அதிதூய்மையான உற்பத்தி வரிசைக்கான தொழில்நுட்பத் தீர்வு

அதிதூய்மையான உற்பத்தி வரிசை என்றும் அழைக்கப்படும் அதிதூய்மையான அசெம்பிளி வரிசையானது, உண்மையில் பல வகுப்பு 100 லேமினார் ஃப்ளோ க்ளீன் பெஞ்சுகளால் ஆனது. இதை வகுப்பு 100 லேமினார் ஃப்ளோ ஹூட்களால் மூடப்பட்ட ஒரு ஃபிரேம்-வகை மேற்புறத்தின் மூலமும் செயல்படுத்தலாம். இது ஆப்டோஎலக்ட்ரானிக்ஸ், பயோஃபார்மசூட்டிகல்ஸ், அறிவியல் ஆராய்ச்சி சோதனைகள் மற்றும் பிற துறைகள் போன்ற நவீன தொழில்களில் உள்ளூர் வேலை செய்யும் பகுதிகளின் தூய்மைத் தேவைகளுக்காக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது. இதன் செயல்பாட்டுக் கொள்கை என்னவென்றால், காற்று மையவிலக்கு விசிறி மூலம் ப்ரீஃபில்டருக்குள் உறிஞ்சப்பட்டு, நிலையான அழுத்தப் பெட்டி வழியாக வடிகட்டுவதற்காக ஹெப்பா ஃபில்டருக்குள் நுழைகிறது. பின்னர் வடிகட்டப்பட்ட காற்று செங்குத்து அல்லது கிடைமட்ட காற்று ஓட்ட நிலையில் வெளியேற்றப்படுகிறது. இதன் மூலம், உற்பத்தித் துல்லியம் மற்றும் சுற்றுச்சூழல் தூய்மைத் தேவைகளை உறுதி செய்வதற்காக, செயல்படும் பகுதி வகுப்பு 100 தூய்மையை அடைகிறது.

காற்றின் ஓட்டத்தின் திசையின் அடிப்படையில், அதிதூய்மை உற்பத்தி வரிசையானது செங்குத்து ஓட்ட அதிதூய்மை உற்பத்தி வரிசை (செங்குத்து ஓட்ட தூய்மை மேடை) மற்றும் கிடைமட்ட ஓட்ட அதிதூய்மை உற்பத்தி வரிசை (கிடைமட்ட ஓட்ட தூய்மை மேடை) எனப் பிரிக்கப்பட்டுள்ளது.

ஆய்வகம், உயிரிமருந்துத் தொழில், ஒளியியல் மின்னணுவியல், நுண்மின்னணுவியல், வன்வட்டு உற்பத்தி மற்றும் பிற துறைகளில், குறிப்பிட்ட இடத்தில் தூய்மைப்படுத்தல் தேவைப்படும் பகுதிகளில் செங்குத்தான அதிதூய்மையான உற்பத்தி வரிசைகள் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன. செங்குத்தான ஒருவழிப் பாய்வுத் தூய்மை மேடையானது, உயர் தூய்மை, ஒரு ஒருங்கிணைப்பு உற்பத்தி வரிசையில் இணைக்கப்படக்கூடிய தன்மை, குறைந்த இரைச்சல் மற்றும் நகர்த்தக்கூடிய தன்மை போன்ற நன்மைகளைக் கொண்டுள்ளது.

செங்குத்து அதிதூய்மையான உற்பத்தி வரிசையின் அம்சங்கள்

1. இந்த விசிறி, ஜெர்மனியில் தயாரிக்கப்பட்ட நேரடி இயக்க EBM உயர் செயல்திறன் கொண்ட மையவிலக்கு விசிறியைப் பயன்படுத்துகிறது. இது நீண்ட ஆயுள், குறைந்த இரைச்சல், பராமரிப்பு இல்லாத தன்மை, குறைந்த அதிர்வு மற்றும் படிப்படியான வேகச் சரிசெய்தல் போன்ற பண்புகளைக் கொண்டுள்ளது. இதன் இயக்க ஆயுள் 30,000 மணிநேரம் அல்லது அதற்கும் அதிகமாகும். விசிறியின் வேகக் கட்டுப்பாட்டுச் செயல்திறன் நிலையானது, மேலும் ஹெப்பா வடிகட்டியின் இறுதி எதிர்ப்பின் கீழ் காற்றின் அளவு மாறாமல் இருக்கும் என்பது உறுதி செய்யப்படுகிறது.

2. நிலைமின் அழுத்தப் பெட்டியின் அளவைக் குறைக்க, மிக மெல்லிய மினி ப்ளீட் ஹெப்பா ஃபில்டர்களைப் பயன்படுத்துங்கள்; மேலும், முழு ஸ்டுடியோவும் விசாலமாகவும் பிரகாசமாகவும் தோற்றமளிக்க, துருப்பிடிக்காத எஃகு மேசை மேற்பரப்புகளையும் கண்ணாடி பக்கவாட்டுத் தடுப்புகளையும் பயன்படுத்துங்கள்.

3. ஹெப்பா ஃபில்டரின் இருபுறங்களிலும் உள்ள அழுத்த வேறுபாட்டைத் தெளிவாகக் காண்பிப்பதற்கும், ஹெப்பா ஃபில்டரை மாற்றுமாறு உடனடியாக நினைவூட்டுவதற்கும், இதில் டுவையர் அழுத்தமானி பொருத்தப்பட்டுள்ளது.

4. பணிபுரியும் பகுதியில் காற்றின் வேகம் உகந்த நிலையில் இருக்குமாறு, சரிசெய்யக்கூடிய காற்று விநியோக அமைப்பைப் பயன்படுத்தி காற்றின் வேகத்தைச் சீரமைக்கவும்.

5. எளிதில் அகற்றக்கூடிய அதிக காற்று கொள்ளளவு கொண்ட முன்வடிகட்டி, ஹெப்பா வடிகட்டியைச் சிறப்பாகப் பாதுகாத்து, காற்றின் வேகத்தையும் உறுதி செய்கிறது.

6. செங்குத்து பன்முகக் கட்டமைப்பு, திறந்த மேசைத்தளம், இயக்குவதற்கு எளிதானது.

7. தொழிற்சாலையை விட்டு வெளியேறும் முன், பொருட்கள் அமெரிக்க கூட்டாட்சி தரநிலை 209E-இன் படி ஒவ்வொன்றாகக் கடுமையாக ஆய்வு செய்யப்படுகின்றன, மேலும் அவற்றின் நம்பகத்தன்மை மிகவும் அதிகமாக உள்ளது.

8. இது அதிதூய்மையான உற்பத்தித் தொடர்களில் பொருத்துவதற்கு மிகவும் பொருத்தமானது. செயல்முறைத் தேவைகளுக்கு ஏற்ப இதை ஒற்றை அலகாக அமைக்கலாம், அல்லது பல அலகுகளைத் தொடராக இணைத்து ஒரு வகுப்பு 100 ஒருங்கிணைப்புத் தொடரை உருவாக்கலாம்.

வகுப்பு 100 நேர்மறை அழுத்த தனிமைப்படுத்தல் அமைப்பு

1.1 வகுப்பு 100 பணிபுரியும் பகுதிக்குள் வெளிப்புற அசுத்தங்கள் கொண்டுவரப்படுவதைத் தடுக்க, அதிதூய்மையான உற்பத்தி வரிசையானது காற்று உள்ளீட்டு அமைப்பு, திரும்பும் காற்று அமைப்பு, கையுறை தனிமைப்படுத்தல் மற்றும் பிற சாதனங்களைப் பயன்படுத்துகிறது. நிரப்புதல் மற்றும் மூடுதல் பகுதியின் நேர்மறை அழுத்தம், புட்டி கழுவும் பகுதியின் நேர்மறை அழுத்தத்தை விட அதிகமாக இருக்க வேண்டும். தற்போது, ​​இந்த மூன்று பகுதிகளின் அமைவு மதிப்புகள் பின்வருமாறு: நிரப்புதல் மற்றும் மூடுதல் பகுதி: 12Pa, புட்டி கழுவும் பகுதி: 6Pa. முற்றிலும் அவசியமெனில்லாமல், மின்விசிறியை அணைக்க வேண்டாம். இது ஹெப்பா காற்று வெளியேறும் பகுதியில் எளிதில் அசுத்தத்தை ஏற்படுத்தி, நுண்ணுயிரி அபாயங்களை உண்டாக்கக்கூடும்.

1.2 நிரப்பும் அல்லது மூடும் பகுதியில் அதிர்வெண் மாற்றும் விசிறியின் வேகம் 100%-ஐ அடைந்த பிறகும், நிர்ணயிக்கப்பட்ட அழுத்த மதிப்பை எட்ட முடியாவிட்டால், அமைப்பு எச்சரிக்கை செய்து, ஹெப்பா வடிகட்டியை மாற்றுமாறு அறிவுறுத்தும்.

1.3 வகுப்பு 1000 தூய்மை அறைக்கான தேவைகள்: வகுப்பு 1000 நிரப்பு அறையின் நேர் அழுத்தம் 15Pa ஆகவும், கட்டுப்பாட்டு அறையின் நேர் அழுத்தம் 10Pa ஆகவும் கட்டுப்படுத்தப்பட வேண்டும், மேலும் நிரப்பு அறையின் அழுத்தம் கட்டுப்பாட்டு அறையின் அழுத்தத்தை விட அதிகமாக இருக்க வேண்டும்.

1.4 முதன்மை வடிகட்டியின் பராமரிப்பு: முதன்மை வடிகட்டியை மாதத்திற்கு ஒரு முறை மாற்றவும். கிளாஸ் 100 நிரப்புதல் அமைப்பில் முதன்மை மற்றும் ஹெப்பா வடிகட்டிகள் மட்டுமே உள்ளன. பொதுவாக, முதன்மை வடிகட்டியின் பின்புறம் அழுக்காக உள்ளதா என ஒவ்வொரு வாரமும் சரிபார்க்கப்படும். அது அழுக்காக இருந்தால், அதை மாற்ற வேண்டும்.

1.5 ஹெப்பா வடிகட்டியைப் பொருத்துதல்: ஹெப்பா வடிகட்டியை நிரப்புவது ஒப்பீட்டளவில் துல்லியமானது. பொருத்தும்போதும் மாற்றும்போதும், வடிகட்டித் தாளைக் கைகளால் தொடாமல் கவனமாக இருங்கள் (வடிகட்டித் தாள் கண்ணாடியிழைத் தாள் என்பதால், அது எளிதில் உடைந்துவிடும்), மேலும் சீல் பட்டையின் பாதுகாப்பிலும் கவனம் செலுத்துங்கள்.

1.6 ஹெப்பா வடிகட்டியின் கசிவைக் கண்டறிதல்: ஹெப்பா வடிகட்டியின் கசிவைக் கண்டறியும் சோதனை பொதுவாக மூன்று மாதங்களுக்கு ஒருமுறை செய்யப்படுகிறது. வகுப்பு 100 பகுதியில் உள்ள தூசி மற்றும் நுண்ணுயிரிகளில் அசாதாரணங்கள் கண்டறியப்பட்டால், ஹெப்பா வடிகட்டியிலும் கசிவு உள்ளதா எனச் சோதிக்க வேண்டும். கசிவதாகக் கண்டறியப்பட்ட வடிகட்டிகள் மாற்றப்பட வேண்டும். மாற்றிய பிறகு, அவை மீண்டும் கசிவுக்காகச் சோதிக்கப்பட வேண்டும், மேலும் சோதனையில் தேர்ச்சி பெற்ற பின்னரே அவற்றைப் பயன்படுத்த முடியும்.

1.7 ஹெப்பா வடிகட்டியை மாற்றுதல்: பொதுவாக, ஹெப்பா வடிகட்டி ஒவ்வொரு ஆண்டும் மாற்றப்படுகிறது. புதிய ஹெப்பா வடிகட்டியைப் பொருத்திய பிறகு, அதில் கசிவுகள் உள்ளதா என மீண்டும் சோதிக்கப்பட வேண்டும், மேலும் அந்தச் சோதனையில் தேர்ச்சி பெற்ற பின்னரே உற்பத்தியைத் தொடங்க முடியும்.

1.8 காற்றுக் குழாய் கட்டுப்பாடு: காற்றுக் குழாயில் உள்ள காற்று, முதன்மை, நடுத்தர மற்றும் ஹெப்பா வடிகட்டி என மூன்று நிலைகள் வழியாக வடிகட்டப்படுகிறது. முதன்மை வடிகட்டி பொதுவாக மாதத்திற்கு ஒரு முறை மாற்றப்படுகிறது. ஒவ்வொரு வாரமும் முதன்மை வடிகட்டியின் பின்புறம் அழுக்காக உள்ளதா எனச் சரிபார்க்கவும். அது அழுக்காக இருந்தால், அதை மாற்ற வேண்டும். நடுத்தர வடிகட்டி பொதுவாக ஆறு மாதங்களுக்கு ஒரு முறை மாற்றப்படுகிறது, ஆனால் தளர்வான அடைப்பினால் காற்று நடுத்தர வடிகட்டியைத் தாண்டிச் சென்று செயல்திறனைச் சேதப்படுத்துவதைத் தடுக்க, ஒவ்வொரு மாதமும் அதன் அடைப்பு இறுக்கமாக உள்ளதா எனச் சரிபார்ப்பது அவசியம். ஹெப்பா வடிகட்டிகள் பொதுவாக வருடத்திற்கு ஒரு முறை மாற்றப்படுகின்றன. நிரப்பும் இயந்திரம் நிரப்புவதையும் சுத்தம் செய்வதையும் நிறுத்தும் போது, ​​காற்றுக் குழாய் விசிறியை முழுமையாக மூட முடியாது, மேலும் ஒரு குறிப்பிட்ட நேர்மறை அழுத்தத்தைப் பராமரிக்க அது குறைந்த அதிர்வெண்ணில் இயக்கப்பட வேண்டும்.