சுத்தமான அறையில் காற்று ஓட்டம் அமைப்பின் செல்வாக்கு செலுத்தும் காரணிகள் யாவை?

சிஐபி உற்பத்தித் துறையில் சிப் மகசூல் சிப்பில் டெபாசிட் செய்யப்படும் காற்று துகள்களின் அளவு மற்றும் எண்ணிக்கையுடன் நெருக்கமாக தொடர்புடையது. நல்ல காற்று ஓட்டம் அமைப்பு தூசி மூலங்களிலிருந்து உருவாக்கப்படும் துகள்களை சுத்தமான அறையிலிருந்து எடுத்துச் சென்று சுத்தமான அறையின் தூய்மையை உறுதி செய்யலாம். அதாவது, சுத்தமான அறையில் உள்ள விமான ஓட்ட அமைப்பு சிப் உற்பத்தியின் விளைச்சலில் முக்கிய பங்கு வகிக்கிறது. சுத்தமான அறை காற்று ஓட்டம் அமைப்பின் வடிவமைப்பில் அடைய வேண்டிய குறிக்கோள்கள்: தீங்கு விளைவிக்கும் துகள்களைத் தக்கவைத்துக்கொள்வதைத் தவிர்ப்பதற்காக ஓட்ட புலத்தில் எடி நீரோட்டங்களைக் குறைக்க அல்லது அகற்ற; குறுக்கு மாசுபாட்டைத் தடுக்க பொருத்தமான நேர்மறை அழுத்த சாய்வைப் பராமரிக்க.

சுத்தமான அறை கொள்கையின்படி, துகள்களில் செயல்படும் சக்திகளில் வெகுஜன சக்தி, மூலக்கூறு சக்தி, துகள்களுக்கு இடையிலான ஈர்ப்பு, காற்று ஓட்டம் சக்தி போன்றவை அடங்கும்.

காற்றோட்டப் படை: வழங்கல் மற்றும் வருவாய் காற்றோட்டத்தால் ஏற்படும் காற்றோட்டத்தின் சக்தியைக் குறிக்கிறது, வெப்ப வெப்பச்சலனம் காற்றோட்டம், செயற்கை கிளர்ச்சி மற்றும் பிற காற்றோட்டங்கள் துகள்களை எடுத்துச் செல்ல ஒரு குறிப்பிட்ட ஓட்ட விகிதத்துடன். சுத்தமான அறை சுற்றுச்சூழல் தொழில்நுட்பக் கட்டுப்பாட்டுக்கு, காற்று ஓட்ட சக்தி மிக முக்கியமான காரணியாகும்.

காற்றோட்டம் இயக்கத்தில், துகள்கள் காற்றோட்டத்தை கிட்டத்தட்ட அதே வேகத்தில் பின்பற்றுகின்றன என்பதை சோதனைகள் காட்டுகின்றன. காற்றில் உள்ள துகள்களின் நிலை காற்றோட்ட விநியோகத்தால் தீர்மானிக்கப்படுகிறது. உட்புற துகள்களில் காற்றோட்டத்தின் முக்கிய விளைவுகள் பின்வருமாறு: காற்று வழங்கல் காற்றோட்டம் (முதன்மை காற்றோட்டம் மற்றும் இரண்டாம் நிலை காற்றோட்டம் உட்பட), மக்கள் நடைபயிற்சி காரணமாக ஏற்படும் காற்றோட்டம் மற்றும் வெப்ப வெப்பச்சலன காற்றோட்டம் மற்றும் செயல்முறை செயல்பாடுகள் மற்றும் தொழில்துறை உபகரணங்களால் ஏற்படும் துகள்களில் காற்றோட்டத்தின் தாக்கம். வெவ்வேறு காற்று வழங்கல் முறைகள், வேக இடைமுகங்கள், ஆபரேட்டர்கள் மற்றும் தொழில்துறை உபகரணங்கள், தூண்டப்பட்ட நிகழ்வுகள் போன்றவை தூய்மையான அறைகளில் உள்ளவை அனைத்தும் தூய்மை அளவை பாதிக்கும் காரணிகள்.

1. காற்று வழங்கல் முறையின் தாக்கம்

(1) காற்று வழங்கல் வேகம்

சீரான காற்று ஓட்டத்தை உறுதி செய்வதற்காக, ஒருதலைப்பட்ச ஓட்டம் சுத்தமான அறையில் காற்று விநியோக வேகம் ஒரே மாதிரியாக இருக்க வேண்டும்; காற்று விநியோக மேற்பரப்பில் இறந்த மண்டலம் சிறியதாக இருக்க வேண்டும்; ஹெபா வடிப்பானுக்குள் அழுத்தம் வீழ்ச்சியும் ஒரே மாதிரியாக இருக்க வேண்டும்.

காற்று விநியோக வேகம் சீரானது: அதாவது, காற்று ஓட்டத்தின் சீரற்ற தன்மை ± 20%க்குள் கட்டுப்படுத்தப்படுகிறது.

காற்று விநியோக மேற்பரப்பில் குறைவான இறந்த இடம் உள்ளது: ஹெபா சட்டத்தின் விமானப் பகுதியைக் குறைக்க வேண்டும் என்பது மட்டுமல்லாமல், மிக முக்கியமாக, தேவையற்ற சட்டத்தை எளிமைப்படுத்த மட்டு FFU பயன்படுத்தப்பட வேண்டும்.

காற்று ஓட்டம் செங்குத்து மற்றும் ஒருதலைப்பட்சமாக இருப்பதை உறுதி செய்வதற்காக, வடிப்பானின் அழுத்தம் வீழ்ச்சி தேர்வும் மிகவும் முக்கியமானது, மேலும் வடிப்பானுக்குள் உள்ள அழுத்தம் இழப்பை சார்புடையதாக இருக்க முடியாது.

(2) FFU அமைப்பு மற்றும் அச்சு ஓட்ட விசிறி அமைப்பு ஆகியவற்றுக்கு இடையிலான ஒப்பீடு

FFU என்பது ஒரு விசிறி மற்றும் ஹெபா வடிகட்டி கொண்ட காற்று விநியோக அலகு ஆகும். FFU இன் மையவிலக்கு விசிறியால் காற்று உறிஞ்சப்படுகிறது மற்றும் டைனமிக் அழுத்தத்தை காற்று குழாயில் நிலையான அழுத்தமாக மாற்றுகிறது. இது ஹெபா வடிகட்டியால் சமமாக வீசப்படுகிறது. கூரையில் காற்று விநியோக அழுத்தம் எதிர்மறை அழுத்தம். வடிகட்டியை மாற்றும்போது இந்த வழியில் எந்த தூசியும் சுத்தமான அறைக்குள் கசியாது. ஏர் கடையின் சீரான தன்மை, காற்று ஓட்டம் இணையான தன்மை மற்றும் காற்றோட்டம் செயல்திறன் குறியீடு ஆகியவற்றின் அடிப்படையில் எஃப்.எஃப்.யூ அமைப்பு அச்சு ஓட்ட விசிறி அமைப்பை விட உயர்ந்தது என்று சோதனைகள் காட்டுகின்றன. ஏனென்றால், FFU அமைப்பின் காற்று ஓட்டம் இணையானது சிறந்தது. FFU அமைப்பின் பயன்பாடு சுத்தமான அறையில் காற்று ஓட்ட அமைப்பை மேம்படுத்தலாம்.

(3) FFU இன் சொந்த கட்டமைப்பின் செல்வாக்கு

FFU முக்கியமாக ரசிகர்கள், வடிப்பான்கள், காற்று ஓட்ட வழிகாட்டிகள் மற்றும் பிற கூறுகளால் ஆனது. வடிவமைப்பால் தேவையான தூய்மையை அடைய சுத்தமான அறைக்கு HEPA வடிகட்டி மிக முக்கியமான உத்தரவாதமாகும். வடிகட்டியின் பொருள் ஓட்ட புலத்தின் சீரான தன்மையையும் பாதிக்கும். வடிகட்டி கடையில் ஒரு தோராயமான வடிகட்டி பொருள் அல்லது ஒரு ஓட்ட தட்டு சேர்க்கப்படும்போது, ​​கடையின் ஓட்டம் புலம் எளிதில் சீரானதாக மாற்றப்படலாம்.

2. வெவ்வேறு தூய்மையுடன் வேக இடைமுகத்தின் தாக்கம்

அதே சுத்தமான அறையில், வேலை செய்யும் பகுதிக்கும், செங்குத்து ஒருதலைப்பட்ச ஓட்டத்துடன் வேலை செய்யாத பகுதிக்கும் இடையில், ஹெபா பெட்டியில் காற்று வேகத்தில் உள்ள வேறுபாடு காரணமாக, கலப்பு சுழல் விளைவு இடைமுகத்தில் ஏற்படும், மேலும் இந்த இடைமுகம் கொந்தளிப்பாக மாறும் காற்றோட்டம் மண்டலம். காற்று கொந்தளிப்பின் தீவிரம் குறிப்பாக வலுவானது, மேலும் துகள்கள் உபகரண இயந்திரத்தின் மேற்பரப்பில் கடத்தப்பட்டு உபகரணங்கள் மற்றும் செதில்களை மாசுபடுத்தலாம்.

3. ஊழியர்கள் மற்றும் உபகரணங்களில் தாக்கம்

சுத்தமான அறை காலியாக இருக்கும்போது, ​​அறையில் உள்ள காற்று ஓட்ட பண்புகள் பொதுவாக வடிவமைப்பு தேவைகளை பூர்த்தி செய்கின்றன. உபகரணங்கள் சுத்தமான அறைக்குள் நுழைந்ததும், மக்கள் நகர்கின்றனர், மற்றும் தயாரிப்புகள் கொண்டு செல்லப்படுகின்றன, ஏர் ஃப்ளோ அமைப்புக்கு தவிர்க்க முடியாமல் தடைகள் உள்ளன, அதாவது உபகரணங்கள் இயந்திரத்திலிருந்து நீண்டது கூர்மையான புள்ளிகள். மூலைகள் அல்லது விளிம்புகளில், வாயு ஒரு கொந்தளிப்பான ஓட்டப் பகுதியை உருவாக்க திருப்பி விடும், மேலும் இப்பகுதியில் உள்ள திரவம் உள்வரும் வாயுவால் எளிதில் எடுத்துச் செல்லப்படாது, இதனால் மாசுபாடு ஏற்படும்.

அதே நேரத்தில், தொடர்ச்சியான செயல்பாடு காரணமாக இயந்திர உபகரணங்களின் மேற்பரப்பு வெப்பமடையும், மேலும் வெப்பநிலை சாய்வு இயந்திரத்தின் அருகே ஒரு ரிஃப்ளோ பகுதியை ஏற்படுத்தும், இது ரிஃப்ளோ பகுதியில் துகள்கள் குவிவதை அதிகரிக்கிறது. அதே நேரத்தில், அதிக வெப்பநிலை துகள்கள் தப்பிக்க எளிதில் வழிவகுக்கும். இரட்டை விளைவு ஒட்டுமொத்த செங்குத்து அடுக்கை தீவிரப்படுத்துகிறது. ஸ்ட்ரீம் தூய்மையை கட்டுப்படுத்துவதில் சிரமம். சுத்தமான அறையில் உள்ள ஆபரேட்டர்களிடமிருந்து வரும் தூசி இந்த ரிஃப்ளோ பகுதிகளில் செதில்களை எளிதில் கடைபிடிக்க முடியும்.

4. திரும்பும் விமான தளத்தின் தாக்கம்

தரையில் கடந்து செல்லும் திரும்பும் காற்றின் எதிர்ப்பு வேறுபட்டால், அழுத்தம் வேறுபாடு ஏற்படும், இதனால் சிறிய எதிர்ப்பின் திசையில் காற்று பாயும், மற்றும் சீரான காற்று ஓட்டம் பெறப்படாது. தற்போதைய பிரபலமான வடிவமைப்பு முறை ஒரு உயர்ந்த தளத்தைப் பயன்படுத்துவதாகும். உயர்த்தப்பட்ட தளத்தின் தொடக்க விகிதம் 10%ஆக இருக்கும்போது, ​​காற்று ஓட்ட வேகம் உட்புற வேலை உயரத்தில் சமமாக விநியோகிக்கப்படலாம். கூடுதலாக, தரையில் மாசுபாட்டின் மூலத்தைக் குறைக்க துப்புரவு பணிகளில் கடுமையான கவனம் செலுத்தப்பட வேண்டும்.

5. தூண்டல் நிகழ்வு

தூண்டல் நிகழ்வு என்று அழைக்கப்படுவது, சீரான ஓட்டத்திற்கு எதிர் திசையில் காற்றோட்டத்தை உருவாக்கும் நிகழ்வைக் குறிக்கிறது, அறையில் உருவாகும் தூசியை அருகிலுள்ள அசுத்தமான பகுதிகளில் மேலே உள்ள பக்கத்திற்கு தூண்டுகிறது, இதனால் தூசி மிர்தலை மாசுபடுத்துகிறது. சாத்தியமான தூண்டப்பட்ட நிகழ்வுகள் பின்வருவனவற்றை உள்ளடக்குகின்றன:

(1) குருட்டு தட்டு

செங்குத்து ஒரு வழி ஓட்டத்துடன் கூடிய சுத்தமான அறையில், சுவரில் உள்ள மூட்டுகள் காரணமாக, பொதுவாக பெரிய குருட்டு பேனல்கள் உள்ளன, அவை கொந்தளிப்பான ஓட்டம் மற்றும் உள்ளூர் பின்னடைவை உருவாக்கும்.

(2) விளக்குகள்

சுத்தமான அறையில் லைட்டிங் சாதனங்கள் அதிக தாக்கத்தை ஏற்படுத்தும். ஃப்ளோரசன்ட் விளக்கின் வெப்பம் காற்றோட்டத்தை அதிகரிப்பதால், ஃப்ளோரசன்ட் விளக்கு ஒரு கொந்தளிப்பான பகுதியாக மாறாது. பொதுவாக, சுத்தமான அறையில் உள்ள விளக்குகள் காற்றோட்ட அமைப்பில் விளக்குகளின் தாக்கத்தை குறைக்க கண்ணீர் வடிவத்தில் வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளன.

(3) சுவர்களுக்கு இடையிலான இடைவெளிகள்

வெவ்வேறு தூய்மைத் தேவைகளைக் கொண்ட பகிர்வு சுவர்கள் அல்லது கூரைகளுக்கு இடையில் இடைவெளிகள் இருக்கும்போது, ​​குறைந்த தூய்மைத் தேவைகள் உள்ள பகுதிகளிலிருந்து தூசி அதிக தூய்மைத் தேவைகளுடன் அருகிலுள்ள பகுதிகளுக்கு மாற்றப்படலாம்.

(4) இயந்திர உபகரணங்களுக்கும் தளம் அல்லது சுவருக்கும் இடையிலான தூரம்

இயந்திர உபகரணங்களுக்கும் தரை அல்லது சுவருக்கும் இடையிலான இடைவெளி சிறியதாக இருந்தால், மீளுருவாக்கம் கொந்தளிப்பு ஏற்படும். எனவே, உபகரணங்களுக்கும் சுவருக்கும் இடையில் ஒரு இடைவெளியை விட்டுவிட்டு, தரையுடன் நேரடி தொடர்பைத் தவிர்க்க இயந்திர தளத்தை உயர்த்தவும்.