தூய்மை அறையில் வெப்பநிலை மற்றும் காற்று அழுத்தக் கட்டுப்பாடு

குறிப்பாகப் புகைமூட்ட வானிலை அதிகரித்து வருவதால், சுற்றுச்சூழல் பாதுகாப்பிற்கு அதிக கவனம் செலுத்தப்படுகிறது. தூய்மை அறைப் பொறியியல் என்பது சுற்றுச்சூழல் பாதுகாப்பு நடவடிக்கைகளில் ஒன்றாகும். சுற்றுச்சூழல் பாதுகாப்பில் சிறப்பாகச் செயல்பட, தூய்மை அறைப் பொறியியலை எவ்வாறு பயன்படுத்துவது? தூய்மை அறைப் பொறியியலில் உள்ள கட்டுப்பாடுகள் பற்றிப் பேசுவோம்.

தூய்மை அறையில் வெப்பநிலை மற்றும் ஈரப்பதக் கட்டுப்பாடு

தூய்மையான இடங்களின் வெப்பநிலை மற்றும் ஈரப்பதம் ஆகியவை முக்கியமாக செயல்முறைத் தேவைகளின் அடிப்படையில் நிர்ணயிக்கப்படுகின்றன, ஆனால் செயல்முறைத் தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்யும்போது, ​​மனிதர்களின் வசதியையும் கருத்தில் கொள்ள வேண்டும். காற்றின் தூய்மைத் தேவைகள் மேம்பட்டு வருவதால், செயல்முறைகளில் வெப்பநிலை மற்றும் ஈரப்பதத்திற்கான கடுமையான தேவைகளைக் கொண்ட ஒரு போக்கு உருவாகி வருகிறது.

ஒரு பொதுவான கொள்கையாக, செயலாக்கத்தின் துல்லியம் அதிகரித்து வருவதால், வெப்பநிலை ஏற்ற இறக்க வரம்பிற்கான தேவைகள் மேலும் மேலும் குறைந்து வருகின்றன. உதாரணமாக, பெரிய அளவிலான ஒருங்கிணைந்த மின்சுற்று உற்பத்தியின் லித்தோகிராபி மற்றும் எக்ஸ்போஷர் செயல்முறையில், மாஸ்க் பொருட்களாகப் பயன்படுத்தப்படும் கண்ணாடி மற்றும் சிலிக்கான் வேஃபர்களுக்கு இடையிலான வெப்ப விரிவாக்க குணகத்தின் வேறுபாடு மேலும் மேலும் குறைந்து வருகிறது.

100 μm விட்டம் கொண்ட ஒரு சிலிக்கான் தகட்டின் வெப்பநிலை 1 டிகிரி உயரும்போது, ​​அது 0.24 μm நேரியல் விரிவாக்கத்தை அடைகிறது. எனவே, ± 0.1 ℃ என்ற நிலையான வெப்பநிலை அவசியமாகும். மேலும், ஈரப்பதத்தின் அளவு பொதுவாகக் குறைவாக இருக்க வேண்டும், ஏனெனில் வியர்வைக்குப் பிறகு, உற்பத்திப் பொருள் மாசுபடும். குறிப்பாக, சோடியம் மாசுபடுவதற்கு அஞ்சப்படும் குறைக்கடத்திப் பட்டறைகளில் இது அவசியமாகும். இவ்வகைப் பட்டறைகளில் வெப்பநிலை 25℃-ஐத் தாண்டக்கூடாது.

அதிகப்படியான ஈரப்பதம் மேலும் பல சிக்கல்களை ஏற்படுத்துகிறது. ஒப்பு ஈரப்பதம் 55%-ஐத் தாண்டும்போது, ​​குளிர்விக்கும் நீர்க் குழாயின் சுவரில் நீர்த்துளிகள் உருவாகும். இது துல்லியமான கருவிகளிலோ அல்லது மின்சுற்றுகளிலோ ஏற்பட்டால், அது பல்வேறு விபத்துக்களை ஏற்படுத்தக்கூடும். ஒப்பு ஈரப்பதம் 50% ஆக இருக்கும்போது, ​​எளிதில் துருப்பிடித்துவிடும். மேலும், ஈரப்பதம் மிக அதிகமாக இருக்கும்போது, ​​சிலிக்கான் தகட்டின் மேற்பரப்பில் ஒட்டிக்கொண்டிருக்கும் தூசியானது, காற்றில் உள்ள நீர் மூலக்கூறுகள் வழியாக வேதியியல் ரீதியாக மேற்பரப்பில் ஒட்டிக்கொள்ளும், இதை அகற்றுவது கடினம்.

சாரீர ஈரப்பதம் அதிகமாக இருக்கும்போது, ​​ஒட்டுதலை அகற்றுவது கடினமாகிறது. இருப்பினும், சாரீர ஈரப்பதம் 30%-க்கும் குறைவாக இருக்கும்போது, ​​நிலைமின்னியல் விசையின் செயல்பாட்டின் காரணமாக துகள்கள் மேற்பரப்பில் எளிதாக ஒட்டிக்கொள்கின்றன, மேலும் அதிக எண்ணிக்கையிலான குறைக்கடத்தி சாதனங்கள் பழுதடைய வாய்ப்புள்ளது. சிலிக்கான் வேஃபர் உற்பத்திக்கான உகந்த வெப்பநிலை வரம்பு 35-45% ஆகும்.

காற்று அழுத்தம்கட்டுப்பாடுசுத்தமான அறையில் 

பெரும்பாலான தூய்மையான இடங்களில், வெளிப்புற மாசுபாடு உள்ளே நுழைவதைத் தடுப்பதற்காக, வெளிப்புற அழுத்தத்தை (நிலையான அழுத்தம்) விட உட்புற அழுத்தம் (நிலையான அழுத்தம்) அதிகமாகப் பராமரிக்கப்பட வேண்டும். இந்த அழுத்த வேறுபாட்டின் பராமரிப்பு, பொதுவாகப் பின்வரும் கொள்கைகளுக்கு இணங்க வேண்டும்:

1. தூய்மையான இடங்களில் உள்ள அழுத்தம், தூய்மையற்ற இடங்களில் உள்ள அழுத்தத்தை விட அதிகமாக இருக்க வேண்டும்.

2. உயர் தூய்மை நிலைகளைக் கொண்ட இடங்களில் உள்ள அழுத்தம், குறைந்த தூய்மை நிலைகளைக் கொண்ட அருகிலுள்ள இடங்களில் உள்ள அழுத்தத்தை விட அதிகமாக இருக்க வேண்டும்.

3. சுத்தமான அறைகளுக்கு இடையேயான கதவுகள், அதிக தூய்மை நிலை கொண்ட அறைகளை நோக்கித் திறக்கப்பட வேண்டும்.

அழுத்த வேறுபாட்டின் பராமரிப்பு, தூய காற்றின் அளவைப் பொறுத்தது. இந்த அழுத்த வேறுபாட்டின் கீழ், இடைவெளியிலிருந்து ஏற்படும் காற்றுக்கசிவை ஈடுசெய்யும் திறன் தூய காற்றுக்கு இருக்க வேண்டும். எனவே, அழுத்த வேறுபாட்டின் இயற்பியல் அர்த்தம் என்பது, ஒரு தூய்மையான அறையில் உள்ள பல்வேறு இடைவெளிகள் வழியாக ஏற்படும் கசிவு (அல்லது ஊடுருவல்) காற்றுப் பாய்வின் எதிர்ப்பாகும்.