

ஹெபா வடிகட்டி மற்றும் அதன் நிறுவலில் குறைபாடுகள் இருந்தால், வடிகட்டியில் உள்ள சிறிய துளைகள் அல்லது தளர்வான நிறுவலால் ஏற்படும் சிறிய விரிசல்கள் போன்றவை இருந்தால், நோக்கம் கொண்ட சுத்திகரிப்பு விளைவு அடையப்படாது. எனவே, HEPA வடிகட்டி நிறுவப்பட்ட அல்லது மாற்றப்பட்ட பிறகு, வடிகட்டி மற்றும் நிறுவல் இணைப்பில் கசிவு சோதனை செய்ய வேண்டும்.
1. கசிவு கண்டறிதலின் நோக்கம் மற்றும் நோக்கம்:
கண்டறிதல் நோக்கம்: HEPA வடிகட்டியின் கசிவை சோதிப்பதன் மூலம், ஹெபா வடிகட்டியின் குறைபாடுகள் மற்றும் அதன் நிறுவலைக் கண்டறியவும், இதனால் தீர்வு நடவடிக்கைகளை எடுக்கவும்.
கண்டறிதல் வரம்பு: சுத்தமான பகுதி, லேமினார் ஓட்டம் பணி பெஞ்ச் மற்றும் உபகரணங்களில் ஹெபா வடிகட்டி போன்றவை.
2. கசிவு கண்டறிதல் முறை:
மிகவும் பொதுவாகப் பயன்படுத்தப்படும் முறை கசிவு கண்டறிதலுக்கான DOP முறை (அதாவது, DOP கரைப்பானை தூசி மூலமாகப் பயன்படுத்துகிறது மற்றும் கசிவைக் கண்டறிய ஏரோசல் ஃபோட்டோமீட்டருடன் பணிபுரிவது). கசிவுகளைக் கண்டறிய தூசி துகள் எதிர் ஸ்கேனிங் முறையையும் பயன்படுத்தலாம் (அதாவது, வளிமண்டல தூசியை தூசி மூலமாகப் பயன்படுத்தி, கசிவுகளைக் கண்டறிய ஒரு துகள் கவுண்டருடன் வேலை செய்கிறது. கசிவு).
இருப்பினும், துகள் எதிர் வாசிப்பு ஒரு ஒட்டுமொத்த வாசிப்பு என்பதால், அது ஸ்கேனிங்கிற்கு உகந்ததல்ல, ஆய்வு வேகம் மெதுவாக உள்ளது; கூடுதலாக, சோதனையின் கீழ் ஹெபா வடிகட்டியின் மேல்நோக்கி, வளிமண்டல தூசி செறிவு பெரும்பாலும் குறைவாக இருக்கும், மேலும் கசிவுகளை எளிதில் கண்டறிய துணை புகை தேவைப்படுகிறது. கசிவுகளைக் கண்டறிய துகள் எதிர் முறை பயன்படுத்தப்படுகிறது. DOP முறை இந்த குறைபாடுகளை ஈடுசெய்ய முடியும், எனவே இப்போது DOP முறை கசிவு கண்டறிதலுக்கு பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது.
3. DOP முறை கசிவு கண்டறிதலின் வேலை கொள்கை:
சோதனை செய்யப்படும் உயர் திறன் வடிகட்டியின் மேல்நோக்கி பக்கத்தில் டாப் ஏரோசோல் ஒரு தூசி மூலமாக வெளியேற்றப்படுகிறது (DOP என்பது டையோக்டைல் பித்தலேட், மூலக்கூறு எடை 390.57, மற்றும் துகள்கள் தெளித்த பிறகு கோளமானது).
டவுன்விண்ட் பக்கத்தில் மாதிரிக்கு ஏரோசல் ஃபோட்டோமீட்டர் பயன்படுத்தப்படுகிறது. சேகரிக்கப்பட்ட காற்று மாதிரிகள் ஃபோட்டோமீட்டரின் பரவல் அறை வழியாக செல்கின்றன. ஃபோட்டோமீட்டர் வழியாக செல்லும் தூசி கொண்ட வாயுவால் உருவாக்கப்படும் சிதறிய ஒளி ஒளிமின்னழுத்த விளைவு மற்றும் நேரியல் பெருக்கத்தால் மின்சாரமாக மாற்றப்படுகிறது, மேலும் விரைவாக ஒரு மைக்ரோஅமீட்டரால் காட்டப்படும், ஏரோசோலின் ஒப்பீட்டு செறிவு அளவிடப்படலாம். DOP சோதனை உண்மையில் என்ன அளவிடுகிறது என்பது HEPA வடிகட்டியின் ஊடுருவல் வீதமாகும்.
DOP ஜெனரேட்டர் என்பது புகையை உருவாக்கும் சாதனம். டிஓபி கரைப்பான் ஜெனரேட்டர் கொள்கலனில் ஊற்றப்பட்ட பிறகு, ஏரோசல் புகை ஒரு குறிப்பிட்ட அழுத்தம் அல்லது வெப்பமூட்டும் நிலையில் உருவாக்கப்பட்டு உயர் திறன் வடிகட்டியின் மேல்நோக்கி அனுப்பப்படுகிறது (டிஓபி திரவம் டிஓபி நீராவியை உருவாக்க சூடாகிறது, மற்றும் நீராவி ஒரு குறிப்பிட்ட மின்தேக்கியில் சில நிபந்தனைகளின் கீழ் சிறிய நீர்த்துளிகளாக சூடேற்றப்பட்டு, மிகப் பெரிய மற்றும் மிகச் சிறிய நீர்த்துளிகளை அகற்றி, சுமார் 0.3um துகள்களை மட்டுமே விட்டுவிட்டு, பனிமூடு DOP காற்றில் நுழைகிறது குழாய்);
ஏரோசல் ஃபோட்டோமீட்டர்கள் (ஏரோசல் செறிவுகளை அளவிடுவதற்கும் காண்பிப்பதற்கும் கருவிகள் அளவுத்திருத்தத்தின் செல்லுபடியாகும் காலத்தைக் குறிக்க வேண்டும், மேலும் அவை அளவுத்திருத்தத்தை கடந்து செல்லக்கூடிய காலத்திற்குள் இருந்தால் மட்டுமே பயன்படுத்த முடியும்);
4. கசிவு கண்டறிதல் சோதனையின் வேலை நடைமுறை:
(1). கசிவு கண்டறிதல் தயாரிப்பு
கசிவு கண்டறிதலுக்குத் தேவையான உபகரணங்கள் மற்றும் ஆய்வு செய்யப்பட வேண்டிய பகுதியில் உள்ள சுத்திகரிப்பு மற்றும் ஏர் கண்டிஷனிங் அமைப்பின் காற்று விநியோக குழாயின் மாடித் திட்டத்தைத் தயாரிக்கவும், கசிவு நாளில் தளத்தில் இருக்க சுத்திகரிப்பு மற்றும் ஏர் கண்டிஷனிங் கருவி நிறுவனத்திற்கு அறிவிக்கவும் பசை பயன்படுத்துதல் மற்றும் ஹெபா வடிப்பான்களை மாற்றுவது போன்ற செயல்பாடுகளைச் செய்வதற்கான கண்டறிதல்.
(2). கசிவு கண்டறிதல் செயல்பாடு
A ஏரோசல் ஜெனரேட்டரில் டிஓபி கரைப்பானின் திரவ நிலை குறைந்த அளவை விட அதிகமாக இருக்கிறதா என்று சரிபார்க்கவும், அது போதுமானதாக இல்லாவிட்டால், அதைச் சேர்க்க வேண்டும்.
Ar நைட்ரஜன் பாட்டிலை ஏரோசல் ஜெனரேட்டருடன் இணைக்கவும், ஏரோசல் ஜெனரேட்டரின் வெப்பநிலை சுவிட்சை இயக்கவும், சிவப்பு விளக்கு பச்சை நிறமாக மாறும் வரை காத்திருங்கள், அதாவது வெப்பநிலை அடையும் (சுமார் 390 ~ 420 ℃).
Test சோதனை குழாய் ஒரு முனையை ஏரோசல் ஃபோட்டோமீட்டரின் அப்ஸ்ட்ரீம் செறிவு சோதனை துறைமுகத்துடன் இணைக்கவும், மறு முனையை சோதனை செய்யப்படும் ஹெபா வடிப்பானின் காற்று நுழைவு பக்கத்தில் (அப்ஸ்ட்ரீம் பக்கமாக) வைக்கவும். ஃபோட்டோமீட்டர் சுவிட்சை இயக்கி, சோதனை மதிப்பை "100" ஆக சரிசெய்யவும்.
நைட்ரஜன் சுவிட்சில் திரும்பி, 0.05 ~ 0.15mpa இல் அழுத்தத்தைக் கட்டுப்படுத்தவும், ஏரோசல் ஜெனரேட்டரின் எண்ணெய் வால்வை மெதுவாகத் திறந்து, ஃபோட்டோமீட்டரின் சோதனை மதிப்பை 10 ~ 20 இல் கட்டுப்படுத்தவும், சோதனை மதிப்பு உறுதிப்படுத்தப்பட்ட பிறகு அப்ஸ்ட்ரீம் அளவிடப்பட்ட செறிவை உள்ளிடவும். அடுத்தடுத்த ஸ்கேனிங் மற்றும் ஆய்வு நடவடிக்கைகளை மேற்கொள்ளுங்கள்.
Test சோதனை குழாய் ஏரோசல் ஃபோட்டோமீட்டரின் கீழ்நிலை செறிவு சோதனை துறைமுகத்திற்கு ஒரு முனையை இணைக்கவும், மறுமுனையின் ஏர் கடையின் பக்கத்தையும் அடைப்புக்குறியையும் ஸ்கேன் செய்ய, மறுமுனையில், மாதிரி தலை பயன்படுத்தவும். மாதிரி தலைக்கும் வடிகட்டிக்கும் இடையிலான தூரம் சுமார் 3 முதல் 5 செ.மீ வரை உள்ளது, வடிகட்டியின் உள் சட்டத்துடன் முன்னும் பின்னுமாக ஸ்கேன் செய்யப்படுகிறது, மேலும் ஆய்வு வேகம் 5cm/s க்குக் கீழே உள்ளது.
சோதனையின் நோக்கம் வடிகட்டி பொருள், வடிகட்டி பொருள் மற்றும் அதன் சட்டகம் ஆகியவற்றுக்கு இடையேயான இணைப்பு, வடிகட்டி சட்டத்தின் கேஸ்கெட்டுக்கும் வடிகட்டி குழுவின் ஆதரவு சட்டத்திற்கும் இடையிலான இணைப்பு, ஆதரவு சட்டகம் மற்றும் சுவர் அல்லது உச்சவரம்பு ஆகியவற்றுக்கு இடையேயான இணைப்பு ஆகியவை அடங்கும் வடிகட்டி, பிரேம் முத்திரைகள், கேஸ்கட் முத்திரைகள் மற்றும் வடிகட்டி சட்டத்தில் கசிவுகளில் உள்ள வடிகட்டி நடுத்தர சிறிய பின்ஹோல்கள் மற்றும் பிற சேதங்கள்.
10000 ஆம் வகுப்பிற்கு மேலே உள்ள சுத்தமான பகுதிகளில் ஹெபா வடிப்பான்களை வழக்கமான கசிவு கண்டறிதல் பொதுவாக ஆண்டுக்கு ஒரு முறை (மலட்டு பகுதிகளில் அரை ஆண்டு); தூய்மையான பகுதிகளை தினசரி கண்காணிப்பதில் தூசி துகள்கள், வண்டல் பாக்டீரியா மற்றும் காற்றின் வேகம் ஆகியவற்றில் குறிப்பிடத்தக்க அசாதாரணங்கள் இருக்கும்போது, கசிவு கண்டறிதலும் செய்யப்பட வேண்டும்.
இடுகை நேரம்: செப்டம்பர் -07-2023