

ஹெப்பா வடிகட்டியிலும் அதன் நிறுவலிலும் குறைபாடுகள் இருந்தால், வடிகட்டியிலேயே சிறிய துளைகள் அல்லது தளர்வான நிறுவலால் ஏற்படும் சிறிய விரிசல்கள் போன்றவை இருந்தால், நோக்கம் கொண்ட சுத்திகரிப்பு விளைவை அடைய முடியாது. எனவே, ஹெப்பா வடிகட்டி நிறுவப்பட்ட பிறகு அல்லது மாற்றப்பட்ட பிறகு, வடிகட்டி மற்றும் நிறுவல் இணைப்பில் கசிவு சோதனை செய்ய வேண்டும்.
1. கசிவு கண்டறிதலின் நோக்கம் மற்றும் நோக்கம்:
கண்டறிதல் நோக்கம்: ஹெப்பா வடிகட்டியின் கசிவைச் சோதிப்பதன் மூலம், ஹெப்பா வடிகட்டியின் குறைபாடுகளையும் அதன் நிறுவலையும் கண்டறிந்து, அதற்கான தீர்வு நடவடிக்கைகளை எடுக்கவும்.
கண்டறிதல் வரம்பு: சுத்தமான பகுதி, லேமினார் ஓட்ட வேலை பெஞ்ச் மற்றும் உபகரணங்களில் ஹெபா வடிகட்டி போன்றவை.
2. கசிவு கண்டறிதல் முறை:
கசிவு கண்டறிதலுக்கான DOP முறையே மிகவும் பொதுவாகப் பயன்படுத்தப்படும் முறையாகும் (அதாவது, DOP கரைப்பானை தூசி மூலமாகப் பயன்படுத்துதல் மற்றும் கசிவைக் கண்டறிய ஏரோசல் ஃபோட்டோமீட்டருடன் பணிபுரிதல்). கசிவுகளைக் கண்டறிய தூசி துகள் கவுண்டர் ஸ்கேனிங் முறையையும் பயன்படுத்தலாம் (அதாவது, வளிமண்டல தூசியை தூசி மூலமாகப் பயன்படுத்துதல் மற்றும் கசிவுகளைக் கண்டறிய துகள் கவுண்டருடன் பணிபுரிதல். கசிவு).
இருப்பினும், துகள் கவுண்டர் வாசிப்பு ஒரு ஒட்டுமொத்த வாசிப்பு என்பதால், அது ஸ்கேனிங்கிற்கு உகந்ததல்ல மற்றும் ஆய்வு வேகம் மெதுவாக உள்ளது; கூடுதலாக, சோதனைக்கு உட்பட்ட ஹெபா வடிகட்டியின் மேல்நோக்கிய பக்கத்தில், வளிமண்டல தூசி செறிவு பெரும்பாலும் குறைவாக இருக்கும், மேலும் கசிவுகளை எளிதில் கண்டறிய துணை புகை தேவைப்படுகிறது. கசிவுகளைக் கண்டறிய துகள் கவுண்டர் முறை பயன்படுத்தப்படுகிறது. DOP முறை இந்த குறைபாடுகளை ஈடுசெய்ய முடியும், எனவே இப்போது DOP முறை கசிவு கண்டறிதலுக்கு பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது.
3. DOP முறை கசிவு கண்டறிதலின் செயல்பாட்டுக் கொள்கை:
சோதிக்கப்படும் உயர் திறன் வடிகட்டியின் மேல்நோக்கிய பக்கத்தில் DOP ஏரோசல் தூசி மூலமாக வெளியேற்றப்படுகிறது (DOP என்பது டையோக்டைல் பித்தலேட், மூலக்கூறு எடை 390.57, மற்றும் தெளித்த பிறகு துகள்கள் கோள வடிவமாக இருக்கும்).
காற்றின் கீழ்நோக்கிய திசையில் மாதிரி எடுக்க ஒரு ஏரோசல் ஃபோட்டோமீட்டர் பயன்படுத்தப்படுகிறது. சேகரிக்கப்பட்ட காற்று மாதிரிகள் ஃபோட்டோமீட்டரின் பரவல் அறை வழியாக செல்கின்றன. ஃபோட்டோமீட்டர் வழியாக செல்லும் தூசி கொண்ட வாயுவால் உருவாகும் சிதறிய ஒளி, ஃபோட்டோமின் விளைவு மற்றும் நேரியல் பெருக்கம் மூலம் மின்சாரமாக மாற்றப்படுகிறது, மேலும் ஒரு மைக்ரோஅமீட்டரால் விரைவாகக் காட்டப்படுகிறது, ஏரோசோலின் ஒப்பீட்டு செறிவை அளவிட முடியும். DOP சோதனை உண்மையில் அளவிடுவது ஹெபா வடிகட்டியின் ஊடுருவல் வீதமாகும்.
DOP ஜெனரேட்டர் என்பது புகையை உருவாக்கும் ஒரு சாதனம். DOP கரைப்பான் ஜெனரேட்டர் கொள்கலனில் ஊற்றப்பட்ட பிறகு, ஒரு குறிப்பிட்ட அழுத்தம் அல்லது வெப்ப நிலையில் ஏரோசல் புகை உருவாக்கப்பட்டு, உயர் திறன் வடிகட்டியின் மேல்நோக்கி அனுப்பப்படுகிறது (DOP திரவம் DOP நீராவியை உருவாக்க சூடாக்கப்படுகிறது, மேலும் நீராவி ஒரு குறிப்பிட்ட கண்டன்சேட்டில் சில நிபந்தனைகளின் கீழ் சிறிய துளிகளாக சூடாக்கப்பட்டு, மிகப் பெரிய மற்றும் மிகச் சிறிய துளிகளை அகற்றி, சுமார் 0.3um துகள்களை மட்டுமே விட்டுச்செல்கிறது, மேலும் மூடுபனி DOP காற்று குழாயில் நுழைகிறது);
ஏரோசல் ஃபோட்டோமீட்டர்கள் (ஏரோசல் செறிவுகளை அளவிடுவதற்கும் காண்பிப்பதற்கும் உள்ள கருவிகள் அளவுத்திருத்தத்தின் செல்லுபடியாகும் காலத்தைக் குறிக்க வேண்டும், மேலும் அவை அளவுத்திருத்தத்தைக் கடந்து செல்லுபடியாகும் காலத்திற்குள் இருந்தால் மட்டுமே பயன்படுத்த முடியும்);
4. கசிவு கண்டறிதல் சோதனையின் செயல்பாட்டு நடைமுறை:
(1). கசிவு கண்டறிதல் தயாரிப்பு
கசிவு கண்டறிதலுக்குத் தேவையான உபகரணங்களையும், ஆய்வு செய்யப்பட வேண்டிய பகுதியில் உள்ள சுத்திகரிப்பு மற்றும் ஏர் கண்டிஷனிங் அமைப்பின் காற்று விநியோக குழாயின் தரைத் திட்டத்தையும் தயார் செய்து, பசை தடவுதல் மற்றும் ஹெபா வடிகட்டிகளை மாற்றுதல் போன்ற செயல்பாடுகளைச் செய்ய கசிவு கண்டறிதல் நாளில் சுத்திகரிப்பு மற்றும் ஏர் கண்டிஷனிங் உபகரண நிறுவனத்தை தளத்தில் இருக்குமாறு தெரிவிக்கவும்.
(2). கசிவு கண்டறிதல் செயல்பாடு
① ஏரோசல் ஜெனரேட்டரில் உள்ள DOP கரைப்பானின் திரவ அளவு குறைந்த அளவை விட அதிகமாக உள்ளதா எனச் சரிபார்க்கவும், அது போதுமானதாக இல்லாவிட்டால், அதைச் சேர்க்க வேண்டும்.
② நைட்ரஜன் பாட்டிலை ஏரோசல் ஜெனரேட்டருடன் இணைத்து, ஏரோசல் ஜெனரேட்டரின் வெப்பநிலை சுவிட்சை இயக்கி, சிவப்பு விளக்கு பச்சை நிறமாக மாறும் வரை காத்திருக்கவும், அதாவது வெப்பநிலை (சுமார் 390~420℃) அடையும்.
③ சோதனைக் குழாயின் ஒரு முனையை ஏரோசல் ஃபோட்டோமீட்டரின் அப்ஸ்ட்ரீம் செறிவு சோதனை போர்ட்டுடன் இணைத்து, மறு முனையை சோதிக்கப்படும் ஹெபா வடிகட்டியின் காற்று நுழைவுப் பக்கத்தில் (அப்ஸ்ட்ரீம் பக்கம்) வைக்கவும். ஃபோட்டோமீட்டர் சுவிட்சை இயக்கி, சோதனை மதிப்பை "100" ஆக சரிசெய்யவும்.
④ நைட்ரஜன் சுவிட்சை இயக்கி, அழுத்தத்தை 0.05~0.15Mpa இல் கட்டுப்படுத்தவும், ஏரோசல் ஜெனரேட்டரின் எண்ணெய் வால்வை மெதுவாகத் திறக்கவும், ஃபோட்டோமீட்டரின் சோதனை மதிப்பை 10~20 இல் கட்டுப்படுத்தவும், சோதனை மதிப்பு நிலைப்படுத்தப்பட்ட பிறகு மேல்நோக்கி அளவிடப்பட்ட செறிவை உள்ளிடவும். அடுத்தடுத்த ஸ்கேனிங் மற்றும் ஆய்வு நடவடிக்கைகளை மேற்கொள்ளவும்.
⑤சோதனை குழாயின் ஒரு முனையை ஏரோசல் ஃபோட்டோமீட்டரின் கீழ்நிலை செறிவு சோதனை துறைமுகத்துடன் இணைத்து, மறுமுனையான மாதிரி தலையைப் பயன்படுத்தி வடிகட்டியின் காற்று வெளியேற்றப் பக்கத்தையும் அடைப்புக்குறியையும் ஸ்கேன் செய்யவும். மாதிரி தலைக்கும் வடிகட்டிக்கும் இடையிலான தூரம் சுமார் 3 முதல் 5 செ.மீ வரை இருக்கும், வடிகட்டியின் உள் சட்டகம் முன்னும் பின்னுமாக ஸ்கேன் செய்யப்படுகிறது, மேலும் ஆய்வு வேகம் 5 செ.மீ/விக்குக் குறைவாக இருக்கும்.
சோதனையின் நோக்கத்தில் வடிகட்டி பொருள், வடிகட்டி பொருள் மற்றும் அதன் சட்டகத்திற்கு இடையேயான இணைப்பு, வடிகட்டி சட்டத்தின் கேஸ்கெட்டுக்கும் வடிகட்டி குழுவின் ஆதரவு சட்டத்திற்கும் இடையேயான இணைப்பு, ஆதரவு சட்டத்திற்கும் சுவர் அல்லது கூரைக்கும் இடையேயான இணைப்பு ஆகியவை வடிகட்டி நடுத்தர சிறிய துளைகள் மற்றும் வடிகட்டி, சட்ட முத்திரைகள், கேஸ்கெட் முத்திரைகள் மற்றும் வடிகட்டி சட்டத்தில் கசிவுகள் ஆகியவற்றில் உள்ள பிற சேதங்களைச் சரிபார்க்க அடங்கும்.
10000 வகுப்புக்கு மேல் உள்ள சுத்தமான பகுதிகளில் ஹெப்பா வடிகட்டிகளின் வழக்கமான கசிவு கண்டறிதல் பொதுவாக வருடத்திற்கு ஒரு முறை (மலட்டுத்தன்மை உள்ள பகுதிகளில் அரை ஆண்டு); சுத்தமான பகுதிகளின் தினசரி கண்காணிப்பில் தூசி துகள்களின் எண்ணிக்கை, படிவு பாக்டீரியா மற்றும் காற்றின் வேகத்தில் குறிப்பிடத்தக்க அசாதாரணங்கள் இருக்கும்போது, கசிவு கண்டறிதலும் செய்யப்பட வேண்டும்.
இடுகை நேரம்: செப்-07-2023