ஹெப்பா ஃபில்டரிலும் அதன் நிறுவலிலும், அதாவது ஃபில்டரிலேயே சிறிய துளைகள் இருப்பது அல்லது தளர்வான நிறுவலால் ஏற்படும் நுண்ணிய விரிசல்கள் போன்ற குறைபாடுகள் இருந்தால், எதிர்பார்க்கப்படும் சுத்திகரிப்பு விளைவு அடையப்படாது. எனவே, ஹெப்பா ஃபில்டரை நிறுவிய பிறகோ அல்லது மாற்றிய பிறகோ, ஃபில்டரிலும் அதன் நிறுவல் இணைப்பிலும் கசிவுப் பரிசோதனையை கண்டிப்பாகச் செய்ய வேண்டும்.
1. கசிவு கண்டறிதலின் நோக்கமும் வரம்பும்:
கண்டறிதலின் நோக்கம்: ஹெப்பா வடிகட்டியின் கசிவைச் சோதிப்பதன் மூலம், ஹெப்பா வடிகட்டி மற்றும் அதன் நிறுவலில் உள்ள குறைபாடுகளைக் கண்டறிந்து, சரிசெய்யும் நடவடிக்கைகளை மேற்கொள்வதாகும்.
கண்டறியும் வரம்பு: சுத்தமான பகுதி, லேமினார் ஃப்ளோ பணித்தளம் மற்றும் உபகரணங்களில் உள்ள ஹெப்பா ஃபில்டர் போன்றவை.
2. கசிவைக் கண்டறியும் முறை:
கசிவைக் கண்டறிவதற்கு மிகவும் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படும் முறை DOP முறையாகும் (அதாவது, DOP கரைப்பானை தூசி மூலமாகப் பயன்படுத்தி, ஏரோசல் ஃபோட்டோமீட்டருடன் இணைந்து கசிவைக் கண்டறிவது). தூசித் துகள் எண்ணி ஸ்கேனிங் முறையையும் கசிவுகளைக் கண்டறியப் பயன்படுத்தலாம் (அதாவது, வளிமண்டலத் தூசியை தூசி மூலமாகப் பயன்படுத்தி, ஒரு துகள் எண்ணியுடன் இணைந்து கசிவைக் கண்டறிவது).
இருப்பினும், துகள் எண்ணியின் அளவீடு ஒரு திரட்டப்பட்ட அளவீடு என்பதால், அது மேலோட்டமாகப் பார்ப்பதற்கு உகந்ததல்ல, மேலும் ஆய்வு வேகமும் மெதுவாக உள்ளது; கூடுதலாக, சோதனைக்குட்பட்ட ஹெப்பா வடிகட்டியின் காற்று வீசும் திசையில், வளிமண்டல தூசியின் செறிவு பெரும்பாலும் குறைவாக இருப்பதால், கசிவுகளை எளிதில் கண்டறிய கூடுதல் புகை தேவைப்படுகிறது. கசிவுகளைக் கண்டறிய துகள் எண்ணி முறை பயன்படுத்தப்படுகிறது. DOP முறையானது இந்தக் குறைபாடுகளை ஓரளவு ஈடுசெய்வதால், தற்போது கசிவு கண்டறிதலுக்கு DOP முறை பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது.
3. DOP முறை கசிவு கண்டறிதலின் செயல்படும் கொள்கை:
சோதிக்கப்படும் உயர் செயல்திறன் வடிகட்டியின் காற்று வீசும் திசையில், DOP ஏரோசால் ஒரு தூசி மூலமாக வெளியேற்றப்படுகிறது (DOP என்பது டையோக்டைல் தாலேட், அதன் மூலக்கூறு எடை 390.57, மற்றும் தெளித்த பிறகு அதன் துகள்கள் கோள வடிவமாகின்றன).
காற்று வீசும் திசையில் மாதிரி எடுப்பதற்காக ஏரோசல் ஃபோட்டோமீட்டர் பயன்படுத்தப்படுகிறது. சேகரிக்கப்பட்ட காற்று மாதிரிகள் ஃபோட்டோமீட்டரின் பரவல் அறை வழியாகச் செல்கின்றன. ஃபோட்டோமீட்டர் வழியாகச் செல்லும் தூசி கலந்த வாயுவினால் உருவாகும் சிதறிய ஒளி, ஒளிமின் விளைவு மற்றும் நேரியல் பெருக்கம் ஆகியவற்றால் மின்சாரமாக மாற்றப்பட்டு, ஒரு மைக்ரோஅம்மீட்டரால் விரைவாகக் காட்டப்படுகிறது. இதன் மூலம் ஏரோசலின் சார்புச் செறிவை அளவிட முடியும். DOP சோதனையானது உண்மையில் அளவிடுவது ஹெப்பா வடிகட்டியின் ஊடுருவல் வீதத்தையே ஆகும்.
DOP ஜெனரேட்டர் என்பது புகையை உருவாக்கும் ஒரு சாதனம். ஜெனரேட்டர் கொள்கலனில் DOP கரைப்பான் ஊற்றப்பட்ட பிறகு, ஒரு குறிப்பிட்ட அழுத்தம் அல்லது வெப்பமூட்டும் நிலையில் ஏரோசல் புகை உருவாக்கப்பட்டு, உயர் செயல்திறன் வடிகட்டியின் காற்று வீசும் திசைக்கு அனுப்பப்படுகிறது (DOP திரவம் சூடாக்கப்பட்டு DOP நீராவியாக உருவாகிறது, மேலும் அந்த நீராவி ஒரு குறிப்பிட்ட சூழலில் சூடாக்கப்பட்டு, குறிப்பிட்ட நிபந்தனைகளின் கீழ் மிகச்சிறிய நீர்த்துளிகளாக ஒடுங்குகிறது, மிகப் பெரிய மற்றும் மிகச்சிறிய நீர்த்துளிகள் அகற்றப்பட்டு, சுமார் 0.3um துகள்கள் மட்டுமே எஞ்சுகின்றன, பின்னர் அந்தப் புகைமூட்டமான DOP காற்றுக் குழாய்க்குள் நுழைகிறது);
ஏரோசால் ஃபோட்டோமீட்டர்கள் (ஏரோசால் செறிவுகளை அளந்து காண்பிக்கும் கருவிகள்) அளவுத்திருத்தத்தின் செல்லுபடியாகும் காலத்தைக் குறிப்பிட வேண்டும், மேலும் அவை அளவுத்திருத்தத்தில் தேர்ச்சி பெற்று, செல்லுபடியாகும் காலத்திற்குள் இருந்தால் மட்டுமே பயன்படுத்தப்பட முடியும்;
4. கசிவு கண்டறியும் சோதனையின் செயல்பாட்டு முறை:
(1). கசிவு கண்டறிதல் தயாரிப்பு
கசிவைக் கண்டறியத் தேவையான உபகரணங்களையும், ஆய்வு செய்யப்பட வேண்டிய பகுதியில் உள்ள சுத்திகரிப்பு மற்றும் குளிரூட்டும் அமைப்பின் காற்று விநியோகக் குழாயின் தள வரைபடத்தையும் தயார் செய்யவும். மேலும், கசிவு கண்டறியப்படும் நாளில், பசை தடவுதல் மற்றும் ஹெப்பா வடிகட்டிகளை மாற்றுதல் போன்ற பணிகளைச் செய்வதற்காக, சுத்திகரிப்பு மற்றும் குளிரூட்டும் உபகரண நிறுவனத்தை சம்பவ இடத்திற்கு வருமாறு தெரிவிக்கவும்.
(2). கசிவு கண்டறிதல் செயல்பாடு
① ஏரோசல் ஜெனரேட்டரில் உள்ள DOP கரைப்பானின் திரவ மட்டம், குறைந்தபட்ச அளவை விட அதிகமாக உள்ளதா எனச் சரிபார்க்கவும்; அது போதுமானதாக இல்லாவிட்டால், சேர்க்கப்பட வேண்டும்.
②நைட்ரஜன் பாட்டிலை ஏரோசல் ஜெனரேட்டருடன் இணைத்து, ஏரோசல் ஜெனரேட்டரின் வெப்பநிலை சுவிட்சை இயக்கவும். சிவப்பு விளக்கு பச்சையாக மாறும் வரை காத்திருக்கவும், இது வெப்பநிலை (சுமார் 390~420℃) அடையப்பட்டதைக் குறிக்கிறது.
③சோதனைக் குழாயின் ஒரு முனையை ஏரோசல் ஃபோட்டோமீட்டரின் மேல்நோக்கிய செறிவு சோதனைத் துளையில் இணைத்து, மறுமுனையைச் சோதிக்கப்படும் ஹெப்பா வடிகட்டியின் காற்று உள்ளீட்டுப் பக்கத்தில் (மேல்நோக்கிய பக்கம்) வைக்கவும். ஃபோட்டோமீட்டர் சுவிட்சை இயக்கி, சோதனை மதிப்பை "100" ஆகச் சரிசெய்யவும்.
④நைட்ரஜன் சுவிட்சை இயக்கி, அழுத்தத்தை 0.05~0.15Mpa அளவில் கட்டுப்படுத்தி, ஏரோசல் ஜெனரேட்டரின் எண்ணெய் வால்வை மெதுவாகத் திறந்து, ஃபோட்டோமீட்டரின் சோதனை மதிப்பை 10~20 அளவில் கட்டுப்படுத்தவும். சோதனை மதிப்பு நிலைபெற்ற பிறகு, மேல்நிலை அளவிடப்பட்ட செறிவை உள்ளிடவும். அதைத் தொடர்ந்த ஸ்கேனிங் மற்றும் ஆய்வுப் பணிகளை மேற்கொள்ளவும்.
⑤சோதனைக் குழாயின் ஒரு முனையை ஏரோசல் ஃபோட்டோமீட்டரின் கீழ்நிலை செறிவு சோதனைத் துளையுடன் இணைக்கவும், மற்றும் மறுமுனையான மாதிரித் தலையைப் பயன்படுத்தி, வடிகட்டியின் காற்று வெளியேறும் பக்கத்தையும் அதன் தாங்கியையும் ஸ்கேன் செய்யவும். மாதிரித் தலைக்கும் வடிகட்டிக்கும் இடையிலான தூரம் சுமார் 3 முதல் 5 செ.மீ. ஆகும், வடிகட்டியின் உள் சட்டகம் முழுவதும் முன்னும் பின்னுமாக ஸ்கேன் செய்யப்பட வேண்டும், மற்றும் பரிசோதனை வேகம் 5 செ.மீ./வினாடிக்கும் குறைவாக இருக்க வேண்டும்.
சோதனையின் நோக்கத்தில், வடிகட்டிப் பொருள், வடிகட்டிப் பொருளுக்கும் அதன் சட்டகத்திற்கும் இடையிலான இணைப்பு, வடிகட்டிச் சட்டகத்தின் கேஸ்கெட்டிற்கும் வடிகட்டித் தொகுப்பின் ஆதரவுச் சட்டகத்திற்கும் இடையிலான இணைப்பு, ஆதரவுச் சட்டகத்திற்கும் சுவர் அல்லது கூரைக்கும் இடையிலான இணைப்பு ஆகியவற்றில் உள்ள வடிகட்டி ஊடகத்தில் சிறிய ஊசித் துளைகள் மற்றும் பிற சேதங்கள், சட்டக முத்திரைகள், கேஸ்கெட் முத்திரைகள் மற்றும் வடிகட்டிச் சட்டகத்தில் உள்ள கசிவுகள் ஆகியவற்றைச் சரிபார்ப்பது அடங்கும்.
10000 வகுப்புக்கு மேற்பட்ட தூய்மையான பகுதிகளில் உள்ள ஹெப்பா வடிகட்டிகளில் வழக்கமான கசிவு கண்டறிதல் பொதுவாக ஆண்டுக்கு ஒரு முறை செய்யப்படுகிறது (கிருமியற்ற பகுதிகளில் அரையாண்டுக்கு ஒரு முறை); தூய்மையான பகுதிகளைத் தினசரி கண்காணிக்கும்போது, தூசுத் துகள்களின் எண்ணிக்கை, படிவு பாக்டீரியாக்கள் மற்றும் காற்றின் வேகம் ஆகியவற்றில் குறிப்பிடத்தக்க அசாதாரணங்கள் காணப்பட்டால், கசிவு கண்டறிதலும் செய்யப்பட வேண்டும்.
பதிவிட்ட நேரம்: செப்-07-2023