அல்ட்ரா-க்ளீன் உற்பத்தி வரிக்கான தொழில்நுட்ப தீர்வு

அல்ட்ரா-க்ளீன் அசெம்பிளி லைன், அல்ட்ரா-க்ளீன் உற்பத்தி வரி என்றும் அழைக்கப்படுகிறது, இது உண்மையில் பல வகுப்பு 100 லேமினார் ஃப்ளோ கிளீன் பெஞ்சைக் கொண்டுள்ளது. கிளாஸ் 100 லேமினார் ஃப்ளோ ஹூட்களால் மூடப்பட்ட ஒரு பிரேம்-வகை டாப் மூலமாகவும் இதை உணர முடியும். ஆப்டோ எலக்ட்ரானிக்ஸ், பயோஃபார்மாசூட்டிகல்ஸ், அறிவியல் ஆராய்ச்சி பரிசோதனைகள் மற்றும் பிற துறைகள் போன்ற நவீன தொழில்களில் உள்ளூர் வேலை செய்யும் பகுதிகளின் தூய்மைத் தேவைகளுக்காக இது வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது. மையவிலக்கு விசிறி மூலம் காற்று முன் வடிகட்டியில் உறிஞ்சப்பட்டு, நிலையான அழுத்தப் பெட்டி மூலம் வடிகட்டுதலுக்காக ஹெபா வடிகட்டியில் நுழைகிறது, மேலும் வடிகட்டப்பட்ட காற்று செங்குத்து அல்லது கிடைமட்ட காற்று ஓட்ட நிலையில் அனுப்பப்படுகிறது, இதனால் உற்பத்தி துல்லியம் மற்றும் சுற்றுச்சூழல் தூய்மைத் தேவைகளை உறுதி செய்ய இயக்க பகுதி 100 ஆம் வகுப்பு தூய்மையை அடைகிறது.

காற்று ஓட்டத்தின் திசையைப் பொறுத்து, அல்ட்ரா-க்ளீன் அசெம்பிளி லைன், செங்குத்து ஓட்டம் அல்ட்ரா-க்ளீன் அசெம்பிளி லைன் (செங்குத்து ஓட்டம் சுத்தமான பெஞ்ச்) மற்றும் கிடைமட்ட ஓட்டம் அல்ட்ரா-க்ளீன் அசெம்பிளி லைன் (கிடைமட்ட ஓட்டம் சுத்தமான பெஞ்ச்) என பிரிக்கப்பட்டுள்ளது.

ஆய்வகம், உயிரி மருந்து, ஆப்டோ எலக்ட்ரானிக் தொழில், மைக்ரோ எலக்ட்ரானிக்ஸ், ஹார்ட் டிஸ்க் உற்பத்தி மற்றும் பிற துறைகளில் உள்ளூர் சுத்திகரிப்பு தேவைப்படும் பகுதிகளில் செங்குத்து அல்ட்ரா-க்ளீன் உற்பத்தி வரிகள் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன. செங்குத்து திசையற்ற ஓட்டம் சுத்தமான பெஞ்ச் அதிக தூய்மையின் நன்மைகளைக் கொண்டுள்ளது, ஒரு அசெம்பிளி உற்பத்தி வரிசையில் இணைக்கப்படலாம், குறைந்த சத்தம் மற்றும் நகரக்கூடியது.

செங்குத்து அல்ட்ரா-க்ளீன் உற்பத்தி வரியின் அம்சங்கள்

1. இந்த மின்விசிறி ஜெர்மன் வம்சாவளியைச் சேர்ந்த நேரடி-இயக்கி EBM உயர்-செயல்திறன் மையவிலக்கு விசிறியை ஏற்றுக்கொள்கிறது, இது நீண்ட ஆயுள், குறைந்த சத்தம், பராமரிப்பு இல்லாதது, சிறிய அதிர்வு மற்றும் படியற்ற வேக சரிசெய்தல் ஆகிய பண்புகளைக் கொண்டுள்ளது. வேலை செய்யும் ஆயுள் 30000 மணிநேரம் அல்லது அதற்கு மேற்பட்டது. மின்விசிறி வேக ஒழுங்குமுறை செயல்திறன் நிலையானது, மேலும் ஹெபா வடிகட்டியின் இறுதி எதிர்ப்பின் கீழ் காற்றின் அளவு மாறாமல் இருப்பதை உறுதிசெய்ய முடியும்.

2. நிலையான அழுத்தப் பெட்டியின் அளவைக் குறைக்க மிக மெல்லிய மினி மடிப்பு ஹெப்பா வடிப்பான்களைப் பயன்படுத்தவும், மேலும் முழு ஸ்டுடியோவையும் விசாலமாகவும் பிரகாசமாகவும் காட்ட ஸ்டெய்ன்லெஸ் ஸ்டீல் கவுண்டர்டாப்புகள் மற்றும் கண்ணாடி பக்க தடுப்புகளைப் பயன்படுத்தவும்.

3. ஹெப்பா வடிகட்டியின் இருபுறமும் உள்ள அழுத்த வேறுபாட்டைத் தெளிவாகக் குறிக்கவும், ஹெப்பா வடிகட்டியை உடனடியாக மாற்ற நினைவூட்டவும் ஒரு ட்வயர் அழுத்த அளவீடு பொருத்தப்பட்டுள்ளது.

4. காற்றின் வேகத்தை சரிசெய்ய சரிசெய்யக்கூடிய காற்று விநியோக அமைப்பைப் பயன்படுத்தவும், இதனால் வேலை செய்யும் பகுதியில் காற்றின் வேகம் ஒரு சிறந்த நிலையில் இருக்கும்.

5. வசதியாக நீக்கக்கூடிய பெரிய காற்று அளவு முன் வடிகட்டி ஹெபா வடிகட்டியை சிறப்பாகப் பாதுகாத்து காற்றின் வேகத்தை உறுதி செய்யும்.

6. செங்குத்து மேனிஃபோல்ட், திறந்த டெஸ்க்டாப், செயல்பட எளிதானது.

7. தொழிற்சாலையை விட்டு வெளியேறுவதற்கு முன், தயாரிப்புகள் அமெரிக்க ஃபெடரல் ஸ்டாண்டர்ட் 209E இன் படி கண்டிப்பாக ஒவ்வொன்றாக பரிசோதிக்கப்படுகின்றன, மேலும் அவற்றின் நம்பகத்தன்மை மிக அதிகமாக உள்ளது.

8. இது மிகவும் சுத்தமான உற்பத்தி வரிகளில் அசெம்பிளி செய்வதற்கு மிகவும் பொருத்தமானது. செயல்முறை தேவைகளுக்கு ஏற்ப இதை ஒரு அலகாக அமைக்கலாம் அல்லது பல அலகுகளை தொடரில் இணைத்து 100 ஆம் வகுப்பு அசெம்பிளி லைனை உருவாக்கலாம்.

வகுப்பு 100 நேர்மறை அழுத்த தனிமைப்படுத்தல் அமைப்பு

1.1 அல்ட்ரா-க்ளீன் உற்பத்தி வரிசையில், காற்று உள்ளீட்டு அமைப்பு, திரும்பும் காற்று அமைப்பு, கையுறை தனிமைப்படுத்தல் மற்றும் பிற சாதனங்கள் பயன்படுத்தப்படுகின்றன, அவை வெளிப்புற மாசுபாடு 100 ஆம் வகுப்பு வேலை பகுதிக்குள் கொண்டு வரப்படுவதைத் தடுக்கின்றன. நிரப்புதல் மற்றும் மூடுதல் பகுதியின் நேர்மறை அழுத்தம் பாட்டில் கழுவும் பகுதியை விட அதிகமாக இருப்பது அவசியம். தற்போது, ​​இந்த மூன்று பகுதிகளின் அமைப்பு மதிப்புகள் பின்வருமாறு: நிரப்புதல் மற்றும் மூடுதல் பகுதி: 12Pa, பாட்டில் கழுவுதல் பகுதி: 6Pa. முற்றிலும் அவசியமில்லாமல், விசிறியை அணைக்க வேண்டாம். இது ஹெபா காற்று வெளியேறும் பகுதியை எளிதில் மாசுபடுத்தி நுண்ணுயிர் ஆபத்துகளை ஏற்படுத்தக்கூடும்.

1.2 நிரப்புதல் அல்லது மூடுதல் பகுதியில் அதிர்வெண் மாற்ற விசிறி வேகம் 100% ஐ அடைந்தும், நிர்ணயிக்கப்பட்ட அழுத்த மதிப்பை அடைய முடியாவிட்டால், கணினி எச்சரிக்கை செய்து ஹெபா வடிகட்டியை மாற்றும்படி கேட்கும்.

1.3 வகுப்பு 1000 சுத்தமான அறை தேவைகள்: வகுப்பு 1000 நிரப்பு அறையின் நேர்மறை அழுத்தம் 15Pa இல் கட்டுப்படுத்தப்பட வேண்டும், கட்டுப்பாட்டு அறையில் நேர்மறை அழுத்தம் 10Pa இல் கட்டுப்படுத்தப்படுகிறது, மேலும் நிரப்பு அறை அழுத்தம் கட்டுப்பாட்டு அறை அழுத்தத்தை விட அதிகமாக இருக்க வேண்டும்.

1.4 முதன்மை வடிகட்டியின் பராமரிப்பு: மாதத்திற்கு ஒரு முறை முதன்மை வடிகட்டியை மாற்றவும். வகுப்பு 100 நிரப்பு அமைப்பில் முதன்மை மற்றும் ஹெபா வடிகட்டிகள் மட்டுமே உள்ளன. பொதுவாக, முதன்மை வடிகட்டியின் பின்புறம் அழுக்காக இருக்கிறதா என்று ஒவ்வொரு வாரமும் சரிபார்க்கப்படும். அது அழுக்காக இருந்தால், அதை மாற்ற வேண்டும்.

1.5 ஹெப்பா வடிகட்டியை நிறுவுதல்: ஹெப்பா வடிகட்டியை நிரப்புவது ஒப்பீட்டளவில் துல்லியமானது. நிறுவுதல் மற்றும் மாற்றும் போது, ​​வடிகட்டி காகிதத்தை உங்கள் கைகளால் தொடாமல் கவனமாக இருங்கள் (வடிகட்டி காகிதம் கண்ணாடி இழை காகிதம், இது உடைக்க எளிதானது), மேலும் சீலிங் ஸ்ட்ரிப்பின் பாதுகாப்பில் கவனம் செலுத்துங்கள்.

1.6 ஹெப்பா வடிகட்டியின் கசிவு கண்டறிதல்: ஹெப்பா வடிகட்டியின் கசிவு கண்டறிதல் பொதுவாக மூன்று மாதங்களுக்கு ஒரு முறை செய்யப்படுகிறது. 100 ஆம் வகுப்பு இடத்தில் தூசி மற்றும் நுண்ணுயிரிகளில் அசாதாரணங்கள் கண்டறியப்பட்டால், ஹெப்பா வடிகட்டியும் கசிவுகளுக்கு சோதிக்கப்பட வேண்டும். கசிவு இருப்பதாகக் கண்டறியப்பட்ட வடிகட்டிகள் மாற்றப்பட வேண்டும். மாற்றியமைத்த பிறகு, அவை மீண்டும் கசிவுகளுக்கு சோதிக்கப்பட வேண்டும், மேலும் சோதனையில் தேர்ச்சி பெற்ற பின்னரே அவற்றைப் பயன்படுத்த முடியும்.

1.7 ஹெப்பா வடிகட்டியை மாற்றுதல்: பொதுவாக, ஹெப்பா வடிகட்டி ஒவ்வொரு ஆண்டும் மாற்றப்படும். ஹெப்பா வடிகட்டியை புதியதாக மாற்றிய பின், அது கசிவுகளுக்கு மீண்டும் சோதிக்கப்பட வேண்டும், மேலும் சோதனையில் தேர்ச்சி பெற்ற பின்னரே உற்பத்தியைத் தொடங்க முடியும்.

1.8 காற்று குழாய் கட்டுப்பாடு: காற்று குழாயில் உள்ள காற்று முதன்மை, நடுத்தர மற்றும் ஹெப்பா வடிகட்டி ஆகிய மூன்று நிலைகள் வழியாக வடிகட்டப்பட்டுள்ளது. முதன்மை வடிகட்டி வழக்கமாக மாதத்திற்கு ஒரு முறை மாற்றப்படும். முதன்மை வடிகட்டியின் பின்புறம் ஒவ்வொரு வாரமும் அழுக்காக உள்ளதா என்பதைச் சரிபார்க்கவும். அது அழுக்காக இருந்தால், அதை மாற்ற வேண்டும். நடுத்தர வடிகட்டி வழக்கமாக ஆறு மாதங்களுக்கு ஒரு முறை மாற்றப்படும், ஆனால் தளர்வான சீல் மற்றும் செயல்திறனுக்கு சேதம் ஏற்படுவதால் நடுத்தர வடிகட்டியைத் தவிர்த்து காற்று செல்வதைத் தடுக்க ஒவ்வொரு மாதமும் சீல் இறுக்கமாக உள்ளதா என்பதைச் சரிபார்க்க வேண்டியது அவசியம். ஹெப்பா வடிகட்டிகள் பொதுவாக வருடத்திற்கு ஒரு முறை மாற்றப்படும். நிரப்பு இயந்திரம் நிரப்புவதையும் சுத்தம் செய்வதையும் நிறுத்தும்போது, ​​காற்று குழாய் விசிறியை முழுமையாக மூட முடியாது, மேலும் ஒரு குறிப்பிட்ட நேர்மறை அழுத்தத்தை பராமரிக்க குறைந்த அதிர்வெண்ணில் இயக்க வேண்டும்.