்கு இடையே குறைந்த தூரம் (≤<2~3 மீ போன்றவை) உள்ள சுத்தமான அறைகளுக்கு மட்டுமே பொருத்தமானவை.

(2). கிடைமட்ட ஒரு திசை ஓட்டம்

முதல் வேலை செய்யும் பகுதி மட்டுமே 100 என்ற தூய்மை அளவை அடைய முடியும். காற்று மறுபுறம் பாயும்போது, ​​தூசியின் செறிவு படிப்படியாக அதிகரிக்கிறது. எனவே, ஒரே அறையில் ஒரே செயல்முறைக்கு வெவ்வேறு தூய்மைத் தேவைகளைக் கொண்ட சுத்தமான அறைகளுக்கு மட்டுமே இது பொருத்தமானது. காற்று விநியோக சுவரில் ஹெப்பா வடிகட்டிகளை உள்ளூரில் விநியோகிப்பது, ஹெப்பா வடிகட்டிகளின் பயன்பாட்டைக் குறைத்து ஆரம்ப முதலீட்டைச் சேமிக்க உதவும், ஆனால் உள்ளூர் பகுதிகளில் சுழல்கள் ஏற்படுகின்றன.

(3). கொந்தளிப்பான காற்று ஓட்டம்

துளைத் தகடுகளின் மேல்புற விநியோகம் மற்றும் அடர்த்தியான பரப்பிகளின் மேல்புற விநியோகம் ஆகியவற்றின் பண்புகள் மேலே குறிப்பிடப்பட்டவை போலவே உள்ளன: பக்கவாட்டு விநியோகத்தின் நன்மைகள் குழாய்களை அமைப்பது எளிது, தொழில்நுட்ப இடைப்படலம் தேவையில்லை, குறைந்த செலவு, மற்றும் பழைய தொழிற்சாலைகளைப் புதுப்பிப்பதற்கு உகந்தது என்பனவாகும். இதன் தீமைகள் என்னவென்றால், பணிபுரியும் பகுதியில் காற்றின் வேகம் அதிகமாக இருக்கும், மேலும் காற்று வீசும் திசைக்கு எதிர் திசையில் தூசியின் செறிவு, காற்று வீசும் திசையை விட அதிகமாக இருக்கும்; ஹெப்பா வடிகட்டி வெளியேற்றிகளின் மேல்புற விநியோகமானது எளிய அமைப்பு, ஹெப்பா வடிகட்டிக்குப் பின்னால் குழாய்கள் இல்லை, மற்றும் சுத்தமான காற்றோட்டம் நேரடியாகப் பணிபுரியும் பகுதிக்கு வழங்கப்படுகிறது போன்ற நன்மைகளைக் கொண்டுள்ளது, ஆனால் சுத்தமான காற்றோட்டம் மெதுவாகப் பரவுகிறது மற்றும் பணிபுரியும் பகுதியில் காற்றோட்டம் மிகவும் சீராக இருக்கும்; இருப்பினும், பல காற்று வெளியேற்றிகள் சமமாக அமைக்கப்பட்டாலோ அல்லது பரப்பிகளுடன் கூடிய ஹெப்பா வடிகட்டி காற்று வெளியேற்றிகள் பயன்படுத்தப்பட்டாலோ, பணிபுரியும் பகுதியில் காற்றோட்டத்தை மேலும் சீராக்க முடியும்; ஆனால் அமைப்பு தொடர்ச்சியாக இயங்காதபோது, ​​பரப்பியில் தூசி படிவதற்கு வாய்ப்புள்ளது.

மேற்கண்ட விவாதம் அனைத்தும் ஒரு இலட்சிய நிலையில் உள்ளது மற்றும் தொடர்புடைய தேசிய விவரக்குறிப்புகள், தரநிலைகள் அல்லது வடிவமைப்பு கையேடுகளால் பரிந்துரைக்கப்படுகிறது. உண்மையான திட்டங்களில், புறநிலை நிலைமைகள் அல்லது வடிவமைப்பாளரின் அகநிலைக் காரணங்களால் காற்றோட்ட அமைப்பு சரியாக வடிவமைக்கப்படவில்லை. பொதுவானவை பின்வருமாறு: செங்குத்து ஒருவழிப் பாய்வு, அருகிலுள்ள இரண்டு சுவர்களின் கீழ்ப்பகுதியிலிருந்து திரும்பும் காற்றைப் பயன்படுத்துகிறது; உள்ளூர் வகுப்பு 100, மேல்நோக்கி விநியோகம் மற்றும் மேல்நோக்கித் திரும்பப் பெறுதலைப் பயன்படுத்துகிறது (அதாவது, உள்ளூர் காற்று வெளியேறும் இடத்தின் கீழ் தொங்கும் திரை எதுவும் சேர்க்கப்படவில்லை); மற்றும் கொந்தளிப்பான தூய்மை அறைகள், ஹெப்பா வடிகட்டி காற்று வெளியேறும் இடத்தின் மேல்நோக்கி விநியோகம் மற்றும் மேல்நோக்கித் திரும்பப் பெறுதல் அல்லது ஒருபக்கக் கீழ்வழித் திரும்பப் பெறுதலைப் (சுவர்களுக்கு இடையே அதிக இடைவெளி) பயன்படுத்துகின்றன. இந்த காற்றோட்ட அமைப்பு முறைகள் அளவிடப்பட்டுள்ளன, மேலும் அவற்றில் பெரும்பாலானவற்றின் தூய்மை வடிவமைப்புத் தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்வதில்லை. காலியாக அல்லது நிலையான நிலையில் ஏற்றுக்கொள்ளுவதற்கான தற்போதைய விவரக்குறிப்புகள் காரணமாக, இந்தத் தூய்மை அறைகளில் சில, காலியாக அல்லது நிலையான நிலையில் வடிவமைக்கப்பட்ட தூய்மை அளவை அரிதாகவே அடைகின்றன, ஆனால் மாசுபடுத்தல் குறுக்கீட்டைத் தடுக்கும் திறன் மிகவும் குறைவாக உள்ளது, மேலும் தூய்மை அறை செயல்படும் நிலைக்குள் நுழைந்தவுடன், அது தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்வதில்லை.

உள்ளூர் பகுதியில், பணிபுரியும் இடத்தின் உயரத்திற்கு ஏற்ப திரைச்சீலைகள் தொங்கும் வகையில் சரியான காற்றோட்ட அமைப்பு அமைக்கப்பட வேண்டும். மேலும், கிளாஸ் 100,000 அமைப்பில் மேல்நோக்கிய காற்றோட்டமும் மேல்நோக்கிய காற்றோட்டமும் பயன்படுத்தப்படக்கூடாது. கூடுதலாக, தற்போது பெரும்பாலான தொழிற்சாலைகள் டிஃப்யூசர்களுடன் கூடிய உயர்-செயல்திறன் கொண்ட காற்று வெளியேற்றிகளை உற்பத்தி செய்கின்றன. ஆனால், அவற்றின் டிஃப்யூசர்கள் வெறும் அலங்காரத் துளைத் தகடுகளாக மட்டுமே உள்ளனவே தவிர, காற்றோட்டத்தைப் பரப்பும் பணியைச் செய்வதில்லை. வடிவமைப்பாளர்களும் பயனர்களும் இதில் சிறப்பு கவனம் செலுத்த வேண்டும்.

3. காற்று வழங்கல் அளவு அல்லது காற்றின் வேகம்

போதுமான காற்றோட்ட அளவு என்பது உட்புற மாசடைந்த காற்றை நீர்த்துப்போகச் செய்து அகற்றுவதாகும். வெவ்வேறு தூய்மைத் தேவைகளுக்கு ஏற்ப, தூய்மை அறையின் நிகர உயரம் அதிகமாக இருக்கும்போது, ​​காற்றோட்டத்தின் அதிர்வெண் பொருத்தமான முறையில் அதிகரிக்கப்பட வேண்டும். அவற்றுள், 1 மில்லியன்-நிலை தூய்மை அறையின் காற்றோட்ட அளவு உயர்-செயல்திறன் சுத்திகரிப்பு அமைப்பின்படி கருதப்படுகிறது, மற்றவை உயர்-செயல்திறன் சுத்திகரிப்பு அமைப்பின்படி கருதப்படுகின்றன; 100,000 வகுப்பு தூய்மை அறையின் ஹெப்பா வடிகட்டிகள் இயந்திர அறையில் குவிக்கப்படும்போது அல்லது அமைப்பின் இறுதியில் துணை-ஹெப்பா வடிகட்டிகள் பயன்படுத்தப்படும்போது, ​​காற்றோட்டத்தின் அதிர்வெண்ணை 10-20% வரை பொருத்தமான முறையில் அதிகரிக்கலாம்.

மேலே பரிந்துரைக்கப்பட்ட காற்றோட்ட அளவு மதிப்புகளுக்கு, ஆசிரியர் பின்வருமாறு நம்புகிறார்: ஒருவழிப் பாய்வு கொண்ட சுத்தமான அறையின் அறைப் பகுதி வழியாகச் செல்லும் காற்றின் வேகம் குறைவாக உள்ளது, மற்றும் கொந்தளிப்பான சுத்தமான அறையானது போதுமான பாதுகாப்புக் காரணியுடன் கூடிய பரிந்துரைக்கப்பட்ட மதிப்பைக் கொண்டுள்ளது. செங்குத்து ஒருவழிப் பாய்வு ≥ 0.25 மீ/வி, கிடைமட்ட ஒருவழிப் பாய்வு ≥ 0.35 மீ/வி. காலியான அல்லது நிலையான நிலைகளில் சோதிக்கப்படும்போது தூய்மைத் தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்ய முடிந்தாலும், மாசு எதிர்ப்புத் திறன் குறைவாக உள்ளது. அறை செயல்படும் நிலைக்குள் நுழைந்தவுடன், தூய்மைத் தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்யாமல் போகலாம். இந்த வகையான உதாரணம் ஒரு தனிப்பட்ட நிகழ்வு அல்ல. அதே நேரத்தில், நமது நாட்டின் காற்றோட்டத் தொடர்களில் சுத்திகரிப்பு அமைப்புகளுக்குப் பொருத்தமான விசிறிகள் இல்லை. பொதுவாக, வடிவமைப்பாளர்கள் அமைப்பின் காற்றுத் தடையை துல்லியமாகக் கணக்கிடுவதில்லை, அல்லது தேர்ந்தெடுக்கப்பட்ட விசிறி அதன் சிறப்பியல்பு வளைவில் மிகவும் சாதகமான செயல்பாட்டுப் புள்ளியில் உள்ளதா என்பதைக் கவனிப்பதில்லை. இதன் விளைவாக, அமைப்பு செயல்பாட்டிற்கு வந்த சிறிது நேரத்திலேயே காற்றின் அளவு அல்லது காற்றின் வேகம் வடிவமைப்பு மதிப்பை அடையத் தவறுகிறது. அமெரிக்க கூட்டாட்சி தரநிலை (FS209A~B), ஒரு சுத்தமான அறையின் குறுக்குவெட்டுப் பகுதி வழியாகச் செல்லும் ஒருவழி காற்றோட்ட வேகம் பொதுவாக 90 அடி/நிமிடம் (0.45 மீ/வி) ஆகப் பராமரிக்கப்பட வேண்டும் என்றும், அறை முழுவதும் எந்தக் குறுக்கீடும் இல்லாத நிலையில், வேகத்தின் சீரற்ற தன்மை ±20% வரம்பிற்குள் இருக்க வேண்டும் என்றும் விதித்தது. காற்றோட்ட வேகத்தில் ஏற்படும் எந்தவொரு குறிப்பிடத்தக்க குறைவும், சுய-சுத்திகரிப்பு நேரம் மற்றும் பணிபுரியும் இடங்களுக்கு இடையேயான மாசுபாடு ஆகியவற்றின் சாத்தியத்தை அதிகரிக்கும் (அக்டோபர் 1987-ல் FS209C பிரகடனப்படுத்தப்பட்ட பிறகு, தூசிச் செறிவைத் தவிர மற்ற அனைத்து அளவுரு குறிகாட்டிகளுக்கும் எந்த விதிமுறைகளும் உருவாக்கப்படவில்லை).

இந்தக் காரணத்திற்காக, ஒருவழிப் பாய்வு வேகத்தின் தற்போதைய உள்நாட்டு வடிவமைப்பு மதிப்பை உரிய முறையில் அதிகரிப்பது பொருத்தமானது என்று ஆசிரியர் நம்புகிறார். எங்கள் பிரிவு இதை உண்மையான திட்டங்களில் செய்துள்ளது, அதன் விளைவும் ஒப்பீட்டளவில் நன்றாக உள்ளது. கொந்தளிப்பான தூய்மை அறைகள் ஒப்பீட்டளவில் போதுமான பாதுகாப்புக் காரணியுடன் ஒரு பரிந்துரைக்கப்பட்ட மதிப்பைக் கொண்டுள்ளன, ஆனால் பல வடிவமைப்பாளர்கள் இன்னும் உறுதியாக இல்லை. குறிப்பிட்ட வடிவமைப்புகளைச் செய்யும்போது, ​​அவர்கள் வகுப்பு 100,000 தூய்மை அறையின் காற்றோட்ட அளவை மணிக்கு 20-25 மடங்காகவும், வகுப்பு 10,000 தூய்மை அறையின் அளவை மணிக்கு 30-40 மடங்காகவும், மற்றும் வகுப்பு 1000 தூய்மை அறையின் அளவை மணிக்கு 60-70 மடங்காகவும் அதிகரிக்கிறார்கள். இது உபகரணத் திறனையும் ஆரம்ப முதலீட்டையும் அதிகரிப்பது மட்டுமல்லாமல், எதிர்காலப் பராமரிப்பு மற்றும் மேலாண்மைச் செலவுகளையும் அதிகரிக்கிறது. உண்மையில், அவ்வாறு செய்ய வேண்டிய அவசியமில்லை. என் நாட்டின் காற்று சுத்திகரிப்பு தொழில்நுட்ப நடவடிக்கைகளைத் தொகுக்கும்போது, ​​சீனாவில் உள்ள வகுப்பு 100-க்கும் மேற்பட்ட தூய்மை அறைகள் ஆய்வு செய்யப்பட்டு அளவிடப்பட்டன. பல தூய்மை அறைகள் மாறும் நிலைமைகளின் கீழ் சோதிக்கப்பட்டன. வகுப்பு 100,000 சுத்தமான அறைகளில் மணிக்கு ≥10 முறை, வகுப்பு 10,000 சுத்தமான அறைகளில் மணிக்கு ≥20 முறை, மற்றும் வகுப்பு 1000 சுத்தமான அறைகளில் மணிக்கு ≥50 முறை என்ற காற்றோட்ட அளவுகள் தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்ய முடியும் என்று முடிவுகள் காட்டின. அமெரிக்க கூட்டாட்சித் தரநிலை (FS2O9A~B) பின்வருமாறு குறிப்பிடுகிறது: ஒருவழி அல்லாத சுத்தமான அறைகள் (வகுப்பு 100,000, வகுப்பு 10,000), அறை உயரம் 8~12 அடி (2.44~3.66 மீ), பொதுவாக முழு அறையும் ஒவ்வொரு 3 நிமிடங்களுக்கும் ஒரு முறையாவது (அதாவது மணிக்கு 20 முறை) காற்றோட்டம் செய்யப்பட வேண்டும் எனக் கருதப்படுகிறது. எனவே, வடிவமைப்பு விவரக்குறிப்பு ஒரு பெரிய உபரி குணகத்தைக் கணக்கில் எடுத்துக்கொண்டுள்ளது, மேலும் வடிவமைப்பாளர் பரிந்துரைக்கப்பட்ட காற்றோட்ட அளவின் மதிப்பிற்கு ஏற்ப பாதுகாப்பாகத் தேர்வு செய்யலாம்.

4. நிலையான அழுத்த வேறுபாடு

வடிவமைக்கப்பட்ட தூய்மை அளவைப் பராமரிப்பதற்காக, தூய்மை அறை மாசுபடாமல் அல்லது குறைவாக இருப்பதை உறுதிசெய்ய, அதில் ஒரு குறிப்பிட்ட நேர்மறை அழுத்தத்தைப் பேணுவது அவசியமான நிபந்தனைகளில் ஒன்றாகும். எதிர்மறை அழுத்தத் தூய்மை அறைகளிலும்கூட, ஒரு குறிப்பிட்ட நேர்மறை அழுத்தத்தைப் பராமரிப்பதற்காக, அதன் தூய்மை அளவை விடக் குறையாத தூய்மை அளவைக் கொண்ட அருகிலுள்ள அறைகள் அல்லது தொகுப்புகள் இருக்க வேண்டும். அப்போதுதான் எதிர்மறை அழுத்தத் தூய்மை அறையின் தூய்மையைப் பராமரிக்க முடியும்.

அனைத்து கதவுகளும் ஜன்னல்களும் மூடப்பட்டிருக்கும் போது, ​​உட்புற நிலை அழுத்தம் வெளிப்புற நிலை அழுத்தத்தை விட அதிகமாக இருக்கும் மதிப்பையே தூய்மை அறையின் நேர்மறை அழுத்த மதிப்பு குறிக்கிறது. சுத்திகரிப்பு அமைப்பின் காற்று விநியோக அளவு, திரும்பும் காற்று அளவு மற்றும் வெளியேற்றும் காற்று அளவை விட அதிகமாக இருக்கும் முறையின் மூலம் இது அடையப்படுகிறது. தூய்மை அறையின் நேர்மறை அழுத்த மதிப்பை உறுதி செய்வதற்காக, விநியோகம், திரும்பும் மற்றும் வெளியேற்றும் விசிறிகள் முன்னுரிமையாக ஒன்றோடொன்று இணைக்கப்படுகின்றன. அமைப்பு இயக்கப்படும்போது, ​​முதலில் விநியோக விசிறி இயக்கப்படுகிறது, பின்னர் திரும்பும் மற்றும் வெளியேற்றும் விசிறிகள் இயக்கப்படுகின்றன; அமைப்பு அணைக்கப்படும்போது, ​​முதலில் வெளியேற்றும் விசிறி அணைக்கப்படுகிறது, பின்னர் திரும்பும் மற்றும் விநியோக விசிறிகள் அணைக்கப்படுகின்றன. இதன் மூலம், அமைப்பு இயக்கப்படும்போதும் அணைக்கப்படும்போதும் தூய்மை அறை மாசுபடுவது தடுக்கப்படுகிறது.

தூய்மை அறையின் நேர்மறை அழுத்தத்தைப் பராமரிக்கத் தேவைப்படும் காற்றின் அளவு, முக்கியமாகப் பராமரிப்புக் கட்டமைப்பின் காற்றுப்புகாத் தன்மையைப் பொறுத்தே அமைகிறது. என் நாட்டில் தூய்மை அறை கட்டுமானத்தின் ஆரம்ப நாட்களில், அடைப்புக் கட்டமைப்பின் மோசமான காற்றுப்புகாத் தன்மையால், ≥5Pa நேர்மறை அழுத்தத்தைப் பராமரிக்க ஒரு மணி நேரத்திற்கு 2 முதல் 6 முறை காற்று விநியோகம் தேவைப்பட்டது; தற்பொழுது, பராமரிப்புக் கட்டமைப்பின் காற்றுப்புகாத் தன்மை பெரிதும் மேம்படுத்தப்பட்டுள்ளது, மேலும் அதே நேர்மறை அழுத்தத்தைப் பராமரிக்க ஒரு மணி நேரத்திற்கு 1 முதல் 2 முறை காற்று விநியோகம் மட்டுமே தேவைப்படுகிறது; மற்றும் ≥10Pa அழுத்தத்தைப் பராமரிக்க ஒரு மணி நேரத்திற்கு 2 முதல் 3 முறை காற்று விநியோகம் மட்டுமே தேவைப்படுகிறது.

என் நாட்டின் வடிவமைப்பு விவரக்குறிப்புகள் [6], வெவ்வேறு தரங்களிலான சுத்தமான அறைகளுக்கும், சுத்தமான பகுதிகளுக்கும் சுத்தமற்ற பகுதிகளுக்கும் இடையேயான நிலையான அழுத்த வேறுபாடு 0.5 மிமீ H2O (~5Pa) க்குக் குறையாமல் இருக்க வேண்டும் என்றும், சுத்தமான பகுதிக்கும் வெளிப்புறத்திற்கும் இடையேயான நிலையான அழுத்த வேறுபாடு 1.0 மிமீ H2O (~10Pa) க்குக் குறையாமல் இருக்க வேண்டும் என்றும் குறிப்பிடுகின்றன. இந்த மதிப்பு மூன்று காரணங்களுக்காக மிகவும் குறைவாக இருப்பதாக ஆசிரியர் நம்புகிறார்:

(1) நேர்மறை அழுத்தம் என்பது, கதவுகள் மற்றும் ஜன்னல்களுக்கு இடையேயான இடைவெளிகள் வழியாக உட்புற காற்று மாசுபாட்டை அடக்கும் அல்லது கதவுகள் மற்றும் ஜன்னல்கள் சிறிது நேரம் திறந்திருக்கும் போது அறைக்குள் ஊடுருவும் மாசுபடுத்திகளைக் குறைக்கும் ஒரு சுத்தமான அறையின் திறனைக் குறிக்கிறது. நேர்மறை அழுத்தத்தின் அளவு, மாசுபாட்டை அடக்கும் திறனின் வலிமையைக் குறிக்கிறது. நிச்சயமாக, நேர்மறை அழுத்தம் எவ்வளவு அதிகமாக இருக்கிறதோ, அவ்வளவு நல்லது (இது பின்னர் விவாதிக்கப்படும்).

(2) நேர்மறை அழுத்தத்திற்குத் தேவையான காற்றின் அளவு வரம்புக்குட்பட்டது. 5Pa நேர்மறை அழுத்தம் மற்றும் 10Pa நேர்மறை அழுத்தத்திற்குத் தேவையான காற்றின் அளவு சுமார் 1 மடங்கு/மணி மட்டுமே வேறுபடுகிறது. ஏன் அதைச் செய்யக்கூடாது? வெளிப்படையாக, நேர்மறை அழுத்தத்தின் கீழ் எல்லையை 10Pa ஆக எடுத்துக்கொள்வது நல்லது.

(3) அமெரிக்க ஃபெடரல் தரநிலை (FS209A~B) ஆனது, அனைத்து நுழைவாயில்கள் மற்றும் வெளியேறும் வழிகள் மூடப்பட்டிருக்கும் போது, ​​சுத்தமான அறைக்கும் அருகிலுள்ள குறைந்த தூய்மைப் பகுதிக்கும் இடையிலான குறைந்தபட்ச நேர்மறை அழுத்த வேறுபாடு 0.05 அங்குல நீர் நெடுவரிசை (12.5Pa) ஆக இருக்க வேண்டும் என்று குறிப்பிடுகிறது. இந்த மதிப்பு பல நாடுகளால் ஏற்றுக்கொள்ளப்பட்டுள்ளது. ஆனால் சுத்தமான அறையின் நேர்மறை அழுத்த மதிப்பு அதிகமாக இருப்பது நல்லது என்பதல்ல. 30 ஆண்டுகளுக்கும் மேலாக எங்கள் யூனிட் செய்த உண்மையான பொறியியல் சோதனைகளின்படி, நேர்மறை அழுத்த மதிப்பு ≥ 30Pa ஆக இருக்கும்போது, ​​கதவைத் திறப்பது கடினம். நீங்கள் கவனக்குறைவாகக் கதவை மூடினால், அது 'பேங்' என்று சத்தமிடும்! அது மக்களைப் பயமுறுத்தும். நேர்மறை அழுத்த மதிப்பு ≥ 50~70Pa ஆக இருக்கும்போது, ​​கதவுகளுக்கும் ஜன்னல்களுக்கும் இடையிலான இடைவெளிகள் ஒரு விசில் சத்தத்தை உருவாக்கும், மேலும் பலவீனமானவர்கள் அல்லது சில பொருத்தமற்ற அறிகுறிகளைக் கொண்டவர்கள் அசௌகரியமாக உணருவார்கள். இருப்பினும், உள்நாட்டிலும் வெளிநாட்டிலும் உள்ள பல நாடுகளின் தொடர்புடைய விவரக்குறிப்புகள் அல்லது தரநிலைகள் நேர்மறை அழுத்தத்தின் மேல் வரம்பைக் குறிப்பிடவில்லை. இதன் விளைவாக, பல யூனிட்கள் மேல் வரம்பு எவ்வளவு என்பதைப் பொருட்படுத்தாமல், கீழ் வரம்பின் தேவைகளை மட்டும் பூர்த்தி செய்ய முயல்கின்றன. எழுத்தாளர் சந்தித்த உண்மையான தூய்மை அறையில், நேர்மறை அழுத்த மதிப்பு 100Pa அல்லது அதற்கும் அதிகமாக உள்ளது, இது மிகவும் மோசமான விளைவுகளை ஏற்படுத்துகிறது. உண்மையில், நேர்மறை அழுத்தத்தைச் சரிசெய்வது ஒரு கடினமான காரியம் அல்ல. அதை ஒரு குறிப்பிட்ட வரம்பிற்குள் கட்டுப்படுத்துவது முற்றிலும் சாத்தியமாகும். கிழக்கு ஐரோப்பாவில் உள்ள ஒரு குறிப்பிட்ட நாடு, நேர்மறை அழுத்த மதிப்பை 1-3mm H20 (சுமார் 10~30Pa) என நிர்ணயித்துள்ளது என்று ஒரு ஆவணம் அறிமுகப்படுத்தியது. இந்த வரம்பே மிகவும் பொருத்தமானது என்று எழுத்தாளர் நம்புகிறார்.