அல்ட்ரா-கிளீன் உற்பத்தி வரிக்கான தொழில்நுட்ப தீர்வு

அல்ட்ரா-க்ளீன் அசெம்பிளி லைன், அல்ட்ரா-க்ளீன் புரொடக்ஷன் லைன் என்றும் அழைக்கப்படுகிறது, உண்மையில் மல்டிபிள் கிளாஸ் 100 லேமினார் ஃப்ளோ க்ளீன் பெஞ்ச் கொண்டது. கிளாஸ் 100 லேமினார் ஃப்ளோ ஹூட்களால் மூடப்பட்ட சட்ட-வகை டாப் மூலமாகவும் இதை உணர முடியும். ஆப்டோ எலக்ட்ரானிக்ஸ், பயோஃபார்மாசூட்டிகல்ஸ், அறிவியல் ஆராய்ச்சி பரிசோதனைகள் மற்றும் பிற துறைகள் போன்ற நவீன தொழில்களில் உள்ளூர் வேலை செய்யும் பகுதிகளின் தூய்மை தேவைகளுக்காக இது வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது. அதன் செயல்பாட்டுக் கொள்கை என்னவென்றால், மையவிலக்கு விசிறி மூலம் முன் வடிகட்டியில் காற்று உறிஞ்சப்பட்டு, நிலையான அழுத்த பெட்டியின் மூலம் வடிகட்டுவதற்காக ஹெப்பா வடிகட்டியில் நுழைகிறது, மேலும் வடிகட்டப்பட்ட காற்று செங்குத்து அல்லது கிடைமட்ட காற்று ஓட்ட நிலையில் அனுப்பப்படுகிறது, இதனால் இயக்க பகுதி 100 ஆம் வகுப்பு தூய்மையை அடையும். உற்பத்தி துல்லியம் மற்றும் சுற்றுச்சூழல் தூய்மை தேவைகளை உறுதி செய்தல்.

அல்ட்ரா-க்ளீன் அசெம்பிளி லைன் காற்றோட்டத்தின் திசைக்கு ஏற்ப செங்குத்து ஓட்டம் அல்ட்ரா-க்ளீன் அசெம்பிளி லைன் (செங்குத்து ஓட்டம் சுத்தமான பெஞ்ச்) மற்றும் கிடைமட்ட ஓட்டம் அல்ட்ரா-க்ளீன் அசெம்பிளி லைன் (கிடைமட்ட ஓட்டம் சுத்தமான பெஞ்ச்) என பிரிக்கப்பட்டுள்ளது.

ஆய்வகம், உயிரி மருந்து, ஆப்டோ எலக்ட்ரானிக் தொழில், மைக்ரோ எலக்ட்ரானிக்ஸ், ஹார்ட் டிஸ்க் உற்பத்தி மற்றும் பிற துறைகளில் உள்ளூர் சுத்திகரிப்பு தேவைப்படும் பகுதிகளில் செங்குத்து அல்ட்ரா-க்ளீன் உற்பத்திக் கோடுகள் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன. செங்குத்து திசையற்ற ஓட்டம் சுத்தமான பெஞ்ச் அதிக தூய்மையின் நன்மைகளைக் கொண்டுள்ளது, ஒரு சட்டசபை உற்பத்தி வரி, குறைந்த சத்தத்துடன் இணைக்கப்படலாம் மற்றும் நகரக்கூடியது.

செங்குத்து தீவிர சுத்தமான உற்பத்தி வரியின் அம்சங்கள்

1. நீண்ட ஆயுள், குறைந்த இரைச்சல், பராமரிப்பு இல்லாத, சிறிய அதிர்வு மற்றும் ஸ்டெப்லெஸ் வேக சரிசெய்தல் போன்ற பண்புகளைக் கொண்ட ஜெர்மன் பூர்வீக நேரடி இயக்கி EBM உயர்-செயல்திறன் மையவிலக்கு விசிறியை விசிறி ஏற்றுக்கொள்கிறது. வேலை வாழ்க்கை 30000 மணிநேரம் அல்லது அதற்கும் அதிகமாகும். விசிறி வேக ஒழுங்குமுறை செயல்திறன் நிலையானது, மேலும் ஹெப்பா வடிகட்டியின் இறுதி எதிர்ப்பின் கீழ் காற்றின் அளவு மாறாமல் இருக்கும் என்று உத்தரவாதம் அளிக்க முடியும்.

2. ஸ்டேடிக் பிரஷர் பாக்ஸின் அளவைக் குறைக்க அல்ட்ரா-தின் மினி ப்ளீட் ஹெப்பா ஃபில்டர்களைப் பயன்படுத்தவும், மேலும் ஸ்டுடியோ முழுவதும் விசாலமாகவும் பிரகாசமாகவும் தோன்றும் வகையில் ஸ்டெயின்லெஸ் ஸ்டீல் கவுண்டர்டாப்புகள் மற்றும் கண்ணாடி பக்க தடுப்புகளைப் பயன்படுத்தவும்.

3. ஹெபா ஃபில்டரின் இருபுறமும் உள்ள அழுத்த வேறுபாட்டைத் தெளிவாகக் குறிப்பிடுவதற்கும், ஹெப்பா ஃபில்டரை மாற்றுவதற்கு உடனடியாக உங்களுக்கு நினைவூட்டுவதற்கும் ட்வயர் பிரஷர் கேஜ் பொருத்தப்பட்டுள்ளது.

4. காற்றின் வேகத்தை சரிசெய்ய, சரிசெய்யக்கூடிய காற்று விநியோக அமைப்பைப் பயன்படுத்தவும், இதனால் வேலை செய்யும் பகுதியில் காற்று வேகம் சிறந்த நிலையில் இருக்கும்.

5. வசதியாக நீக்கக்கூடிய பெரிய ஏர் வால்யூம் ப்ரீஃபில்டர் ஹெபா ஃபில்டரை சிறப்பாகப் பாதுகாத்து காற்றின் வேகத்தை உறுதிசெய்யும்.

6. செங்குத்து பன்மடங்கு, திறந்த டெஸ்க்டாப், செயல்பட எளிதானது.

7. தொழிற்சாலையை விட்டு வெளியேறும் முன், US ஃபெடரல் ஸ்டாண்டர்ட் 209E இன் படி தயாரிப்புகள் ஒவ்வொன்றாக கண்டிப்பாக பரிசோதிக்கப்படுகின்றன, மேலும் அவற்றின் நம்பகத்தன்மை மிக அதிகமாக உள்ளது.

8. இது அதி-சுத்தமான உற்பத்திக் கோடுகளில் அசெம்பிளி செய்வதற்கு மிகவும் பொருத்தமானது. செயல்முறை தேவைகளுக்கு ஏற்ப இது ஒரு ஒற்றை அலகாக அமைக்கப்படலாம் அல்லது 100 ஆம் வகுப்பின் அசெம்பிளி லைனை உருவாக்க பல அலகுகளை தொடரில் இணைக்கலாம்.

வகுப்பு 100 நேர்மறை அழுத்த தனிமைப்படுத்தும் அமைப்பு

1.1 அல்ட்ரா-க்ளீன் உற்பத்தி வரிசையானது 100 ஆம் வகுப்பு வேலை செய்யும் பகுதிக்குள் வெளிப்புற மாசுபாட்டைக் கொண்டுவருவதைத் தடுக்க காற்று நுழைவு அமைப்பு, திரும்பும் காற்று அமைப்பு, கையுறை தனிமைப்படுத்தல் மற்றும் பிற சாதனங்களைப் பயன்படுத்துகிறது. நிரப்புதல் மற்றும் மூடுதல் பகுதியின் நேர்மறை அழுத்தம் பாட்டில் கழுவும் பகுதியை விட பெரியதாக இருக்க வேண்டும். தற்போது, ​​இந்த மூன்று பகுதிகளின் அமைப்பு மதிப்புகள் பின்வருமாறு: நிரப்புதல் மற்றும் மூடுதல் பகுதி: 12Pa, பாட்டில் கழுவும் பகுதி: 6Pa. முற்றிலும் தேவைப்படாவிட்டால், மின்விசிறியை அணைக்க வேண்டாம். இது ஹெப்பா காற்று வெளியேறும் பகுதியை எளிதில் மாசுபடுத்தி நுண்ணுயிர் அபாயங்களைக் கொண்டு வரலாம்.

1.2 ஃபில்லிங் அல்லது கேப்பிங் ஏரியாவில் அதிர்வெண் மாற்றும் விசிறி வேகம் 100% ஐ அடைந்து, இன்னும் செட் பிரஷர் மதிப்பை அடைய முடியவில்லை என்றால், சிஸ்டம் எச்சரிக்கை செய்து ஹெபா ஃபில்டரை மாற்றும்படி கேட்கும்.

.

1.4 முதன்மை வடிகட்டியின் பராமரிப்பு: முதன்மை வடிகட்டியை மாதத்திற்கு ஒருமுறை மாற்றவும். வகுப்பு 100 நிரப்புதல் அமைப்பில் முதன்மை மற்றும் ஹெபா வடிகட்டிகள் மட்டுமே உள்ளன. பொதுவாக, முதன்மை வடிகட்டியின் பின்புறம் அழுக்காக இருக்கிறதா என்று ஒவ்வொரு வாரமும் சரிபார்க்கப்படும். அது அழுக்காக இருந்தால், அதை மாற்ற வேண்டும்.

1.5 ஹெபா ஃபில்டரை நிறுவுதல்: ஹெபா ஃபில்டரை நிரப்புவது ஒப்பீட்டளவில் துல்லியமானது. நிறுவல் மற்றும் மாற்றும் போது, ​​வடிகட்டி காகிதத்தை உங்கள் கைகளால் தொடாமல் கவனமாக இருங்கள் (வடிகட்டுதல் காகிதம் கண்ணாடி ஃபைபர் காகிதம், இது உடைக்க எளிதானது), மற்றும் சீல் ஸ்ட்ரிப் பாதுகாப்பில் கவனம் செலுத்துங்கள்.

1.6 ஹெபா வடிகட்டியின் கசிவு கண்டறிதல்: ஹெபா வடிகட்டியின் கசிவு கண்டறிதல் பொதுவாக மூன்று மாதங்களுக்கு ஒருமுறை செய்யப்படுகிறது. 100 ஆம் வகுப்பில் உள்ள தூசி மற்றும் நுண்ணுயிரிகளில் அசாதாரணங்கள் கண்டறியப்பட்டால், ஹெபா வடிகட்டி கசிவுகளுக்கு சோதிக்கப்பட வேண்டும். கசிவு இருப்பதாகக் கண்டறியப்பட்ட வடிகட்டிகள் மாற்றப்பட வேண்டும். மாற்றியமைத்த பிறகு, அவை மீண்டும் கசிவுக்காக சோதிக்கப்பட வேண்டும் மற்றும் சோதனையில் தேர்ச்சி பெற்ற பிறகு மட்டுமே பயன்படுத்த முடியும்.

1.7 ஹெபா ஃபில்டரின் மாற்றீடு: பொதுவாக, ஹெபா ஃபில்டர் ஒவ்வொரு வருடமும் மாற்றப்படும். ஹெபா வடிகட்டியை புதியதாக மாற்றிய பிறகு, அது கசிவுகளுக்கு மீண்டும் சோதிக்கப்பட வேண்டும், மேலும் சோதனையில் தேர்ச்சி பெற்ற பின்னரே உற்பத்தி தொடங்க முடியும்.

1.8 காற்று குழாய் கட்டுப்பாடு: காற்று குழாயில் உள்ள காற்று முதன்மை, நடுத்தர மற்றும் ஹெபா வடிகட்டியின் மூன்று நிலைகள் மூலம் வடிகட்டப்படுகிறது. முதன்மை வடிகட்டி வழக்கமாக ஒரு மாதத்திற்கு ஒரு முறை மாற்றப்படுகிறது. முதன்மை வடிகட்டியின் பின்புறம் ஒவ்வொரு வாரமும் அழுக்காக இருக்கிறதா என்று சரிபார்க்கவும். அது அழுக்காக இருந்தால், அதை மாற்ற வேண்டும். நடுத்தர வடிகட்டி வழக்கமாக ஆறு மாதங்களுக்கு ஒரு முறை மாற்றப்படும், ஆனால் தளர்வான சீல் மற்றும் செயல்திறன் சேதம் காரணமாக நடுத்தர வடிகட்டியை காற்று கடந்து செல்வதை தடுக்க ஒவ்வொரு மாதமும் முத்திரை இறுக்கமாக உள்ளதா என்பதை சரிபார்க்க வேண்டும். ஹெபா வடிகட்டிகள் பொதுவாக வருடத்திற்கு ஒரு முறை மாற்றப்படுகின்றன. நிரப்புதல் இயந்திரம் நிரப்புதல் மற்றும் சுத்தம் செய்வதை நிறுத்தும்போது, ​​காற்று குழாய் விசிறியை முழுமையாக மூட முடியாது மற்றும் ஒரு குறிப்பிட்ட நேர்மறை அழுத்தத்தை பராமரிக்க குறைந்த அதிர்வெண்ணில் இயக்க வேண்டும்.