சுத்தமான அறையில் காற்றோட்ட அமைப்பைப் பாதிக்கும் காரணிகள் யாவை?

IC உற்பத்தித் துறையில் சிப் மகசூல் விகிதம், சிப்பில் படிந்துள்ள காற்றுத் துகள்களின் அளவு மற்றும் எண்ணிக்கையுடன் நெருக்கமாக தொடர்புடையது. ஒரு நல்ல காற்றோட்ட அமைப்பு, தூசி மூலத்தால் உருவாக்கப்படும் துகள்களை சுத்தமான அறையிலிருந்து அகற்றி, சுத்தமான அறையின் தூய்மையை உறுதிசெய்ய முடியும், அதாவது, சுத்தமான அறையில் உள்ள காற்றோட்ட அமைப்பு, IC உற்பத்தியின் மகசூல் விகிதத்தில் முக்கிய பங்கு வகிக்கிறது. சுத்தமான அறையில் காற்றோட்ட அமைப்பின் வடிவமைப்பு பின்வரும் இலக்குகளை அடைய வேண்டும்: தீங்கு விளைவிக்கும் துகள்கள் தக்கவைத்துக்கொள்வதைத் தவிர்க்க ஓட்டப் புலத்தில் சுழல் மின்னோட்டத்தைக் குறைக்க அல்லது நீக்க; குறுக்கு மாசுபாட்டைத் தடுக்க பொருத்தமான நேர்மறை அழுத்த சாய்வைப் பராமரிக்கவும்.

காற்று ஓட்ட விசை

சுத்தமான அறைக் கொள்கையின்படி, துகள்களில் செயல்படும் விசைகளில் நிறை விசை, மூலக்கூறு விசை, துகள்களுக்கு இடையிலான ஈர்ப்பு விசை, காற்றோட்ட விசை போன்றவை அடங்கும்.

காற்றோட்ட விசை: விநியோகம், திரும்பும் காற்றோட்டம், வெப்ப வெப்பச்சலனம், செயற்கை கிளறல் மற்றும் துகள்களைச் சுமந்து செல்லும் ஒரு குறிப்பிட்ட ஓட்ட விகிதத்துடன் கூடிய பிற காற்றோட்டங்களால் ஏற்படும் காற்றோட்டத்தின் விசையைக் குறிக்கிறது. சுத்தமான அறை சூழலின் தொழில்நுட்பக் கட்டுப்பாட்டிற்கு, காற்றோட்ட விசை மிக முக்கியமான காரணியாகும்.

காற்றோட்ட இயக்கத்தில், துகள்கள் காற்றோட்ட இயக்கத்தை கிட்டத்தட்ட அதே வேகத்தில் பின்பற்றுகின்றன என்பதை சோதனைகள் காட்டுகின்றன. காற்றில் உள்ள துகள்களின் நிலை காற்றோட்ட விநியோகத்தால் தீர்மானிக்கப்படுகிறது. உட்புற துகள்களைப் பாதிக்கும் காற்றோட்டங்களில் முக்கியமாக பின்வருவன அடங்கும்: காற்று விநியோக காற்றோட்டம் (முதன்மை காற்றோட்டம் மற்றும் இரண்டாம் நிலை காற்றோட்டம் உட்பட), மக்கள் நடப்பதால் ஏற்படும் காற்றோட்டம் மற்றும் வெப்ப வெப்பச்சலன காற்றோட்டம் மற்றும் செயல்முறை செயல்பாடு மற்றும் தொழில்துறை உபகரணங்களால் ஏற்படும் காற்றோட்டம். வெவ்வேறு காற்று விநியோக முறைகள், வேக இடைமுகங்கள், ஆபரேட்டர்கள் மற்றும் தொழில்துறை உபகரணங்கள் மற்றும் சுத்தமான அறைகளில் தூண்டப்பட்ட நிகழ்வுகள் அனைத்தும் தூய்மை அளவை பாதிக்கும் காரணிகளாகும்.

காற்றோட்ட அமைப்பை பாதிக்கும் காரணிகள்

1. காற்று விநியோக முறையின் செல்வாக்கு

(1). காற்று விநியோக வேகம்

சீரான காற்றோட்டத்தை உறுதி செய்ய, ஒரு திசை சார்ந்த சுத்தமான அறையில் காற்று விநியோக வேகம் சீரானதாக இருக்க வேண்டும்; காற்று விநியோக மேற்பரப்பின் இறந்த மண்டலம் சிறியதாக இருக்க வேண்டும்; மேலும் ULPA இல் அழுத்தம் வீழ்ச்சியும் சீரானதாக இருக்க வேண்டும்.

சீரான காற்று விநியோக வேகம்: அதாவது, காற்றோட்டத்தின் சீரற்ற தன்மை ±20% க்குள் கட்டுப்படுத்தப்படுகிறது.

காற்று விநியோக மேற்பரப்பில் குறைவான இறந்த மண்டலம்: ULPA சட்டத்தின் தளப் பகுதியைக் குறைப்பது மட்டுமல்லாமல், மிக முக்கியமாக, தேவையற்ற சட்டகத்தை எளிமைப்படுத்த மட்டுப்படுத்தப்பட்ட FFU ஏற்றுக்கொள்ளப்பட வேண்டும்.

செங்குத்து ஒருதிசை காற்றோட்டத்தை உறுதி செய்வதற்கு, வடிகட்டியின் அழுத்த வீழ்ச்சி தேர்வும் மிகவும் முக்கியமானது, இதனால் வடிகட்டியில் உள்ள அழுத்தம் இழப்பு விலகக்கூடாது.

(2). FFU அமைப்புக்கும் அச்சு ஓட்ட விசிறி அமைப்புக்கும் இடையிலான ஒப்பீடு.

FFU என்பது ஒரு விசிறி மற்றும் வடிகட்டி (ULPA) கொண்ட ஒரு காற்று விநியோக அலகு ஆகும். FFU இன் மையவிலக்கு விசிறியால் காற்று உறிஞ்சப்பட்ட பிறகு, டைனமிக் அழுத்தம் காற்று குழாயில் நிலையான அழுத்தமாக மாற்றப்பட்டு ULPA ஆல் சமமாக வெளியேற்றப்படுகிறது. கூரையில் உள்ள காற்று விநியோக அழுத்தம் எதிர்மறை அழுத்தமாகும், இதனால் வடிகட்டி மாற்றப்படும்போது சுத்தமான அறைக்குள் எந்த தூசியும் கசியாது. காற்று வெளியேறும் சீரான தன்மை, காற்றோட்ட இணைத்தன்மை மற்றும் காற்றோட்டம் திறன் குறியீட்டின் அடிப்படையில் FFU அமைப்பு அச்சு ஓட்ட விசிறி அமைப்பை விட உயர்ந்தது என்பதை சோதனைகள் காட்டுகின்றன. ஏனெனில் FFU அமைப்பின் காற்றோட்ட இணைத்தன்மை சிறந்தது. FFU அமைப்பின் பயன்பாடு சுத்தமான அறையில் காற்றோட்டத்தை சிறப்பாக ஒழுங்கமைக்க முடியும்.

(3). FFU-வின் சொந்த அமைப்பின் செல்வாக்கு

FFU முக்கியமாக மின்விசிறிகள், வடிகட்டிகள், காற்றோட்ட வழிகாட்டி சாதனங்கள் மற்றும் பிற கூறுகளைக் கொண்டுள்ளது. அல்ட்ரா-ஹை எஃபிஷியன்சி வடிகட்டி ULPA என்பது சுத்தமான அறை வடிவமைப்பின் தேவையான தூய்மையை அடைய முடியுமா என்பதற்கான மிக முக்கியமான உத்தரவாதமாகும். வடிகட்டியின் பொருள் ஓட்டப் புலத்தின் சீரான தன்மையையும் பாதிக்கும். ஒரு கரடுமுரடான வடிகட்டி பொருள் அல்லது ஒரு லேமினார் ஓட்டத் தகடு வடிகட்டி கடையில் சேர்க்கப்படும்போது, ​​கடைப் பாய்வுப் புலத்தை எளிதாக சீரானதாக மாற்ற முடியும்.

2. தூய்மையின் வெவ்வேறு வேக இடைமுகங்களின் தாக்கம்

ULPA வெளியீட்டில் காற்றின் வேகத்தில் உள்ள வேறுபாட்டின் காரணமாக, செங்குத்து ஒற்றை திசை ஓட்டத்தின் வேலை செய்யும் பகுதிக்கும் வேலை செய்யாத பகுதிக்கும் இடையில் உள்ள அதே சுத்தமான அறையில், இடைமுகத்தில் ஒரு கலப்பு சுழல் விளைவு உருவாக்கப்படும், மேலும் இந்த இடைமுகம் குறிப்பாக அதிக காற்று கொந்தளிப்பு தீவிரத்துடன் கொந்தளிப்பான காற்று ஓட்ட மண்டலமாக மாறும். துகள்கள் உபகரணங்களின் மேற்பரப்புக்கு பரவி உபகரணங்கள் மற்றும் செதில்களை மாசுபடுத்தலாம்.

3. ஊழியர்கள் மற்றும் உபகரணங்களின் தாக்கம்

சுத்தமான அறை காலியாக இருக்கும்போது, ​​அறையில் உள்ள காற்று ஓட்ட பண்புகள் பொதுவாக வடிவமைப்புத் தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்கின்றன. உபகரணங்கள் சுத்தமான அறைக்குள் நுழைந்ததும், பணியாளர்கள் நகர்ந்து பொருட்கள் கடத்தப்பட்டதும், காற்று ஓட்ட அமைப்புக்கு தவிர்க்க முடியாமல் தடைகள் ஏற்படும். எடுத்துக்காட்டாக, உபகரணங்களின் நீண்டுகொண்டிருக்கும் மூலைகளிலோ அல்லது விளிம்புகளிலோ, வாயு ஒரு கொந்தளிப்பான மண்டலத்தை உருவாக்க திருப்பிவிடப்படும், மேலும் மண்டலத்தில் உள்ள திரவம் வாயுவால் எளிதில் எடுத்துச் செல்லப்படாது, இதனால் மாசு ஏற்படுகிறது. அதே நேரத்தில், தொடர்ச்சியான செயல்பாட்டின் காரணமாக உபகரணங்களின் மேற்பரப்பு வெப்பமடையும், மேலும் வெப்பநிலை சாய்வு இயந்திரத்திற்கு அருகில் ஒரு மறு ஓட்ட மண்டலத்தை ஏற்படுத்தும், இது மறு ஓட்ட மண்டலத்தில் துகள்களின் திரட்சியை அதிகரிக்கும். அதே நேரத்தில், அதிக வெப்பநிலை துகள்கள் எளிதில் வெளியேற வழிவகுக்கும். இரட்டை விளைவு ஒட்டுமொத்த செங்குத்து லேமினார் தூய்மையைக் கட்டுப்படுத்துவதில் உள்ள சிரமத்தை அதிகரிக்கிறது. சுத்தமான அறையில் உள்ள ஆபரேட்டர்களிடமிருந்து வரும் தூசி இந்த மறு ஓட்ட மண்டலங்களில் உள்ள வேஃபர்களில் ஒட்டிக்கொள்வது மிகவும் எளிதானது.

4. திரும்பும் காற்றுத் தளத்தின் தாக்கம்

தரை வழியாகச் செல்லும் திரும்பும் காற்றின் எதிர்ப்பு வேறுபட்டால், அழுத்த வேறுபாடு உருவாக்கப்படும், இதனால் காற்று குறைந்த எதிர்ப்பின் திசையில் பாயும், மேலும் சீரான காற்றோட்டம் கிடைக்காது. தற்போதைய பிரபலமான வடிவமைப்பு முறை உயர்ந்த தளங்களைப் பயன்படுத்துவதாகும். உயர்ந்த தளங்களின் திறப்பு விகிதம் 10% ஆக இருக்கும்போது, ​​அறையின் வேலை உயரத்தில் காற்றோட்ட வேகத்தை சமமாக விநியோகிக்க முடியும். கூடுதலாக, தரையின் மாசு மூலத்தைக் குறைக்க சுத்தம் செய்யும் பணிகளில் கடுமையான கவனம் செலுத்தப்பட வேண்டும்.

5. தூண்டல் நிகழ்வு

தூண்டல் நிகழ்வு என்று அழைக்கப்படுவது, சீரான ஓட்டத்திற்கு எதிர் திசையில் காற்றோட்டம் உருவாகும் நிகழ்வைக் குறிக்கிறது, மேலும் அறையில் உருவாகும் தூசி அல்லது அருகிலுள்ள மாசுபட்ட பகுதியில் உள்ள தூசி மேல்நோக்கி காற்று வீசும் பக்கத்திற்கு தூண்டப்படுகிறது, இதனால் தூசி சிப்பை மாசுபடுத்தும். பின்வரும் சாத்தியமான தூண்டல் நிகழ்வுகள்:

(1). குருட்டுத் தட்டு

செங்குத்து ஒருதிசை ஓட்டம் கொண்ட ஒரு சுத்தமான அறையில், சுவரில் உள்ள மூட்டுகள் காரணமாக, பொதுவாக பெரிய குருட்டுத் தகடுகள் உள்ளன, அவை உள்ளூர் திரும்பும் ஓட்டத்தில் கொந்தளிப்பை உருவாக்கும்.

(2). விளக்குகள்

சுத்தமான அறையில் உள்ள விளக்கு சாதனங்கள் அதிக தாக்கத்தை ஏற்படுத்தும். ஃப்ளோரசன்ட் விளக்குகளின் வெப்பம் காற்றோட்டத்தை அதிகரிப்பதால், ஃப்ளோரசன்ட் விளக்குகளின் கீழ் கொந்தளிப்பான பகுதி இருக்காது. பொதுவாக, சுத்தமான அறையில் உள்ள விளக்குகள் காற்று ஓட்ட அமைப்பில் விளக்குகளின் தாக்கத்தைக் குறைக்க கண்ணீர் துளி வடிவத்தில் வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளன.

(3.) சுவர்களுக்கு இடையிலான இடைவெளிகள்

வெவ்வேறு தூய்மை நிலைகளைக் கொண்ட பகிர்வுகளுக்கு இடையில் அல்லது பகிர்வுகள் மற்றும் கூரைகளுக்கு இடையில் இடைவெளிகள் இருக்கும்போது, ​​குறைந்த தூய்மைத் தேவைகளைக் கொண்ட பகுதியிலிருந்து தூசி, அதிக தூய்மைத் தேவைகளைக் கொண்ட அருகிலுள்ள பகுதிக்கு மாற்றப்படும்.

(4). இயந்திரத்திற்கும் தரை அல்லது சுவருக்கும் இடையிலான தூரம்

இயந்திரத்திற்கும் தரை அல்லது சுவருக்கும் இடையிலான இடைவெளி மிகச் சிறியதாக இருந்தால், அது மீள் எழுச்சி கொந்தளிப்பை ஏற்படுத்தும். எனவே, உபகரணங்களுக்கும் சுவருக்கும் இடையில் ஒரு இடைவெளி விட்டு, இயந்திரம் நேரடியாக தரையைத் தொடுவதைத் தவிர்க்க இயந்திரத்தை உயர்த்தவும்.