தூய்மை அறையில் காற்றோட்ட அமைப்பைப் பாதிக்கும் காரணிகள் யாவை?

ஐசி உற்பத்தித் துறையில் சிப்பின் உற்பத்தி விகிதமானது, சிப்பின் மீது படியும் காற்றுத் துகள்களின் அளவு மற்றும் எண்ணிக்கையுடன் நெருங்கிய தொடர்புடையது. ஒரு நல்ல காற்றோட்ட அமைப்பானது, தூசி மூலத்தால் உருவாகும் துகள்களைத் தூய்மை அறையிலிருந்து வெளியேற்றி, அந்த அறையின் தூய்மையை உறுதி செய்கிறது. அதாவது, ஐசி உற்பத்தியின் உற்பத்தி விகிதத்தில் தூய்மை அறையின் காற்றோட்ட அமைப்பு ஒரு முக்கியப் பங்கு வகிக்கிறது. தூய்மை அறையின் காற்றோட்ட அமைப்பின் வடிவமைப்பு பின்வரும் இலக்குகளை அடைய வேண்டும்: தீங்கு விளைவிக்கும் துகள்கள் தேங்குவதைத் தவிர்க்க, பாய்வுப் புலத்தில் உள்ள சுழல் நீரோட்டத்தைக் குறைத்தல் அல்லது நீக்குதல்; குறுக்கு மாசுபடுதலைத் தடுக்க, பொருத்தமான நேர்மறை அழுத்தச் சரிவைப் பராமரித்தல்.

காற்று ஓட்ட விசை

தூய்மை அறை கொள்கையின்படி, துகள்கள் மீது செயல்படும் விசைகளில் நிறை விசை, மூலக்கூறு விசை, துகள்களுக்கு இடையேயான ஈர்ப்பு விசை, காற்றோட்ட விசை போன்றவை அடங்கும்.

காற்றோட்ட விசை: துகள்களைக் கொண்டு செல்வதற்காக, ஒரு குறிப்பிட்ட பாய்வு விகிதத்துடன் செயல்படும் விநியோகக் காற்றோட்டம், திரும்பும் காற்றோட்டம், வெப்பச் சுழற்சிக் காற்றோட்டம், செயற்கைக் கலக்கல் மற்றும் பிற காற்றோட்டங்களால் ஏற்படும் விசையைக் குறிக்கிறது. தூய்மை அறைச் சூழலின் தொழில்நுட்பக் கட்டுப்பாட்டிற்கு, காற்றோட்ட விசை மிக முக்கியமான காரணியாகும்.

காற்றோட்ட இயக்கத்தில், துகள்கள் ஏறக்குறைய அதே வேகத்தில் காற்றோட்ட இயக்கத்தைப் பின்பற்றுகின்றன என்று சோதனைகள் நிரூபித்துள்ளன. காற்றில் உள்ள துகள்களின் நிலை, காற்றோட்டப் பரவலால் தீர்மானிக்கப்படுகிறது. உட்புறத் துகள்களைப் பாதிக்கும் காற்றோட்டங்களில் முக்கியமாக அடங்குபவை: காற்று விநியோகக் காற்றோட்டம் (முதன்மை மற்றும் இரண்டாம் நிலை காற்றோட்டம் உட்பட), மக்கள் நடப்பதால் ஏற்படும் காற்றோட்டம் மற்றும் வெப்பச் சுழற்சிக் காற்றோட்டம், மற்றும் செயல்முறை இயக்கம் மற்றும் தொழில்துறை உபகரணங்களால் ஏற்படும் காற்றோட்டம். வெவ்வேறு காற்று விநியோக முறைகள், வேக இடைமுகங்கள், இயக்குபவர்கள் மற்றும் தொழில்துறை உபகரணங்கள், மற்றும் தூய்மையான அறைகளில் தூண்டப்படும் நிகழ்வுகள் ஆகிய அனைத்தும் தூய்மையின் அளவைப் பாதிக்கும் காரணிகளாகும்.

காற்றோட்ட அமைப்பைப் பாதிக்கும் காரணிகள்

1. காற்று விநியோக முறையின் தாக்கம்

(1). காற்று விநியோக வேகம்

சீரான காற்றோட்டத்தை உறுதிசெய்ய, ஒருவழித் தூய்மை அறையில் காற்று விநியோக வேகம் சீராக இருக்க வேண்டும்; காற்று விநியோகப் பரப்பின் செயலற்ற பகுதி சிறியதாக இருக்க வேண்டும்; மேலும், ஒருவழித் தூய்மையாக்கியில் (ULPA) ஏற்படும் அழுத்த வீழ்ச்சியும் சீராக இருக்க வேண்டும்.

சீரான காற்று விநியோக வேகம்: அதாவது, காற்றோட்டத்தின் சீரற்ற தன்மை ±20% வரம்பிற்குள் கட்டுப்படுத்தப்படுகிறது.

காற்று விநியோகப் பரப்பில் செயலற்ற மண்டலத்தைக் குறைத்தல்: ULPA சட்டகத்தின் தளப் பரப்பைக் குறைப்பது மட்டுமல்லாமல், மிக முக்கியமாக, தேவையற்ற சட்டகத்தை எளிமைப்படுத்த மாடுலர் FFU முறையைப் பயன்படுத்த வேண்டும்.

செங்குத்தான ஒருவழி காற்றோட்டத்தை உறுதிசெய்ய, வடிகட்டியின் அழுத்த இழப்புத் தேர்வும் மிகவும் முக்கியமானது, மேலும் வடிகட்டியில் ஏற்படும் அழுத்த இழப்பு விலகக் கூடாது என்பதும் அவசியமாகும்.

(2). FFU அமைப்பு மற்றும் அச்சுவழி பாய்வு விசிறி அமைப்பு ஆகியவற்றுக்கு இடையேயான ஒப்பீடு

FFU என்பது ஒரு விசிறி மற்றும் ஒரு வடிகட்டி (ULPA) கொண்ட ஒரு காற்று வழங்கும் அலகு ஆகும். FFU-வின் மையவிலக்கு விசிறியால் காற்று உள்ளிழுக்கப்பட்ட பிறகு, காற்றுக் குழாயில் உள்ள இயக்க அழுத்தம் நிலை அழுத்தமாக மாற்றப்பட்டு, ULPA-வால் சீராக வெளியேற்றப்படுகிறது. கூரையின் மீதான காற்று வழங்கும் அழுத்தம் எதிர்மறை அழுத்தமாக இருப்பதால், வடிகட்டியை மாற்றும்போது சுத்தமான அறைக்குள் தூசி கசியாது. காற்று வெளியேறும் சீரான தன்மை, காற்றோட்ட இணைகோட்டுத்தன்மை மற்றும் காற்றோட்டத் திறன் குறியீடு ஆகியவற்றின் அடிப்படையில், FFU அமைப்பானது அச்சுவழிப் பாய்வு விசிறி அமைப்பை விடச் சிறந்தது என்று சோதனைகள் நிரூபித்துள்ளன. இதற்குக் காரணம், FFU அமைப்பின் காற்றோட்ட இணைகோட்டுத்தன்மை சிறப்பாக இருப்பதே ஆகும். FFU அமைப்பின் பயன்பாடு, சுத்தமான அறையில் காற்றோட்டத்தைச் சிறப்பாக ஒழுங்கமைக்க உதவும்.

(3). FFU இன் சொந்த கட்டமைப்பின் செல்வாக்கு

FFU முக்கியமாக விசிறிகள், வடிகட்டிகள், காற்றோட்ட வழிகாட்டி சாதனங்கள் மற்றும் பிற கூறுகளால் ஆனது. மிக அதிக செயல்திறன் கொண்ட ULPA வடிகட்டியே, சுத்தமான அறையானது வடிவமைப்பிற்குத் தேவையான தூய்மையை அடைய முடியுமா என்பதற்கான மிக முக்கியமான உத்தரவாதமாகும். வடிகட்டியின் பொருளும் பாய்வுப் புலத்தின் சீரான தன்மையைப் பாதிக்கும். வடிகட்டியின் வெளியேறும் பகுதியில் ஒரு கரடுமுரடான வடிகட்டிப் பொருளோ அல்லது ஒரு மென் பாய்வுத் தகட்டோ சேர்க்கப்படும்போது, ​​வெளியேறும் பாய்வுப் புலத்தை எளிதாகச் சீராக்க முடியும்.

2. தூய்மையின் வெவ்வேறு வேக இடைமுகங்களின் தாக்கம்

அதே தூய்மையான அறையில், செங்குத்தான ஒருவழிப் பாய்வின் செயல்படும் பகுதிக்கும் செயல்படாத பகுதிக்கும் இடையில், ULPA வெளியேறும் இடத்தில் உள்ள காற்றின் வேக வேறுபாட்டின் காரணமாக, அந்த இடைமுகத்தில் ஒரு கலப்புச் சுழல் விளைவு உருவாகும். மேலும் இந்த இடைமுகம், குறிப்பாக அதிக காற்றுச் சுழற்சித் தீவிரம் கொண்ட ஒரு கொந்தளிப்பான காற்றுப் பாய்வு மண்டலமாக மாறும். துகள்கள் உபகரணத்தின் மேற்பரப்பிற்குப் பரவி, உபகரணத்தையும் வேஃபர்களையும் மாசுபடுத்தக்கூடும்.

3. பணியாளர்கள் மற்றும் உபகரணங்களின் தாக்கம்

தூய்மை அறை காலியாக இருக்கும்போது, ​​அறையில் உள்ள காற்றின் ஓட்டப் பண்புகள் பொதுவாக வடிவமைப்புத் தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்கின்றன. உபகரணங்கள் தூய்மை அறைக்குள் நுழைந்தவுடன், பணியாளர்கள் நகர்ந்து, பொருட்கள் அனுப்பப்படும்போது, ​​காற்றின் ஓட்டத்தை ஒழுங்கமைப்பதில் தவிர்க்க முடியாத தடைகள் ஏற்படும். உதாரணமாக, உபகரணத்தின் துருத்திக்கொண்டிருக்கும் மூலைகள் அல்லது விளிம்புகளில், வாயு திசை திருப்பப்பட்டு ஒரு கொந்தளிப்பு மண்டலத்தை உருவாக்கும், மேலும் அந்த மண்டலத்தில் உள்ள திரவத்தை வாயு எளிதில் வெளியேற்ற முடியாததால், மாசுபாடு ஏற்படுகிறது. அதே நேரத்தில், தொடர்ச்சியான செயல்பாட்டின் காரணமாக உபகரணத்தின் மேற்பரப்பு சூடாகும், மேலும் வெப்பநிலை வேறுபாடு இயந்திரத்திற்கு அருகில் ஒரு மறுபாய்ச்சல் மண்டலத்தை உருவாக்கும், இது மறுபாய்ச்சல் மண்டலத்தில் துகள்கள் குவிவதை அதிகரிக்கும். அதே சமயம், அதிக வெப்பநிலை துகள்கள் எளிதில் வெளியேறவும் காரணமாகும். இந்த இரட்டை விளைவு, ஒட்டுமொத்த செங்குத்து லேமினார் தூய்மையைக் கட்டுப்படுத்துவதில் உள்ள சிரமத்தை அதிகரிக்கிறது. தூய்மை அறையில் உள்ள இயக்குபவர்களிடமிருந்து வரும் தூசி, இந்த மறுபாய்ச்சல் மண்டலங்களில் உள்ள வேஃபர்களில் மிக எளிதாக ஒட்டிக்கொள்கிறது.

4. திரும்பும் காற்றுத் தளத்தின் தாக்கம்

தரை வழியாகச் செல்லும் திரும்பும் காற்றின் எதிர்ப்பு வேறுபடும்போது, ​​ஒரு அழுத்த வேறுபாடு உருவாகும். அதனால், காற்று குறைந்த எதிர்ப்பு உள்ள திசையில் பாயும், மேலும் சீரான காற்றோட்டம் கிடைக்காது. தற்போதைய பிரபலமான வடிவமைப்பு முறை, உயர்த்தப்பட்ட தளங்களைப் பயன்படுத்துவதாகும். உயர்த்தப்பட்ட தளங்களின் திறப்பு விகிதம் 10% ஆக இருக்கும்போது, ​​அறையின் பணிபுரியும் உயரத்தில் காற்றோட்ட வேகத்தைச் சீராகப் பரப்ப முடியும். மேலும், தரையின் மாசு மூலத்தைக் குறைக்க, சுத்தம் செய்யும் பணிகளில் மிகுந்த கவனம் செலுத்தப்பட வேண்டும்.

5. தூண்டல் நிகழ்வு

தூண்டல் நிகழ்வு என்பது, சீரான காற்றோட்டத்திற்கு எதிர் திசையில் காற்று ஓட்டம் உருவாகும்போது, ​​அறையில் உருவாகும் தூசி அல்லது அருகிலுள்ள மாசடைந்த பகுதியில் உள்ள தூசி, காற்று வீசும் திசைக்கு எதிராகத் தூண்டப்பட்டு, அதன்மூலம் அந்தத் தூசி சிப்பை மாசுபடுத்தும் ஒரு நிகழ்வைக் குறிக்கிறது. சாத்தியமான தூண்டல் நிகழ்வுகள் பின்வருமாறு:

(1). குருட்டுத் தகடு

செங்குத்தான ஒருவழிப் பாய்வு கொண்ட ஒரு தூய்மையான அறையில், சுவரில் உள்ள இணைப்புகளின் காரணமாக, உள்ளூர் திரும்பும் பாய்வில் கொந்தளிப்பை உருவாக்கும் பெரிய அடைப்புத் தகடுகள் பொதுவாக இருக்கும்.

(2). விளக்குகள்

தூய்மை அறையில் உள்ள விளக்கு சாதனங்கள் அதிக தாக்கத்தை ஏற்படுத்தும். ஃப்ளோரசன்ட் விளக்குகளின் வெப்பம் காற்றோட்டத்தை மேலே எழச் செய்வதால், ஃப்ளோரசன்ட் விளக்குகளுக்குக் கீழே கொந்தளிப்பான பகுதி இருக்காது. பொதுவாக, காற்றோட்ட ஒழுங்கமைப்பில் விளக்குகளின் தாக்கத்தைக் குறைப்பதற்காக, தூய்மை அறையில் உள்ள விளக்குகள் கண்ணீர்த்துளி வடிவத்தில் வடிவமைக்கப்படுகின்றன.

(3.) சுவர்களுக்கு இடையிலான இடைவெளிகள்

வெவ்வேறு தூய்மை நிலைகளைக் கொண்ட தடுப்புகளுக்கு இடையிலோ அல்லது தடுப்புகளுக்கும் கூரைகளுக்கும் இடையிலோ இடைவெளிகள் இருக்கும்போது, ​​குறைந்த தூய்மைத் தேவை உள்ள பகுதியிலிருந்து தூசியானது, அதிக தூய்மைத் தேவை உள்ள அருகிலுள்ள பகுதிக்கு பரவக்கூடும்.

(4). இயந்திரத்திற்கும் தரை அல்லது சுவருக்கும் இடையிலான தூரம்

இயந்திரத்திற்கும் தரை அல்லது சுவருக்கும் இடையிலான இடைவெளி மிகவும் குறைவாக இருந்தால், அது எதிரொலி கொந்தளிப்பை ஏற்படுத்தும். எனவே, இயந்திரம் நேரடியாகத் தரையைத் தொடுவதைத் தவிர்க்க, இயந்திரத்திற்கும் சுவருக்கும் இடையில் இடைவெளி விட்டு, இயந்திரத்தை உயரமாக வைக்கவும்.