தூய்மை அறையில் தூய்மையை அடைவதற்கான தேவைகள் என்ன?

தூய்மை அறைகள், தூசியற்ற அறைகள் என்றும் அழைக்கப்படுகின்றன. ஒரு குறிப்பிட்ட இடத்திற்குள் உள்ள தூசித் துகள்கள், தீங்கு விளைவிக்கும் காற்று மற்றும் பாக்டீரியா போன்ற மாசுபடுத்திகளை வெளியேற்றுவதற்கும், மேலும் உள்ளக வெப்பநிலை, தூய்மை, உள்ளக அழுத்தம், காற்றோட்ட வேகம் மற்றும் காற்றோட்டப் பரவல், இரைச்சல், அதிர்வு, ஒளி மற்றும் நிலைமின்சாரம் ஆகியவற்றை ஒரு குறிப்பிட்ட வரம்பிற்குள் கட்டுப்படுத்துவதற்கும் அவை பயன்படுத்தப்படுகின்றன. தூய்மை அறை சுத்திகரிப்பு நடவடிக்கைகளில் தூய்மைத் தேவைகளை அடைவதற்கான நான்கு அவசியமான நிபந்தனைகள் பின்வருமாறு முக்கியமாக விவரிக்கப்பட்டுள்ளன.

1. காற்று விநியோகத்தின் தூய்மை

காற்று விநியோகத்தின் தூய்மை தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்வதை உறுதிசெய்ய, சுத்திகரிப்பு அமைப்பின் இறுதி வடிகட்டியின் செயல்திறனும் நிறுவலுமே முக்கியமாகும். தூய்மை அறை அமைப்பின் இறுதி வடிகட்டியானது பொதுவாக ஹெப்பா வடிகட்டி அல்லது சப்-ஹெப்பா வடிகட்டியைப் பயன்படுத்துகிறது. தேசிய தரநிலைகளின்படி, ஹெப்பா வடிகட்டிகளின் செயல்திறன் நான்கு தரங்களாகப் பிரிக்கப்பட்டுள்ளது: தரம் A என்பது ≥99.9%, தரம் B என்பது ≥99.99%, தரம் C என்பது ≥99.999%, தரம் D என்பது (≥0.1μm துகள்களுக்கு) ≥99.999% (அல்ட்ரா-ஹெப்பா வடிகட்டிகள் என்றும் அழைக்கப்படுகிறது); சப்-ஹெப்பா வடிகட்டிகள் (≥0.5μm துகள்களுக்கு) 95~99.9% ஆகும்.

2. காற்றோட்ட அமைப்பு

ஒரு சுத்தமான அறையின் காற்றோட்ட அமைப்பு, ஒரு பொதுவான குளிரூட்டப்பட்ட அறையின் காற்றோட்ட அமைப்பிலிருந்து வேறுபட்டது. மிகவும் சுத்தமான காற்று முதலில் இயக்கப் பகுதிக்கு வழங்கப்பட வேண்டும். பதப்படுத்தப்படும் பொருட்களின் மாசுபாட்டைக் கட்டுப்படுத்துவதும் குறைப்பதும் இதன் செயல்பாடாகும். வெவ்வேறு காற்றோட்ட அமைப்புகள் அவற்றின் சொந்த குணாதிசயங்களையும் நோக்கங்களையும் கொண்டுள்ளன: செங்குத்து ஒருவழிப் பாய்வு: இவை இரண்டுமே சீரான கீழ்நோக்கிய காற்றோட்டத்தைப் பெற முடியும், செயல்முறை உபகரணங்களின் அமைப்பை எளிதாக்குகின்றன, வலுவான சுய-சுத்திகரிப்பு திறனைக் கொண்டுள்ளன, மேலும் தனிப்பட்ட சுத்தமான அறை வசதிகள் போன்ற பொதுவான வசதிகளை எளிதாக்க முடியும். நான்கு காற்று விநியோக முறைகளும் அவற்றின் சொந்த நன்மைகள் மற்றும் தீமைகளைக் கொண்டுள்ளன: முழுமையாக மூடப்பட்ட ஹெப்பா வடிகட்டிகள் குறைந்த எதிர்ப்பு மற்றும் நீண்ட வடிகட்டி மாற்று சுழற்சி போன்ற நன்மைகளைக் கொண்டுள்ளன, ஆனால் கூரை அமைப்பு சிக்கலானது மற்றும் செலவு அதிகம்; பக்கவாட்டில் மூடப்பட்ட ஹெப்பா வடிகட்டி மேல் விநியோகம் மற்றும் முழுத் துளைத் தட்டு மேல் விநியோகம் ஆகியவற்றின் நன்மைகள் மற்றும் தீமைகள், முழுமையாக மூடப்பட்ட ஹெப்பா வடிகட்டி மேல் விநியோகத்திற்கு நேர்மாறானவை. அவற்றுள், முழுத் துளைத் தட்டு மேல் விநியோகமானது, அமைப்பு தொடர்ச்சியாக இயங்காதபோது துளைத் தட்டின் உள் மேற்பரப்பில் தூசி படிவதற்கு வாய்ப்புள்ளது, மேலும் முறையற்ற பராமரிப்பு தூய்மையில் சில பாதிப்புகளை ஏற்படுத்தும்; அடர்த்தியான டிஃப்யூசர் மூலம் மேல்நோக்கிக் காற்று வழங்கும் முறைக்கு ஒரு கலவை அடுக்கு தேவைப்படுகிறது, எனவே இது 4 மீட்டருக்கும் அதிகமான உயரமுள்ள சுத்தமான அறைகளுக்கு மட்டுமே பொருத்தமானது, மேலும் இதன் பண்புகள் முழுத் துளைத் தகடு மூலம் மேல்நோக்கிக் காற்று வழங்கும் முறையின் பண்புகளை ஒத்திருக்கின்றன; இருபுறமும் கிரில்கள் கொண்ட தகடுகள் மற்றும் இருபுறமும் சுவர்களின் அடிப்பகுதியில் சமமாக அமைக்கப்பட்ட ரிட்டர்ன் ஏர் அவுட்லெட்களைக் கொண்ட ரிட்டர்ன் ஏர் முறையானது, இருபுறமும் 6 மீட்டருக்கும் குறைவான நிகர இடைவெளி கொண்ட சுத்தமான அறைகளுக்கு மட்டுமே பொருத்தமானது; ஒரு பக்கச் சுவரின் அடிப்பகுதியில் உள்ள ரிட்டர்ன் ஏர் அவுட்லெட்கள், சுவர்களுக்கு இடையே சிறிய இடைவெளி (≤2~3 மீ போன்றவை) கொண்ட சுத்தமான அறைகளுக்கு மட்டுமே பொருத்தமானது. கிடைமட்ட ஒருவழிப் பாய்வு: முதல் வேலை செய்யும் பகுதி மட்டுமே 100-நிலை தூய்மையை அடைகிறது. காற்று மறுபுறம் பாயும்போது, ​​தூசியின் செறிவு படிப்படியாக அதிகரிக்கிறது. எனவே, ஒரே செயல்முறைக்கு வெவ்வேறு தூய்மைத் தேவைகளைக் கொண்ட சுத்தமான அறைகளுக்கு மட்டுமே இது பொருத்தமானது. காற்று வழங்கும் சுவரில் ஹெப்பா ஃபில்டர்களை உள்ளூரில் விநியோகிப்பது, ஹெப்பா ஃபில்டர்களின் பயன்பாட்டைக் குறைத்து ஆரம்ப முதலீட்டைச் சேமிக்க முடியும், ஆனால் உள்ளூர் பகுதிகளில் சுழல்கள் ஏற்படுகின்றன. கொந்தளிப்பான காற்றோட்டம்: துளைத் தகடுகளின் மேல்நோக்கிய விநியோகம் மற்றும் அடர்த்தியான பரப்பிகளின் மேல்நோக்கிய விநியோகம் ஆகியவற்றின் பண்புகள் மேலே குறிப்பிடப்பட்டவை போலவே உள்ளன. பக்கவாட்டு விநியோகத்தின் நன்மைகள் எளிதான குழாய் அமைப்பு, தொழில்நுட்ப இடைப்படலம் இல்லாமை, குறைந்த செலவு மற்றும் பழைய தொழிற்சாலைகளைப் புதுப்பிப்பதற்கு உகந்தது என்பனவாகும். இதன் தீமைகள் என்னவென்றால், பணிபுரியும் பகுதியில் காற்றின் வேகம் அதிகமாக இருப்பதுடன், காற்று வீசும் திசைக்கு எதிர்த்திசையை விட காற்று வீசும் திசையில் தூசியின் செறிவு அதிகமாக இருக்கும். ஹெப்பா வடிகட்டி வெளியேற்றிகளின் மேல்நோக்கிய விநியோகமானது, எளிமையான அமைப்பு, ஹெப்பா வடிகட்டிக்குப் பின்னால் குழாய்கள் இல்லாமை, மற்றும் சுத்தமான காற்றோட்டம் நேரடியாகப் பணிபுரியும் பகுதிக்குச் சென்றடைதல் போன்ற நன்மைகளைக் கொண்டுள்ளது. ஆனால், சுத்தமான காற்றோட்டம் மெதுவாகப் பரவுவதால், பணிபுரியும் பகுதியில் காற்றோட்டம் மிகவும் சீராக இருக்கும். இருப்பினும், பல காற்று வெளியேற்றிகள் சமமாக அமைக்கப்பட்டாலோ அல்லது பரப்பிகளுடன் கூடிய ஹெப்பா வடிகட்டி வெளியேற்றிகள் பயன்படுத்தப்பட்டாலோ, பணிபுரியும் பகுதியில் காற்றோட்டத்தை மேலும் சீராக்க முடியும். ஆனால், அமைப்பு தொடர்ச்சியாக இயங்காதபோது, ​​பரப்பியில் தூசி படிவதற்கு வாய்ப்புள்ளது.

3. காற்று வழங்கல் அளவு அல்லது காற்றின் வேகம்

போதுமான காற்றோட்ட அளவு என்பது உட்புற மாசடைந்த காற்றை நீர்த்துப்போகச் செய்து அகற்றுவதாகும். வெவ்வேறு தூய்மைத் தேவைகளுக்கு ஏற்ப, தூய்மை அறையின் நிகர உயரம் அதிகமாக இருக்கும்போது, ​​காற்றோட்டத்தின் அதிர்வெண் பொருத்தமான முறையில் அதிகரிக்கப்பட வேண்டும். அவற்றுள், 1 மில்லியன் வகுப்பு தூய்மை அறையின் காற்றோட்ட அளவு உயர்-செயல்திறன் தூய்மை அறை அமைப்பின்படி கருதப்படுகிறது, மற்றவை உயர்-செயல்திறன் தூய்மை அறை அமைப்பின்படி கருதப்படுகின்றன; 100,000 வகுப்பு தூய்மை அறையின் ஹெப்பா வடிகட்டிகள் இயந்திர அறையில் குவிக்கப்படும்போது அல்லது அமைப்பின் இறுதியில் துணை-ஹெப்பா வடிகட்டிகள் பயன்படுத்தப்படும்போது, ​​காற்றோட்டத்தின் அதிர்வெண்ணை 10% முதல் 20% வரை பொருத்தமான முறையில் அதிகரிக்கலாம்.

4. நிலையான அழுத்த வேறுபாடு

வடிவமைக்கப்பட்ட தூய்மை நிலையைப் பராமரிப்பதற்காக, தூய்மை அறை மாசுபடாமல் அல்லது குறைவாக இருப்பதை உறுதிசெய்ய, அதில் ஒரு குறிப்பிட்ட நேர்மறை அழுத்தத்தைப் பராமரிப்பது அவசியமான நிபந்தனைகளில் ஒன்றாகும். எதிர்மறை அழுத்தத் தூய்மை அறைக்குக் கூட, ஒரு குறிப்பிட்ட நேர்மறை அழுத்தத்தைப் பராமரிப்பதற்காக, அதன் தூய்மை நிலையை விடக் குறையாத தூய்மை நிலை கொண்ட ஒரு அருகிலுள்ள அறை அல்லது தொகுப்பு இருக்க வேண்டும், அப்போதுதான் எதிர்மறை அழுத்தத் தூய்மை அறையின் தூய்மையைப் பராமரிக்க முடியும். தூய்மை அறையின் நேர்மறை அழுத்த மதிப்பு என்பது, அனைத்துக் கதவுகளும் ஜன்னல்களும் மூடப்பட்டிருக்கும்போது, ​​உள்ளக நிலை அழுத்தம் வெளிப்புற நிலை அழுத்தத்தை விட அதிகமாக இருக்கும் மதிப்பைக் குறிக்கிறது. சுத்திகரிப்பு அமைப்பின் காற்று விநியோக அளவு, திரும்பும் காற்று அளவு மற்றும் வெளியேற்றும் காற்று அளவை விட அதிகமாக இருக்கும் முறையின் மூலம் இது அடையப்படுகிறது. தூய்மை அறையின் நேர்மறை அழுத்த மதிப்பை உறுதி செய்வதற்காக, காற்று விநியோகம், திரும்பும் காற்று மற்றும் வெளியேற்றும் விசிறிகளை ஒன்றோடொன்று இணைப்பது சிறந்தது. அமைப்பு இயக்கப்படும்போது, ​​முதலில் விநியோக விசிறி இயக்கப்படும், பின்னர் திரும்பும் விசிறி மற்றும் வெளியேற்றும் விசிறி இயக்கப்படும்; அமைப்பு அணைக்கப்படும்போது, ​​முதலில் வெளியேற்றும் விசிறி அணைக்கப்படும், பின்னர் திரும்பும் விசிறி மற்றும் விநியோக விசிறி அணைக்கப்படும். இதன் மூலம், அமைப்பு இயக்கப்படும்போதும் அணைக்கப்படும்போதும் தூய்மை அறை மாசுபடுவதைத் தடுக்கலாம். தூய்மை அறையின் நேர்மறை அழுத்தத்தைப் பராமரிக்கத் தேவைப்படும் காற்றின் அளவு, முக்கியமாகப் பராமரிப்புக் கட்டமைப்பின் இறுக்கத்தைப் பொறுத்தே அமைகிறது. சீனாவில் தூய்மை அறைகள் கட்டப்பட்ட ஆரம்பக் கட்டத்தில், உறை கட்டமைப்பின் இறுக்கம் குறைவாக இருந்ததால், ≥5Pa நேர்மறை அழுத்தத்தைப் பராமரிக்க ஒரு மணி நேரத்திற்கு 2 முதல் 6 முறை காற்று விநியோகம் தேவைப்பட்டது; தற்போது, ​​பராமரிப்புக் கட்டமைப்பின் இறுக்கம் பெரிதும் மேம்படுத்தப்பட்டுள்ளது, மேலும் அதே நேர்மறை அழுத்தத்தைப் பராமரிக்க ஒரு மணி நேரத்திற்கு 1 முதல் 2 முறை காற்று விநியோகம் மட்டுமே தேவைப்படுகிறது; ≥10Pa அழுத்தத்தைப் பராமரிக்க ஒரு மணி நேரத்திற்கு 2 முதல் 3 முறை காற்று விநியோகம் மட்டுமே தேவைப்படுகிறது. தேசிய வடிவமைப்பு விவரக்குறிப்புகளின்படி, வெவ்வேறு நிலைகளில் உள்ள தூய்மை அறைகளுக்கும், தூய்மையான பகுதிகளுக்கும் தூய்மையற்ற பகுதிகளுக்கும் இடையேயான நிலை அழுத்த வேறுபாடு 0.5mmH2O (~5Pa) க்கும் குறைவாக இருக்கக்கூடாது, மேலும் தூய்மையான பகுதிக்கும் வெளிப்புறத்திற்கும் இடையேயான நிலை அழுத்த வேறுபாடு 1.0mmH2O (~10Pa) க்கும் குறைவாக இருக்கக்கூடாது.